导读:本文包含了数字波面干涉仪论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:干涉仪,数字,棱镜,误差,不确定,激光,大口径。
数字波面干涉仪论文文献综述
潘本威,周游,白云波,刘世杰[1]（2016）在《大口径数字波面干涉仪量值传递及测量不确定度的研究》一文中研究指出高功率激光系统中使用了大量的大口径平面光学元件,为了满足大口径、高精度光学元件制造能力,提高光学元件的加工精度,在各个关键生产工序环节以及光学元件终检环节均配备了大口径干涉仪,这些干涉仪基本上可以分为进口和国产自研两种型号。为了保证各个环节中干涉仪测量数据的一致性,如何实现各个工序环节间的干涉仪量值传递的准确性是目前工程加工检测中急需解决的问题。本文对大口径数字波(本文来源于《第十六届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2016-09-25）
[2]（2014）在《系列移相式数字波面干涉仪 南京理工大学光电智能工程技术中心》一文中研究指出(本文来源于《第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集》期刊2014-10-26）
曹利波[3]（2011）在《用数字波面干涉仪快速检测平晶的平行度》一文中研究指出文章提出了一种新的检测方法即用数字波面干涉仪检测平晶的平行度。分析了测量不确定度的来源,并对测量不确定度进行了分析评定。与传统的方法相比在保证测量准确度的前提下,大大提高了工作效率。(本文来源于《工业计量》期刊2011年01期）
曹利波[4]（2010）在《用数字波面干涉仪快速检测平晶的平行度》一文中研究指出平行平晶用于对干分尺测量面的平行度和平面度进行检测,借助于平行平晶产生的干涉条纹图案可对测量表面的平行度进行检测。对于平行平晶平面度的检定一般用平面等厚干涉仪来完成,而对于平行度的检定方法是用光学计。检定时,将被检平行平晶直接放到支撑柱上。将测头接触被检平晶的中心并调整读数为零,再移动平行平晶,在4个均匀的直径方向距边缘1mm的8个点上(本文来源于《第十叁届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）》期刊2010-07-18）
郭仁慧[5]（2004）在《数字波面干涉仪棱镜角度偏差测试技术的研究》一文中研究指出本文通过对移相式数字波面干涉仪得到的测试波面进行处理实现锥体棱镜、屋脊棱镜和直角棱镜角度测试的数字化和自动化。本文首先详细地研究了移相式数字波面干涉仪的测试原理，探讨了这叁种棱镜的特性，然后建立了角度误差的数学模型，推导了干涉仪测试这叁种棱镜的角度误差公式，最终编制了实用的棱镜测试程序。本文对锥体棱镜进行了测试，并与ZYGO干涉仪的测试结果进行比较，结果表明本文方法的测试精度能够满足二面角角度偏差的测量误差在0.5”范围内。(本文来源于《南京理工大学》期刊2004-06-01）
金霞[6]（2004）在《数字波面干涉仪及其标准化研究》一文中研究指出标准化工作在干涉仪的研究和生产过程中有着重要的作用。干涉仪标准是急需解决的工作。论文主要讨论了干涉仪标准的若干问题，研究了目前已有的干涉仪及其标准化状况，分析了计量保证方案对干涉仪标准的指导意义。提出了干涉仪标准和检定规程的框架。以数字波面干涉仪为例，制定了干涉仪的标准和检定规程，并研究了提高干涉仪性能的数据处理方式。(本文来源于《南京理工大学》期刊2004-06-01）
于瀛洁,韦春龙,陈明仪[7]（2001）在《移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题》一文中研究指出光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求 ,近年来相关测量技术发展非常迅速 ,其中移相技术是较典型的代表 ,发展日趋成熟并得到了广泛应用。以PG 15型平面干涉仪为硬件基础 ,采用移相技术 ,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点 ,研制了数字波面干涉仪。对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨论 ,并给出了相应的解决方法(本文来源于《光学精密工程》期刊2001年06期）
幸芦笙[8]（1998）在《数字波面干涉仪的绝对校正问题》一文中研究指出数字波面干涉仪是高精度快速评价光学零件的有效工具，绝对校正是数字波面干涉仪研究中的一项重大技术，本文对数字面干涉仪的绝对校正问题作了一些探讨。(本文来源于《五邑大学学报(自然科学版)》期刊1998年02期）
[9]（1997）在《LDI-2激光数字波面干涉仪》一文中研究指出富通光电工程公司新近开发出LDI－2激光数字波面干涉仪。仪器采用独特的数字移相方法，可进行实时数字干涉测量。这种干涉仪可用于精确定量测量凹球面镜的面形误差和曲率半径。配备辅助光学件后，本仪器还可以测量凸球面、平面、非球面镜的面形误差以及光学系统的波像差等(本文来源于《光学仪器》期刊1997年S1期）
[10]（1997）在《LDI—2激光数字波面干涉仪》一文中研究指出富通光电工程公司新近开发出 LDI—2激光数字波面干涉仪。仪器采用独特的数字移相方法,可进行实时数字干涉测量。这种干涉仪可用于精确定量测量凹球面镜的面形误差和曲率半径。配备辅助光学件后,本仪器还可以测量凸球面、平面、非球面镜的面形误差以及光学系统的波像差等。仪器最大可测孔径达 F1.3,仪器不确定度λ/50(F4)、λ/5(F1.3)。(本文来源于《光学仪器》期刊1997年Z1期）
数字波面干涉仪论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
数字波面干涉仪论文参考文献
[1].潘本威,周游,白云波,刘世杰.大口径数字波面干涉仪量值传递及测量不确定度的研究[C].第十六届全国光学测试学术交流会摘要集.2016
[2]..系列移相式数字波面干涉仪南京理工大学光电智能工程技术中心[C].第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集.2014
[3].曹利波.用数字波面干涉仪快速检测平晶的平行度[J].工业计量.2011
[4].曹利波.用数字波面干涉仪快速检测平晶的平行度[C].第十叁届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）.2010
[5].郭仁慧.数字波面干涉仪棱镜角度偏差测试技术的研究[D].南京理工大学.2004
[6].金霞.数字波面干涉仪及其标准化研究[D].南京理工大学.2004
[7].于瀛洁,韦春龙,陈明仪.移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题[J].光学精密工程.2001
[8].幸芦笙.数字波面干涉仪的绝对校正问题[J].五邑大学学报(自然科学版).1998
[9]..LDI-2激光数字波面干涉仪[J].光学仪器.1997
[10]..LDI—2激光数字波面干涉仪[J].光学仪器.1997
论文知识图
