论文摘要
温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力。为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理。使用现有"两步法"退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付出较高的时间成本和退火工艺的成本。现提出了"一步法"退火工艺,即在1750～1800℃空气气氛中直接进行高温退火。蓝宝石晶棒经"一步法"退火处理后,其内部澄清透明,且晶片加工终检的翘曲度(warp)和弯曲度(bow)的不良率较未退火前分别降低了100%和70%。蓝宝石晶棒的高温退火处理效果明显,可在其他晶体材料中尝试推广。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 戴生伢,黄振进,柳祝平,高长有,王东海,庞旭
关键词: 蓝宝石晶棒,一步法退火,翘曲度,弯曲度,透过率
来源: 人工晶体学报 2019年10期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 化学
单位: 南京理工宇龙新材料科技股份有限公司,元亮科技有限公司,同济大学物理科学与工程学院
分类号: O786
DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.10.013
页码: 1860-1862
总页数: 3
文件大小: 168K
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