论文摘要
<正>本发明为锍盐、抗蚀剂组合物和图案化方法。在使用特定结构的锍盐作为PAG时,抑制了酸扩散。在通过光刻法加工时,包括所述锍盐的抗蚀剂组合物形成具有改进的光刻性质(包括EL、MEF和LWR)的图案。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
来源: 乙醛醋酸化工 2019年11期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 有机化工
分类号: TQ421-18
页码: 49
总页数: 1
文件大小: 53K
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