真空磁过滤弧源沉积论文_沟引宁,孙鸿,黄楠,张文英,冷永祥

导读:本文包含了真空磁过滤弧源沉积论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:真空,阴极,多层,性能,解剖学,光谱,金刚石。

真空磁过滤弧源沉积论文文献综述

沟引宁,孙鸿,黄楠,张文英,冷永祥^[1]（2006）在《磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究》一文中研究指出采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在S i基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上进行C/C多层DLC膜在大气下的摩擦性能评价,同时比较了单层DLC膜、TiN膜和C/C多层DLC膜的耐磨性能.结果表明:C/C多层DLC膜表面光滑、致密,厚度达0.7μm,硬度高达68 GPa,与S iC球对摩时的摩擦系数为0.10左右,耐磨性明显优于单层DLC膜和TiN膜.(本文来源于《摩擦学学报》期刊2006年02期）

沟引宁,黄楠,孙鸿,张文英,冷永祥^[2]（2006）在《磁过滤真空弧源沉积C/C多层复合膜的结构和力学性能研究》一文中研究指出采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在不锈钢基体表面制备了C/C多层复合膜,通过X射线光电子能谱、Ra-man光谱对薄膜的结构进行表征;C/C多层膜大气下的摩擦损性能在销盘式摩擦磨损试验机上进行;用洛氏压痕法研究了薄膜与基体的结合强度。结果表明:C/C多层复合膜为类金刚石结构。它与SiC球大气下的摩擦系数为0.10左右,其摩损性能由于多层膜的引入而显着提高。Ti过渡层的引入显着提高了膜基结合力。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2006年01期）

俞柳江^[3]（2000）在《真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究》一文中研究指出本论文在国内第一台真空磁过滤弧沉积（Filtered arc deposition，FAD）系统的基础上，以制备优质非晶金刚石薄膜为目标，对设备进行了优化改造。添加了射频电源，以便在绝缘基体上沉积薄膜；添加了液氮冷却系统，能够在77K左右的低温下进行薄膜制备；添加了无灯丝的辅助离子源，能进行离子辅助沉积，以及对薄膜进行掺杂，特别是因为离子源为无灯丝离子源，因而可进行氧掺杂。 利用FAD系统在室温条件下制备了致密的无氢非晶金刚石薄膜。对非晶金刚石薄膜的防水汽透过特性进行了探索研究。加速实验结果表明，非晶金刚石薄膜具有良好的防水性能，其水汽透过率小于文献中报道的经常用于电子器件封装无机水汽阻挡层的氮化硅薄膜。本工作因此而获得了国家“ 863”高技术计划资助，以进行更深入的研究，希望能在将来应用于有机发光器件（Organic Light-Eiode,OLED）的封装。 对非晶金刚石薄膜的血液相容性进行了系统的研究。通过溶血率实验，发现非晶金刚石薄膜对血液几乎没有破坏作用，符合生物材料溶血实验要求；通过蛋白质竞争吸附实验，发现非晶金刚石薄膜表现出一定的择优吸附白蛋白的特性，与临床上应用于人工心脏瓣膜的热解碳相比，非晶金刚石薄膜表面吸附更多的白蛋白和更少的纤维蛋白原，有更好的蛋白质吸附性能，从建立的简单模型分析发现模型与实验结果相一致，通过血小板吸附实验，发现各种条件下制备的非晶金刚石薄膜吸附血小板的数量均少于热解碳，血小板团聚、变形情况也明显小于热解碳，说明非晶金刚石薄膜的抗凝血性能优于热解碳，通过对非晶金刚石薄膜表面能的测试，结果表明，非晶金刚石薄膜与两种蛋白质之间界面力之间的比值基本上与热解碳相同，说明表面能不是非晶金刚石薄膜表现出优异的血液相容性的主要因素；我们认为，主要因素是非晶金刚石薄膜的负电性和低表面功函数，使得吸附在非晶金刚石薄膜表面的纤维蛋白原中的电子很难向薄膜中转移，从而纤 IV 4一 ＼ — — 摘 艺D维蛋白原很难发生变性，因而非晶金刚石薄膜表现出良好的血液相容性。(本文来源于《中国科学院上海冶金研究所》期刊2000-07-01）

陈智颖,俞跃辉,赵建平,王曦,周祖尧^[4]（1997）在《真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究》一文中研究指出本文采用真空磁过滤弧沉积技术，在Ｓｉ（１１１）、石英及Ｔｉ／Ｃ衬底上制备得到非晶碳氮（ＣＮｘ）薄膜。采用卢瑟福背散射分析对薄膜的面密度及Ｎ含量进行定量计算。用紫外－可见透射光谱与红外反射光谱研究了薄膜的光学性能。结果表明：随着薄膜中氮含量的增加，碳氮薄膜的光学禁带宽度减小，红外反射率增加。另外，就不同氮气分压对薄膜结构的影响进行了研究。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊1997年01期）

真空磁过滤弧源沉积论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在不锈钢基体表面制备了C/C多层复合膜,通过X射线光电子能谱、Ra-man光谱对薄膜的结构进行表征;C/C多层膜大气下的摩擦损性能在销盘式摩擦磨损试验机上进行;用洛氏压痕法研究了薄膜与基体的结合强度。结果表明:C/C多层复合膜为类金刚石结构。它与SiC球大气下的摩擦系数为0.10左右,其摩损性能由于多层膜的引入而显着提高。Ti过渡层的引入显着提高了膜基结合力。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

真空磁过滤弧源沉积论文参考文献

[1].沟引宁,孙鸿,黄楠,张文英,冷永祥.磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报.2006

[2].沟引宁,黄楠,孙鸿,张文英,冷永祥.磁过滤真空弧源沉积C/C多层复合膜的结构和力学性能研究[J].真空科学与技术学报.2006

[3].俞柳江.真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究[D].中国科学院上海冶金研究所.2000

[4].陈智颖,俞跃辉,赵建平,王曦,周祖尧.真空磁过滤弧沉积碳氮薄膜的研究[J].功能材料与器件学报.1997

论文知识图

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