论文摘要
HIT电池高效率核心技术之一为本征非晶硅薄膜钝化硅片。本文采用热丝化学气相沉积（HWCVD）法制备a-SiOx:H,采用SintonWCT-120少子寿命测试仪、光谱型椭偏仪及傅里叶红外光谱测试仪分析样品性能,以期获得高质量a-SiOx:H的工艺参数并分析微观机理。结果表明:①随热丝电流增加,沉积a-SiOx:H膜的样品少子寿命先增加后减小,22.5 A时钝化效果最好,少子寿命高达2530μs,表面复合速率降至3.6 cm/s;②本实验结果中,a-SiOx:H钝化效果明显优于a-Si:H,少子寿命最高分别为2530和547μs;③a-SiOx:H薄膜中SiH、SiH2相对含量与薄膜钝化性能无直接关联。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 何玉平,袁贤,刘宇,刘宁,黄海宾
关键词: 热丝化学气相沉积,少子寿命
来源: 真空科学与技术学报 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备,电力工业
单位: 南昌工程学院理学院,南昌大学光伏研究院
基金: 江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ171010),江西省青年科学基金项目(20171BAB216014)
分类号: TB383.2;TM91
DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.06.13
页码: 519-523
总页数: 5
文件大小: 678K
下载量: 45
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标签：热丝化学气相沉积论文; 少子寿命论文;