论文摘要
弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发射的高密度弧光电子流把氩气电离,用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压200V以下,工件偏流可以达到10A-30A,弧光放电氩离子流密度大,对工件的清洗效果好。本文介绍了几种配置弧光放电氩离子清洗源的电弧离子镀膜机和磁控溅射镀膜机。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王福贞,陈大民,颜远全
关键词: 固体弧光放电氩离子清洗源,气体弧光放电氩离子清洗源,结合力
来源: 真空 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 北京联合大学
分类号: TG173
DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.06
页码: 27-33
总页数: 7
文件大小: 2441K
下载量: 139
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