论文摘要
采用磁控溅射技术制备了MgO掺杂镓锌氧化物薄膜样品,通过X射线衍射（XRD）、电阻率、载流子浓度和Hall迁移率测试分析,研究了射频功率对薄膜样品微观结构和电学特性的影响.实验结果表明,所有样品均为六角纤锌矿结构并具有明显的c轴择优取向生长特点,其微观结构和电学特性与射频功率密切相关.当射频功率为125 W时,所制备薄膜的晶粒尺寸最大为52.1 nm、张应力最小为0.082 GPa、电阻率最低为1.54×10-3Ω·cm、载流子浓度最大为5.26×1020cm-3、Hall迁移率最高为7.41 cm2·V-1·s-1,具有最优的结晶性质和电学性能.
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 顾锦华,陆轴,朱雅,陈首部
关键词: 镓锌氧化物,掺杂,电学性能
来源: 中南民族大学学报(自然科学版) 2019年04期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 中南民族大学实验教学与实验室管理中心,中南民族大学电子信息工程学院
基金: 湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418),中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(CZP17002)
分类号: TB383.2
页码: 572-577
总页数: 6
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