论文摘要
本文通过介绍碳化硅材料的发展趋势,提出了碳化硅外延片标准体系建立对产业发展的意义。标准中规定了SiC同质外延片使用的衬底参数规范、外延片测试表征方法及技术规范、包装运输及储存。本标准的提出将碳化硅衬底参数与测试方法及技术规范结合,大大降低了衬底因素对产品质量的影响,促进了外延技术和产品质量的提升。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 杨龙,赵丽霞
关键词: 碳化硅,标准体系,外延片,技术规范
来源: 中国标准化 2019年S1期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,经济与管理科学
专业: 化学,宏观经济管理与可持续发展
单位: 河北普兴电子科技股份有限公司,河北省新型半导体材料实验室(筹)
分类号: F203;O613.72
页码: 54-56
总页数: 3
文件大小: 1290K
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