硅化物论文_何浩然,许俊强,苗欣,刘奇,薄新维

导读:本文包含了硅化物论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:化物,金属硅,合金,涂层,昌邑市,集成电路,抗氧化。

硅化物论文文献综述

何浩然,许俊强,苗欣,刘奇,薄新维^[1]（2019）在《钼及钼合金表面硅化物涂层的制备、改性及抗氧化性能研究进展》一文中研究指出钼及其合金具有优异的高温力学性能和耐蚀性能,以及相比于钨、铌、钽更为便宜的价格,因而在电子器件、发热元件、玻璃纤维加工、测温用保护管以及航空航天等尖端领域拥有较为广泛的运用。但是,钼的抗氧化能力较差,这在很大程度上限制了钼在高温领域的应用。因此,研究和提高钼及其合金的抗氧化性能有着重要意义。硅化物涂层具有高温自愈合能力,能对基材起到良好的保护作用,因此成为钼及其合金基体材料高温防护涂层的研究热点。研究人员对钼及其合金表面硅化物涂层的改性已开展了广泛的探索,如:(1)采用渗氮、渗硼、渗铝等方式引入有益元素,实现单一元素改性;(2)利用多种元素进行复合改性或形成梯度化涂层;(3)引入增强相对涂层进行改性。渗氮改性改变了硅化钼涂层的微观结构,使涂层与基体间的热膨胀系数更为接近。渗硼改性能改善涂层的自愈合能力,形成的T_2(Mo_5SiB_2)合金层能降低硅的内扩散速率。渗铝改性使硅化物涂层在低温氧化时形成Al_2O_3-SiO_2薄膜,有助于防止MoSi_2涂层的低温"pesting"失效。在复合改性与形成梯度化涂层方面,渗碳改性可利用涂层中各元素与基体的反应形成梯度化涂层,改善涂层与基体的热膨胀系数差异并阻碍有益硅向基体扩散。渗铬改性则利用铬元素富集在涂层表层,抑制涂层氧化时硅元素的内扩散和MoO_3的挥发。渗钛改性涂层中,钛元素的合金化作用可形成C11b/C40双相结构,其可以改善涂层的高温延展性,且在氧化时形成的致密Si-Ti-O玻璃层能增强涂层的抗氧化能力。此外,利用含锆增强相(如ZrB_2和ZrSi_2)改性的硅化物涂层在高温氧化下生成高熔点ZrO_2颗粒,从而在涂层表面形成"骨骼"结构,提升涂层的抗氧化性能。而引入晶须增强相后,晶须的拔出桥连与裂纹转向机制能有效提高涂层的强度和韧性,抑制涂层中裂纹的扩展。基于国内外对单一硅化物和改性硅化物涂层的研究结果,可以总结得出,硅化物涂层抗氧化影响因素主要包括低温"pesting"氧化、涂层与基体间的互扩散、涂层与基体间的热膨胀系数差异。本文结合国内外研究近况,综述了钼及钼合金表面单一硅化物涂层与改性硅化物涂层的研究现状,以及影响硅化物涂层抗氧化性能的关键因素,并简要分析了该领域尚待研究和解决的问题。(本文来源于《材料导报》期刊2019年19期）

陆涵蔚,曹俊,吴兵^[2]（2019）在《90 nm CMOS工艺平台金属硅化物工艺优化及其表征》一文中研究指出半导体制程发展到0.18μm节点及以下时,主要采用金属钴硅化物来降低扩散区的电阻和接触孔的接触电阻。当工艺节点缩小到90 nm时,由于结深变浅,金属钴硅化物的厚度和均一性对结漏电的影响越来越显着。针对金属钴硅化物形成的多个工艺参数进行调整,并通过电特性参数中不同尺寸扩散区及栅极电阻的变化以及透射电镜图像来表征。(本文来源于《集成电路应用》期刊2019年09期）

^[3]（2019）在《昌邑市龙港新材料建设年产41万吨 精细无机硅化物产品项目》一文中研究指出该项目位于山东省潍坊市昌邑市滨海(下营)经济开发区,由昌邑市龙港无机硅有限公司投资建设,建设年产41万吨精细无机硅化物产品项目,项目建成后,可形成年产10万吨五水偏硅酸钠、4万吨零水偏硅酸钠、10万吨硅基阻燃剂、(本文来源于《乙醛醋酸化工》期刊2019年08期）

黄庆丰^[4]（2019）在《金属硅化物阻挡层刻蚀对一次性编程单元数据保持性能的影响》一文中研究指出在0.18μm通用平台上加入一次性编程单元(OTP)后组成的衍生工艺被广泛应用于微控制单元(MCU)设计,由于OTP的尺寸非常小,为了使OTP拥有良好的数据保持(Data Retention)能力,SAB模组工艺非常关键,尤其是SAB刻蚀工艺,不能再采用同标准0.18μm工艺平台一样的单一刻蚀方法,必须采用以干法刻蚀为主、湿法刻蚀为副,干、湿相结合的方式进行刻蚀。因OTP的数据保持性能与干法刻蚀后有源区表面剩余SAB的量有关,所以SAB干法刻蚀非常关键。实验表明,只要干法刻蚀后有源区表面剩余SAB厚度控制在180 A,工艺窗口±50 A,OTP Cell有源区表面可免遭不可逆的等离子体损伤,而剩下的SAB也能通过湿法刻蚀去除干净且有较大的工艺窗口。OTP因此具备较好的数据保持性能,晶圆由此实现高良率。(本文来源于《集成电路应用》期刊2019年08期）

杨涛,杜继红,汪欣,严鹏,李晴宇^[5]（2019）在《难熔金属表面硅化物涂层的研究进展》一文中研究指出硅化物涂层在高温下能够形成具有"自愈合"能力的SiO_2玻璃膜,能够有效阻止氧向基体一侧的扩散,保护基材不被氧化,已成为难熔金属表面最为成熟的高温抗氧化涂层,在航空、航天等领域得到了广泛的应用。硅化物涂层主要有Si-Cr-Ti(Fe)、MoSi_2和NbSi_23大类体系。概述了难熔金属表面这3种硅化物涂层的制备方法、抗氧化机理、失效机制以及改性研究进展,并对其未来的发展趋势进行了探讨。(本文来源于《材料保护》期刊2019年07期）

杨凯旋^[6]（2019）在《过渡金属硅化物的化学合成及其加氢性能研究》一文中研究指出金属硅化物是硅原子与金属之间通过强相互作用形成的一种金属间化合物,因其独特的物理和化学性质,在加氢、脱氢、甲烷化、光催化和电催化等反应中具有潜在应用价值。但传统的过渡金属硅化物制备方法无法实现硅化物粒子大小及相态的可控制备,难以满足催化反应的要求。因此,本论文开发出聚合物前体热解和化学气相沉积等方法用于过渡金属硅化物的制备。通过探究金属硅化物催化剂的苯乙炔选择加氢、二苯醚加氢脱氧、二苯并噻吩加氢脱硫等反应性能,结合表征和理论计算结果解释了硅化物的催化性能与结构之间的内在联系。本论文主要研究内容和结果如下:(1)通过程序升温热解含有聚硅烷的聚合物前体得到单相Ni2Si催化材料。探究Ni2Si的形成过程发现,H2为热解气氛可以促进前体中的Si转变为SiH4等含硅气态物质,使Ni2Si的形成温度由800℃降低至600 ℃。随制备温度的升高,热解产物出现如下相态变化:Ni→Ni2Si@Ni→Ni2Si→Ni@Ni2Si。将Ni2Si用于苯乙炔选择加氢反应中发现,该催化剂具有良好的苯乙炔加氢活性,且对苯乙烯的选择性可达到90%。通过碱处理的方式除去催化剂表面SiOx钝化层,可显着提高Ni2Si催化剂的苯乙炔加氢活性,同时保持对苯乙烯的高选择性。(2)开发出以Si(CH3)2C12为硅源的化学气相沉积法,成功制备得到SBA-15负载的单一相态Ni2Si、CoSi、Cu6.69Si和混合相态FexSi催化剂。使用苯乙炔选择加氢反应为探针反应,筛选出Ni2Si/SBA-15为最优的苯乙炔加氢催化剂,其对苯乙烯的选择性超过90%。通过XPS等表征手段证明金属硅化物中金属与Si原子间存在的电子转移效应,改变了 Ni2Si中活性位对反应物以及中间产物的加氢饱和能力,从而使Ni2Si催化剂对苯乙烯的选择性远高于金属Ni的选择性。此外,Ni2Si/SBA-15催化剂在五次循环实验中仍保持较高活性和90%的高选择性。(3)以Ni-Al水滑石为前体,通过化学气相沉积法不仅制备得到单相Ni2Si,同时促进载体中新Br(?)nsted酸性位的形成,提高了载体的酸性。Ni2Si的形成及载体酸性的提高使二苯醚在Ni2Si/Al2O3-SiO2上的反应路径发生变化,提高了脱氧产物的选择性,同时还使催化剂对苯的选择性达到60%,降低了加氢脱氧过程中H2的消耗。由于载体表面五配位的[A1(V)]与硅化物的结合,增强了载体与硅化物之间的相互作用,提高了催化剂的抗烧结能力,使其在80小时稳定性实验中未出现明显失活。(4)通过化学气相沉积法成功制备得到了CNTs负载的Pd2Si、Pt2Si等多种贵金属硅化物催化剂。结合表征和理论计算结果证明了Si对Pd2Si的几何结构和电子结构的调变作用。将该催化剂用于二苯并噻吩的加氢脱硫反应发现,由于Si的活性位点孤立作用和电子转移效应,使Pd2Si催化剂上对直接脱硫路径的选择性高达50%。同时Pd2Si的形成减弱了活性位点对S的吸附,提高了Pd2Si抗硫性能,使Pd2Si在80小时的稳定性实验中表现出优异的稳定性。此外,使用低温化学气相沉积和碱处理的方法制备得到SiOx-Pd/CNTs与Pd2Si/CNTs-B催化剂。通过对比两种催化剂与Pd2Si/CNTs催化剂反应性能的差异,证明金属硅化物的高选择性和高稳定性源于本身的特殊结构,SiOx氧化层仅具有一定的抗团聚作用。(本文来源于《大连理工大学》期刊2019-05-31）

乌李瑛,瞿敏妮,沈贇靓,王英,程秀兰^[7]（2019）在《热型ALD技术制备镍薄膜及其金属硅化物》一文中研究指出金属硅化物材料具有较低的接触电阻,并且与硅材料有较好的兼容性,所以在互补金属氧化物半导体(CMOS)器件中被看作是重要的电极材料。形成镍金属硅化物的关键是镍金属单质的淀积工艺。如何在大深宽比纳米尺度的叁维结构中沉积保形性好、纯度高、导电性好的镍金属单质薄膜是亟需解决的问题。利用热法原子层沉积(ALD)技术,以一种新型脒基镍前驱体[Ni(iPr-MeAMD)]_2,在深宽比为10:1的硅基底沟槽中沉积得到纯度高、保形性好、连续平滑的镍薄膜。对薄膜进行了X射线衍射(XRD)测试,为单一的α六方晶体结构。考察了不同退火温度下镍金属硅化物的形成,利用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱(EDS)和XRD进行了物相相变的分析。退火温度400℃下得到NiSi相,其薄膜电阻率最低,约为34μΩ·cm。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2019年06期）

盛捷,罗军,吕亮,赵志远,肖志强^[8]（2019）在《Ni基硅化物受退火方式影响的研究》一文中研究指出硅化镍(NiSi)因具备低硅耗、低电阻率、低热预算、没有明显线宽效应等特性,被广泛应用于源漏极接触部分和栅极与金属的接触部分中。工艺中,加热条件的变化会导致生成不同的Ni基硅化物,均一性也会根据加热方式产生变化,影响器件的性能。对先导工艺中Ni基硅化物在不同工艺流程里不同的固相反应进行了对比分析,研究了低温浸入式退火加高温尖峰退火以及低温浸入式退火加高温激光退火这两种方法对生成Ni基硅化物的影响,发现硅化物电阻值主要取决于低温浸入式退火的温度,硅化物均一性主要取决于高温退火方式。该研究结果对实际工艺加工有参考作用。(本文来源于《微电子学》期刊2019年02期）

潘兆义,赵青芮,王国强,蔡刚,宋国新^[9]（2019）在《铌铪合金表面硅化物涂层的高温失效行为分析》一文中研究指出铌铪合金为轨姿控液体火箭发动机推力室身部主要结构材料,在高温有氧的工作环境中易发生氧化粉化,必须在合金表面涂覆高温抗氧化涂层。通过分析铌铪合金表面硅化物涂层的高温氧化、高温热震、瞬时高温烧蚀和热试车行为,阐述高温条件下的氧化失效行为。试验结果为:涂层1 800℃以下氧化条件下,表面形成致密的二氧化硅氧化膜,使得涂层的氧化寿命大于2 h;1 800℃以上的超高温氧化条件下,高温热冲击作用,涂层内部形成大量的烧蚀型网格结构,表面未形成二氧化硅氧化膜,氧化寿命小于10 s;热试车考核中,涂层满足推力室外壁面温度1 350℃以下的使用工况,抗氧化能力较好,随着氧化温度升高,涂层高温抗氧化能力迅速衰减。(本文来源于《火箭推进》期刊2019年02期）

曹六阳^[10]（2019）在《金属锂改性和富锂硅化物界面修饰对锂负极电化学性能的影响》一文中研究指出金属锂负极由于其超高的理论比容量(3840 mAh g~(-1)),低的密度(0.534 g cm~(-3))和最低的电化学势(-3.040Vvs.标准氢电极)被认为是高能量密度可充电电池中最具前景的负极材料之一。然而锂负极在长循环过程中枝晶的产生和电池库伦效率的降低极大地困扰了锂金属在二次电池中的实际应用。本文制备了高活性的富锂硅化物,对富锂硅化物的溶剂兼容性进行了研究分析,并将其应用于锂金属负极界面修饰中。同时研究了锂的去织构化以及其对锂负极性能的影响。以硅粉和LiH为原料,使用固相析氢的方法制备了富锂硅化物,通过分析浆料制备过程中不同溶剂的选择对富锂硅化物电化学性能的影响,研究了其溶剂兼容性。当使用甲苯作为溶剂时,富锂硅化物首周可在0.5 Ag~(-1)的电流密度下达到1485 mAh g~(-1)的脱锂比容量,表现出了较好的溶剂兼容性。并通过XRD、XPS等方法分析了富锂硅化物在不兼容溶剂中的失效机理。利用富锂硅化物亲锂的性质,将其应用于锂负极的界面修饰中,通过光学显微镜对电化学沉积过程进行了原位观察,发现在修饰锂负极表面锂是以平面的方式沉积的,锂沉积层成明显的去织构化。通过第一性原理密度泛函理论计算发现,Li_(21)Si_5和锂原子存在较强的吸附作用,富锂硅化物为锂的沉积提供了均匀的形核位点,改善了锂的沉积方式。对称电池以1mA cm~(-2)电流密度循环500 h后极化电压仍低于30 mV,表现出了良好的循环稳定性。并将其与商业的正极匹配组成半电池,也表现出了良好的循环性能和倍率性能。对金属锂进行熔融淬火处理,锂表面变得平整清洁,锂晶粒减小,结晶度降低,锂表面的择优取向优势变弱,促进了锂在其表面的均匀形核。将淬火处理的锂金属应用于对称电池中,可稳定循环800h以上。此外,处理后锂负极与磷酸铁锂正极组装半电池,在1 C倍率下循环300周,比容量剩余132 mAh g~(-1),平均每周比容量衰减仅为0.093 mAh,表现出了良好的循环稳定性。(本文来源于《郑州大学》期刊2019-04-01）

硅化物论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

半导体制程发展到0.18μm节点及以下时,主要采用金属钴硅化物来降低扩散区的电阻和接触孔的接触电阻。当工艺节点缩小到90 nm时,由于结深变浅,金属钴硅化物的厚度和均一性对结漏电的影响越来越显着。针对金属钴硅化物形成的多个工艺参数进行调整,并通过电特性参数中不同尺寸扩散区及栅极电阻的变化以及透射电镜图像来表征。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

硅化物论文参考文献

[1].何浩然,许俊强,苗欣,刘奇,薄新维.钼及钼合金表面硅化物涂层的制备、改性及抗氧化性能研究进展[J].材料导报.2019

[2].陆涵蔚,曹俊,吴兵.90nmCMOS工艺平台金属硅化物工艺优化及其表征[J].集成电路应用.2019

[3]..昌邑市龙港新材料建设年产41万吨精细无机硅化物产品项目[J].乙醛醋酸化工.2019

[4].黄庆丰.金属硅化物阻挡层刻蚀对一次性编程单元数据保持性能的影响[J].集成电路应用.2019

[5].杨涛,杜继红,汪欣,严鹏,李晴宇.难熔金属表面硅化物涂层的研究进展[J].材料保护.2019

[6].杨凯旋.过渡金属硅化物的化学合成及其加氢性能研究[D].大连理工大学.2019

[7].乌李瑛,瞿敏妮,沈贇靓,王英,程秀兰.热型ALD技术制备镍薄膜及其金属硅化物[J].微纳电子技术.2019

[8].盛捷,罗军,吕亮,赵志远,肖志强.Ni基硅化物受退火方式影响的研究[J].微电子学.2019

[9].潘兆义,赵青芮,王国强,蔡刚,宋国新.铌铪合金表面硅化物涂层的高温失效行为分析[J].火箭推进.2019

[10].曹六阳.金属锂改性和富锂硅化物界面修饰对锂负极电化学性能的影响[D].郑州大学.2019

论文知识图

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