论文摘要
介绍了一种检测超高纯锗棒或锭的净杂质浓度的新方法,采用直流两探针法,在77 K恒温下进行检测;两探针检测得到等间距电压降U,通过函数关系式计算得到电阻率ρ,再根据函数关系式|NA-ND|=1/（ρ×q×μ）,计算得到探针笔间的锗棒或锭的平均净杂质浓度|NA-ND|。该方法可以检测锗棒或锭的整体杂质浓度,检测结果相对准确,检测效率高,有利于产业化。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 赵青松,牛晓东,黄幸慰,朱刘
关键词: 超高纯锗,净杂质浓度,检测方法
来源: 广州化工 2019年11期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 广东先导先进材料股份有限公司,清远先导材料有限公司,广东先导稀贵金属材料有限公司,广东先导稀材股份有限公司,先导薄膜材料(广东)有限公司
分类号: TQ134.31
页码: 101-103
总页数: 3
文件大小: 141K
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