弧光放电氩离子清洗源

弧光放电氩离子清洗源

论文摘要

弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发射的高密度弧光电子流把氩气电离,用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压200V以下,工件偏流可以达到10A-30A,弧光放电氩离子流密度大,对工件的清洗效果好。本文介绍了几种配置弧光放电氩离子清洗源的电弧离子镀膜机和磁控溅射镀膜机。

论文目录

  • 1 轰击清洗技术的类型
  •   1.1 辉光放电氩离子轰击清洗
  •   1.2 弧光放电轰击清洗
  • 2 弧光放电氩离子轰击清洗技术的发展
  •   2.1 气体源弧光放电氩离子清洗源
  •   2.2 固体源弧光放电氩离子清洗源
  • 3 弧光放电氩离子清洗源应用举例
  •   3.1 热丝弧枪是Balzers公司的原创
  •   3.2 大连纳晶科技公司在工具镀膜机中配置空心阴极枪
  •   3.3 Hauzer公司在平面靶磁控溅射镀膜机和电孤离子镀膜机中配置了热丝弧枪
  •   3.4 Platit公司提供了一种新的固体弧光放电氩离子清洗技术
  •   3.5 Balzers用小弧源和水冷阳极间发射的电子流把氩气电离, 用氩离子清洗工件
  •   3.6 上海都浩公司在矩形平面大弧源镀膜机的门上安装了和壁上的大弧源呈90度角的水冷阳极。工件偏压<200V, 偏流大于10A。
  •   3.7 直接利用镀膜室周边的阴极电弧镀膜源做阴极, 镀膜室中部设置水冷阳极
  •   3.8 在磁控溅射靶镀膜机中, 设置固体弧光氩离子清洗源
  •   3.9 磁控溅射镀膜机顶部中央安装空心阴极枪为弧光放电氩离子清洗源的镀膜机
  • 4 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王福贞,陈大民,颜远全

    关键词: 固体弧光放电氩离子清洗源,气体弧光放电氩离子清洗源,结合力

    来源: 真空 2019年01期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺

    单位: 北京联合大学

    分类号: TG173

    DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.06

    页码: 27-33

    总页数: 7

    文件大小: 2441K

    下载量: 139

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