导读:本文包含了硅压阻式传感器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:传感器,加速度,灵敏度,基材,衬底,温度,压力传感器。
硅压阻式传感器论文文献综述
文常保,王蒙,钟晨昊,宿建斌,巨永锋[1]（2019）在《基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究》一文中研究指出针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点,提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案。该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成,以SVM算法的非线性回归功能为核心,通过DE算法优化SVM参数,经训练后得到温度校正模块,模块接收测量数据后输出校正后的压力值。实验表明,对单个传感器压力值使用DE-SVM模型进行校正,最大误差和均方误差分别下降了93.87%和99.89%;在七块硅基压阻式压力传感器构成的多传感器情况下,最大误差和均方误差分别下降了93.17%和99.27%,平均相对误差由14.06%下降至1.20%;最后选取训练数据不包含的温度点使用所建立的模型进行测试,模型仍能够较好地进行温度补偿。(本文来源于《传感技术学报》期刊2019年10期）
[2]（2019）在《MS81-GP/AP硅压阻式隔离膜压力传感器》一文中研究指出MS81-GP/AP硅压阻式隔离膜压力传感器耐高温可达150℃,适用于蒸汽灭菌,齐平膜结构设计,符合FDA卫生标准。采用硅基敏感元件,过载可达6倍量程,全316L不锈钢外壳封装,无腔平面结构,具有易拆卸、易清洗的特点。产品特性:工作温度:-40℃～150℃;存储温度:-40℃～150℃;震动:20Hz～2000Hz@10g;(本文来源于《传感器世界》期刊2019年09期）
袁本铸,许煜,贾琛[3]（2019）在《SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度》一文中研究指出设计了一种基于绝缘衬底上硅(SOI)片的面内振动压阻式加速度传感器,并针对其交叉灵敏度性能进行了研究,分析得出传感器的灵敏度与压阻微梁的轴向应力呈正比关系,并通过仿真说明该结构形式的加速度传感器具有非常低的交叉灵敏度,对检测方向的输出干扰非常小。进行了工艺加工和实验测试,实验结果表明,该面内振动的压阻式加速度传感器在20℃下,工作方向上的灵敏度为0.67 mV/g,而另外两个非工作方向(x轴和z轴)上的交叉灵敏度分别为7.3×10-4%和6.6×10-4%,对工作方向的加速度检测影响非常小,此结构的设计方法对于高性能的加速度传感器的研究具有重要的参考意义。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2019年10期）
侯倩萍,常京[4]（2019）在《灵敏度和偏移补偿的MEMS压阻式加速度传感器》一文中研究指出针对传感器中存在的灵敏度和偏移补偿问题,提出了一种新的MEMS压阻式加速度传感器设计,它由一个传感器和一个总的接口电路构成,可用0.18μm商用CMOS工艺实现设计。传感器结构由8个硼扩散结晶体压敏电阻连接起来构成一个惠斯通电桥来感知加速度;接口电路由一个主放大器和传感器灵敏度及温度偏移补偿电路构成;实验结果表明,传感器具有很高的在轴加速度灵敏度和灵敏度补偿效果,整个系统具有可达5 k Hz的可扩展的系统带宽,而且偏移估计误差减少到了±10μV以内。(本文来源于《火力与指挥控制》期刊2019年09期）
尚思瑶,刘岩,莫舒婷[5]（2019）在《压阻式加速度传感器封装应力隔离结构分析》一文中研究指出测试特性的温度漂移是压阻式加速度传感器研发中的固有问题,与器件制造的多个环节相关,是多因素共同作用的结果。封装应力的隔离是消减传感器特性温度漂移的重要手段之一。为详细分析封装应力隔离结构的引入效果及其对传感器测试特性的影响,以传统双桥式敏感结构为基础,采用有限元方法分析了封装应力隔离结构对传感器附加干扰载荷抵抗力的提升作用,并分析了从其引入后对传感器敏感应力和结构固有频率的影响。分析结果表明,引入封装应力隔离结构可有效降低外部干扰应力对传感器敏感结构的影响,同时也会改变结构固有频率在内的传感器测试特性。因而,当封装应力隔离结构应用于高频型加速度传感器时,需通过优化结构质量分布、采用横向敏感结构等方法对提升结构自身固有频率及实现敏感方向与隔离变形方向解耦等问题进行进一步优化。(本文来源于《导航与控制》期刊2019年04期）
郑富中,吴英,张杰,杨兴[6]（2019）在《基于单壁碳纳米管的压阻式柔性传感器》一文中研究指出一维纳米材料与微结构结合的纳器件制造过程,实现了微纳加工工艺上的创新升级,有可能突破微米级器件的性能极限。首先利用传统的硅微加工技术,在综合性能优异的聚酰亚胺PI(Polyimide)薄膜上制作金(Au)微电极,形成排列有序的平行电极对;然后通过交流介电电泳的方法在微电极对间实现单壁碳纳米管SWNTs(Single-Walled Carbon Nanotubes)一维定向排布;接着采用区域选择性电沉积技术定域沉积Au压覆SWNTs,改善SWNTs与电极的接触特性。最后,针对基于SWNTs的柔性微纳传感器进行了力电特性测试。结果表明:在环境温度为(23±5)℃,湿度为65±15%RH,0.1 V工作电压下,压阻因子约为443,精度约为5.16%。上述研究结果在柔性微纳器件的制作方面显示了一定的应用前景,为实现超微型化和高功能密度化的柔性器件铺平道路。(本文来源于《传感技术学报》期刊2019年07期）
于江涛,孙雷,肖瑶,蒋书文,张万里[7]（2019）在《压阻式柔性压力传感器的研究进展》一文中研究指出随着智能化技术及物联网的不断发展,柔性压力传感器作为可穿戴电子设备和电子皮肤的核心器件,拥有了越来越广阔的市场。经过了十余年的发展,压阻式柔性压力传感器的相关研究已经从探究具有压敏效应的导电高分子复合材料发展到了对高性能传感器的制备研究。为了获得高性能的柔性压力传感器,研究者们在传感器的材料、结构及器件设计等方面进行一系列的创新型研究工作。目前已经研制出了一些基于新型材料与结构的高性能、低成本的柔性压力传感器,并且在可穿戴传感器、电子皮肤等应用领域已经获得了一定程度的发展。本文综述了近年来压阻式柔性压力传感器在材料、结构及应用方向的创新及发展,并对该类传感器的发展进行了展望。(本文来源于《电子元件与材料》期刊2019年06期）
张和乐[8]（2019）在《压阻式织物传感器阵列的设计与评价》一文中研究指出随着对人体皮肤与物体表面间压力分布监测的应用需求越来越多,国内外学者探索设计了不同形式的压力分布监测传感器,特别是近年来纺织纤维基柔性压力分布监测传感器受到特别关注。其中,压阻式织物基传感器往往采用由电极层和压阻层形成的多层结构,且关注传感器结构中压阻层的设计,而忽略了诸如电极、引线、传感电路等构成元件之间的配置对传感系统性能的影响。例如,在这些传感阵列原型验证中使用了铜导线等刚性材料,且部分传感阵列的制作工艺流程多,不兼容纺织加工工艺,成本高。因此,有必要构建一种兼容纺织加工工艺的全织物压力分布监测传感器,克服在已研发的传感系统中存在的压阻层制备工艺复杂及传感电路信号引线的连接稳定性问题。基于以上不足,本文设计了一款全织物、易制作、低成本的压阻式织物传感器阵列,其具有n×m+1型多层结构,构成传感器的材料为纺织材料且兼容纺织加工工艺。本文首先讨论了构成传感单元的材料结构、大小及传感器电路对传感性能的影响,然后以优选的传感单元构建压阻式监测传感器阵列,并探讨单点作用与多点作用时传感单元之间的响应差异及原因,最后应用研制的传感阵列监测手指触摸运动,证明该传感阵列具有应用于人机交互场景的潜力。具体的研究内容及结论如下:(1)以n×m+1型结构为基础,设计一种结构简单、能耗低的电阻式压力分布监测织物传感器阵列及其数据采集电路,特别是研究了电极层与镀银导电纱线之间的连接稳定性。结果证实所设计的传感器结构合理,且发现采用针缝连接方式得到的连接电阻更稳定可靠。电阻式压力分布监测织物传感器阵列共有5层,分别是封装保护层、上电极层、隔离层、压阻层、下电极层。上电极层由n×m个电极单元组成,下电极层则是作为传感单元共享的一层完整电极。传感单元分别与一个定值电阻串联,通过采集定值电阻两端的电压变化,可计算得知传感单元的电阻变化。其中,以镀银导电纱线作为传感器与数据采集电路的连接线,它与电极层的连接方式主要有黏贴与针缝。通过比较不同方式的连接电阻稳定性和连接处镀银导电纱线与电极层的接触状态得知,针缝方式接触稳定,连接电阻波动小。(2)研究传感器的阻抗特性,阐释传感器结构的构成材料差异对传感器性能的影响及传感机理,并优选敏感单元的电极及隔离层材料。结果表明,传感器工作时为纯电阻,传感响应变化来源于压阻层电阻以及电极层与压阻层的接触电阻变化,且导电布和孔洞状织物是传感单元的电极层和隔离层的最佳材料。为了探讨传感器在工作时是否存在容抗,采用电化学工作站测试了传感器被压缩时的阻抗变化。经电化学工作站测试可知,传感器敏感材料电阻抗的相位角保持0°,即传感器为纯电阻。随后,比较电极材料对传感性能的影响,以导电布、铜箔为基本电极材料,测试讨论了上下电极分别为导电布/导电布、铜箔/铜箔和导电布/铜箔叁种情况下的传感器响应,发现传感器的电阻响应同时包含了电极层与压阻层的接触电阻,且电极层与压阻层之间的接触面越平整,接触电阻越小。随后,进一步研究比较了隔离层的几何结构对传感性能的影响。对比网格状织物、孔洞状织物作为隔离层,测试比较在压力作用下传感器响应的差异性可知,由于网格状织物为隔离层时在压力作用区内每个传感单元包含的网格个数不一,其电阻响应在传感单元之间存在较大的差异,而孔洞则是一一对应于每个传感单元,响应情况基本一致,从而更适合作为隔离层。(3)研究传感单元的结构和大小对传感器在压力作用下的响应。结果表明,为了提高传感器的响应灵敏度,传感单元的孔洞尺寸应小于上电极单元,且传感器响应取决于有效作用面积与传感单元大小之间的相对关系。为了选择合适的传感单元结构,制作了两种传感单元结构,一种是孔洞尺寸大于上电极单元,另一种则相反。通过比较这两种结构的传感单元的传感性能可知,当孔洞尺寸小于上电极单元时,传感单元的灵敏度更大,所以应选择该传感单元结构。为了选择合适大小的传感单元,制作了五组不同大小的传感单元。比较传感单元的灵敏度与有效响应范围后可得,当上电极单元大小为6mm×6mm,孔洞大小为4mm×4mm时传感单元性能最好,灵敏度最高可达74.64Ω·kPa~(-1),响应范围在5~300kPa,响应时间为81ms。为了探究压头作用面积对传感单元响应的影响,使用不同压头压缩同一传感单元后发现,传感单元的响应因压头不同而不同,取决于有效作用面积与传感单元大小之间的相对关系。(4)研究传感阵列对分布压力作用的响应,比较单点作用与多点作用时传感单元之间的响应差异,同时验证传感器的应用潜力。结果表明,传感阵列能有效分辨不同作用点的压力大小和作用位置,且手指触摸运动的识别能力证实了该传感阵列应用于人机交互的潜力。为了探究传感阵列识别压力大小和分布的能力,通过多点作用时,各传感单元的响应情况可知,传感阵列可以精准获悉压力作用位置,基本感知压力大小。与单点作用相比,传感单元响应偏差为8.33%。传感阵列响应偏差可能主要来源于纺织材料的不均匀性与串扰效应。当手指按压压阻式织物传感器阵列时,传感器响应迅速且稳定,说明该织物传感器阵列可应用于人机交互等场景。综合上述讨论分析,压阻式织物传感器阵列及其数据采集电路结构简单,镀银导电纱线作为连接线,既柔软又稳定。当传感器工作时,呈现纯电阻特性。传感器的电阻变化不仅包含了压阻层的电阻变化,也包括了电极层与压阻层之间的接触电阻变化。为了传感器性能优良稳定,最好选用导电布胶带和孔洞状织物作为电极层和隔离层。为了传感单元拥有高灵敏度,传感单元的孔洞尺寸应小于上电极单元。当压力作用有效面积不同时,传感单元的响应也将改变。该传感阵列可有效感知分布式压力的作用,适合作为人机交互的桥梁。(本文来源于《东华大学》期刊2019-05-01）
杨娇燕,梁庭,李鑫,林立娜,李奇思[9]（2019）在《压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法》一文中研究指出为了实现对压阻式压力传感器灵敏度的准确预估,针对传统中心点算法的不足,采用了一种基于对敏感薄膜应力分布的有限元仿真分析和路径积分的仿真方法。通过对电阻所在路径线积分计算电阻平均变化率,计算出不同压力下的输出电压。对2种不同的模型四边固支的方形膜模型和底面固支的C型模型,进行仿真分析并将仿真结果和实际值对比。实验结果表明底面固支的C型模型比四面固支的方形模型更接近实际情况。传感器样品的实际灵敏度为0.102 5 mV/kPa,与底面固支的C型模型仿真结果相对误差小于2%。(本文来源于《仪表技术与传感器》期刊2019年02期）
刘峰,金磊,牛少华,刘海鹏,郭建昌[10]（2019）在《一种低功耗MEMS压阻式传感器的动态测试系统》一文中研究指出为了准确分析侵彻过载信号,提出了一种低功耗、高过载的动态测试系统,该系统可以承受2×10~5g过载信号,为了实现采样率高、低功耗、抗冲击的特点,系统采用硅晶振作为主振荡器,并选用低功耗CMOS芯片,当系统开始工作时,处理器进入深度休眠模式,当进入发射模式时开始对外围电路供电.当弹体发射信号时,采用滞回触发电路来触发启动采集系统开始采集.实验证明,采用此方案,延长了弹体生存周期,并能够精确采集到空气炮的过载信号.(本文来源于《北京理工大学学报》期刊2019年02期）
硅压阻式传感器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
MS81-GP/AP硅压阻式隔离膜压力传感器耐高温可达150℃,适用于蒸汽灭菌,齐平膜结构设计,符合FDA卫生标准。采用硅基敏感元件,过载可达6倍量程,全316L不锈钢外壳封装,无腔平面结构,具有易拆卸、易清洗的特点。产品特性:工作温度:-40℃～150℃;存储温度:-40℃～150℃;震动:20Hz～2000Hz@10g;
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
硅压阻式传感器论文参考文献
[1].文常保,王蒙,钟晨昊,宿建斌,巨永锋.基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究[J].传感技术学报.2019
[2]..MS81-GP/AP硅压阻式隔离膜压力传感器[J].传感器世界.2019
[3].袁本铸,许煜,贾琛.SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度[J].微纳电子技术.2019
[4].侯倩萍,常京.灵敏度和偏移补偿的MEMS压阻式加速度传感器[J].火力与指挥控制.2019
[5].尚思瑶,刘岩,莫舒婷.压阻式加速度传感器封装应力隔离结构分析[J].导航与控制.2019
[6].郑富中,吴英,张杰,杨兴.基于单壁碳纳米管的压阻式柔性传感器[J].传感技术学报.2019
[7].于江涛,孙雷,肖瑶,蒋书文,张万里.压阻式柔性压力传感器的研究进展[J].电子元件与材料.2019
[8].张和乐.压阻式织物传感器阵列的设计与评价[D].东华大学.2019
[9].杨娇燕,梁庭,李鑫,林立娜,李奇思.压阻式压力传感器灵敏度的仿真方法[J].仪表技术与传感器.2019
[10].刘峰,金磊,牛少华,刘海鹏,郭建昌.一种低功耗MEMS压阻式传感器的动态测试系统[J].北京理工大学学报.2019
论文知识图
