基于微带谐振器的微波微等离子体线性阵列的激励特性研究

论文摘要

本文基于微带线谐振器理论和耦合模理论,采用13单元微波微等离子体线性阵列源,研究了不同真空度、输入功率等对微波微等离子体线性阵列激励特性的影响。实验结果表明,微波微等离子体线性阵列的放电区域随着输入功率和真空度的减小而减小。这为小功率微波微等离子体线性阵列源的进一步研究提供基础。

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类型: 期刊论文

作者: 张秀秀,廖斌

关键词: 微波微等离子体线性阵列,微带谐振器,真空度,输入功率

来源: 真空电子技术 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技,基础科学

专业: 物理学,无线电电子学

单位: 华东师范大学信息学院电子系

分类号: O53;TN751.2

DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.06.16

页码: 98-101

总页数: 4

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标签：微波微等离子体线性阵列论文;  微带谐振器论文;  真空度论文;  输入功率论文;