导读:本文包含了氮气分压论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:氮气,晶格,薄膜,氮化,离子,涂层,射频。
氮气分压论文文献综述
易方,孟浩龙[1]（2018）在《用氮气脱氧装置降低飞机燃油中溶解氧分压》一文中研究指出为了降低飞机燃油中溶解氧分压,研制出1套氮气脱氧试验装置,并考察了该装置在线脱氧过程中温度、压力以及氮气加注流量对飞机燃油溶解氧分压的影响。结果表明:在-15~30℃,飞机燃油溶解氧分压随着温度的升高而增大;溶解氧分压与压力成正比;在燃油流量为1 200 L/min的情况下,随着氮气加注流量的增加,燃油溶解氧分压不断下降,当达到饱和值22.6 m3/h时,其变化不大。(本文来源于《石化技术与应用》期刊2018年04期）
牛宝林,陈汪林,刘书媛,张世宏[2]（2015）在《氮气分压对AlCrTiSiN超晶格涂层微观结构及力学性能的影响》一文中研究指出超晶格涂层因具有优异的力学性能及抗氧化性能在刀具涂层工业中备受关注。采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备了AlCrTiSiN涂层,研究了氮气分压对AlCrTiSiN涂层微观结构及力学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜研究了AlCrTiSiN涂层的微观结构;利用纳米压痕仪、划痕仪和磨损仪研究了AlCrTiSiN涂层的力学性能。结果表明:不同氮气分压的AlCrTiSiN涂层均由(Cr,Al)N相、(Ti,Al)N相和(Cr,Al)2N相以及非晶态的Si相和Si3N4相组成。与氮气分压为4Pa的涂层相比,氮气分压为2或3Pa的涂层具有更高的硬度、抗载荷能力和涂层-基体结合强度,以及更低的摩擦因数及磨损率。此外,45钢和铸铁切削试验表明:AlCrTiSiN涂层刀具较AlCrN涂层刀具有更好的切削性能,无涂层刀具具有最差的切削性能。(本文来源于《中国表面工程》期刊2015年02期）
牛宝林,陈汪林,刘书媛,张世宏[3]（2014）在《氮气分压对AlCrTiSiN多元超晶格涂层微观结构及力学性能的影响》一文中研究指出采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备了AlCrTiSiN超晶格涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、纳米压痕仪、划痕仪和磨损仪,系统的研究了多弧离子镀过程中氮气分压对AlCrTiSiN超晶格涂层微观结构及力学性能的影响。研究结果表明,不同氮气分压的AlCrTiSiN超晶格涂层均由纳米的(Cr,Al)N相、(Ti,Al)N相和(Cr,Al)2N相以及非晶态的Si相和Si3N4相组成。与氮气分压为4Pa的涂层相比,2Pa或3Pa的涂层具有更高的硬度、抗载荷能力和涂层-基体结合强度,以及更低的摩擦系数及磨损率。此外,45钢和铸铁切削实验表明,AlCrTiSiN涂层刀具较AlCrN涂层刀具有更好的切削性能,无涂层刀具具有最差的切削性能。(本文来源于《第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘要集（一）》期刊2014-10-28）
陈康敏,张晓柠,郑陈超,黄燕,关庆丰[4]（2010）在《氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响》一文中研究指出利用电弧离子镀技术在钛合金表面制备CrNx薄膜,分析讨论氮气分压对薄膜表面形貌、相组成和微观结构的影响。结果表明,随着氮气分压的升高,CrNx薄膜表面熔滴的数量及尺寸减少,表面平整度得到明显改善;薄膜的物相组成在氮气分压为1.0 Pa时由Cr2N相变为CrN相;同时因氮气分压改变粒子、离子的轰击作用,影响薄膜表面的能量状态,CrNx薄膜晶体的择优生长由(200),(220)变为(111)。在氮气分压为1.5 Pa时可获得高沉积效率、高致密度、高硬度,并具有纳米晶体结构的单相CrN薄膜。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2010年06期）
张国平[5]（2009）在《阴极弧沉积技术制备ZrN薄膜时氮气流量(分压)对薄膜性质的影响》一文中研究指出ZrN是一种NaCl型的面心立方结构化合物,其中Zr原子占据晶格的顶角位置,N原子占据Zr原子形成的八面体间隙中。其(111)面只有Zr原子或N原子,而(200)和(220)面上既有Zr原子又有N原子。另外,Zr与N的原子比例可以在很大的范围内调整,这(本文来源于《第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集》期刊2009-07-20）
袁晓梅,闫鹏勋,孔凡成,方延平,郑晓慧[6]（2008）在《氮气分压对Cu_3N薄膜性质的影响》一文中研究指出采用反应射频磁控溅射法,通过改变混合气体(N2+Ar)中氮气分压来改变元素的沉积能量和密度,在玻璃基底上制备出了表面光滑、致密的氮化铜(Cu3N)薄膜,研究了不同氮气分压对Cu3N薄膜的择优生长取向和晶粒尺寸的影响.结果表明:随着氮气分压的增加,Cu3N薄膜由沿(111)晶面择优生长转变为沿(100)晶面择优生长,晶粒尺寸变小,表面均方根粗糙度和光学带隙Eopt增大;薄膜在300℃的条件下会完全分解成铜和氮气;薄膜表面的Cu元素以+1价形式存在,Cu2p3/2,Cu2p1/2和N1s峰分别位于932.7,952.7和397.3 eV.(本文来源于《中国矿业大学学报》期刊2008年02期）
张军,谢二庆,付玉军,李晖,邵乐喜[7]（2007）在《衬底温度和氮气分压对氮化锌薄膜的性能影响(英文)》一文中研究指出采用射频磁控溅射法在不同衬底温度和不同氮气分压下在石英玻璃衬底上制备氮化锌薄膜.利用XRD和喇曼散射仪分析了样品的晶体结构和组成.结果表明当氮气分压为1/2时可以生成多晶单一相的氮化锌薄膜.利用霍尔效应和光学透过谱测量了样品的电学和光学性质.结果表明衬底温度对样品的电学和光学性质有很大的影响.衬底温度从100℃上升到300℃时,样品的电阻率从0.49降低到0.023Ω.cm.电子浓度从2.7×1016升高到8.2×1019cm-3.在衬底温度为200℃,氮气分压为1/2时,样品的光学带隙为1.23eV.(本文来源于《半导体学报》期刊2007年08期）
徐晔,蔡珣,陈秋龙,沈耀[8]（2006）在《氮气分压对直流磁控溅射Ti-Si-N膜的影响》一文中研究指出在利用磁控溅射方法制备Ti-Si-N膜的过程中,反应气体中氮气的分压是一个重要的参数。本文采用钛-硅复合靶,在不同氮气分压下制得了一系列Ti-Si-N膜,并借助能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)、纳米压入仪和划痕仪对膜层的成分、结构和力学性能进行了分析。结果表明,少量氮气的加入能制得纳米硬度高达53GPa的Ti-Si-N膜。随着氮气分压的增加,纳米硬度逐渐下降。随着氮气分压的增加,膜层中TiN相和Si3N4相的比例减小,同时,TiN晶粒的平均尺寸也逐渐减少。这两个趋势的共同作用使得Ti-Si-N膜随氮气分压的变化发生非线性的变化。(本文来源于《第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集》期刊2006-08-01）
徐晔,蔡珣,陈秋龙,沈耀[9]（2006）在《氮气分压对直流磁控溅射Ti-Si-N膜的影响》一文中研究指出在利用磁控溅射方法制备Ti-Si-N膜的过程中,反应气体中氮气的分压是一个重要的参数。本文采用钛—硅复合靶,在不同氮气分压下制得了一系列Ti-Si-N膜,并借助能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)、纳米压入仪和划痕仪对膜层的成分、结构和力学性能进行了分析。结果表明,少量氮气的加入能制得纳米硬度高达53GPa的Ti-Si-N膜。随着氮气分压的增加,纳米硬度逐渐下降。随着氮气分压的增加,膜层中TiN相和Si3N4相的比例减小,同时,TiN晶粒的平均尺寸也逐渐减少。这两个趋势的共同作用使得Ti-Si-N膜随氮气分压的变化发生非线性的变化。(本文来源于《第六届全国表面工程学术会议论文集》期刊2006-08-01）
顾广瑞,吴宝嘉,李全军,金哲,盖同祥[10]（2004）在《氮气分压对氮化硼薄膜场发射特性的影响》一文中研究指出利用射频磁控溅射方法 ,真空室中充入高纯N2 (99.99% )和高纯Ar(99.99% )的混合气体 ,在n型 (10 0 )Si基底上沉积了氮化硼 (BN)薄膜。红外光谱分析表明 ,BN薄膜结构为六角BN(h -BN)相 (1380cm-1和 780cm-1)。在超高真空 (<10 -7Pa)系统中测量了BN薄膜的场发射特性 ,发现沉积时氮气分压的变化对BN薄膜的场发射特性有很大影响。随着氮气分压的增加 ,阈值电场逐渐升高 ,这是由于表面粗糙度的变化造成的。充入 10 %N2 情况下沉积的BN薄膜样品的场发射特性较好 ,开启电场为 9V/μm ,当电场升高到 2 4V/μm ,场发射电流为 32 0 μA/cm2 。所有样品的场发射FN曲线均近似为直线 ,表明电子是通过隧道效应穿透BN薄膜表面势垒发射到真空的(本文来源于《液晶与显示》期刊2004年02期）
氮气分压论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
超晶格涂层因具有优异的力学性能及抗氧化性能在刀具涂层工业中备受关注。采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备了AlCrTiSiN涂层,研究了氮气分压对AlCrTiSiN涂层微观结构及力学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜研究了AlCrTiSiN涂层的微观结构;利用纳米压痕仪、划痕仪和磨损仪研究了AlCrTiSiN涂层的力学性能。结果表明:不同氮气分压的AlCrTiSiN涂层均由(Cr,Al)N相、(Ti,Al)N相和(Cr,Al)2N相以及非晶态的Si相和Si3N4相组成。与氮气分压为4Pa的涂层相比,氮气分压为2或3Pa的涂层具有更高的硬度、抗载荷能力和涂层-基体结合强度,以及更低的摩擦因数及磨损率。此外,45钢和铸铁切削试验表明:AlCrTiSiN涂层刀具较AlCrN涂层刀具有更好的切削性能,无涂层刀具具有最差的切削性能。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
氮气分压论文参考文献
[1].易方,孟浩龙.用氮气脱氧装置降低飞机燃油中溶解氧分压[J].石化技术与应用.2018
[2].牛宝林,陈汪林,刘书媛,张世宏.氮气分压对AlCrTiSiN超晶格涂层微观结构及力学性能的影响[J].中国表面工程.2015
[3].牛宝林,陈汪林,刘书媛,张世宏.氮气分压对AlCrTiSiN多元超晶格涂层微观结构及力学性能的影响[C].第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘要集（一）.2014
[4].陈康敏,张晓柠,郑陈超,黄燕,关庆丰.氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响[J].真空科学与技术学报.2010
[5].张国平.阴极弧沉积技术制备ZrN薄膜时氮气流量(分压)对薄膜性质的影响[C].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009
[6].袁晓梅,闫鹏勋,孔凡成,方延平,郑晓慧.氮气分压对Cu_3N薄膜性质的影响[J].中国矿业大学学报.2008
[7].张军,谢二庆,付玉军,李晖,邵乐喜.衬底温度和氮气分压对氮化锌薄膜的性能影响(英文)[J].半导体学报.2007
[8].徐晔,蔡珣,陈秋龙,沈耀.氮气分压对直流磁控溅射Ti-Si-N膜的影响[C].第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集.2006
[9].徐晔,蔡珣,陈秋龙,沈耀.氮气分压对直流磁控溅射Ti-Si-N膜的影响[C].第六届全国表面工程学术会议论文集.2006
[10].顾广瑞,吴宝嘉,李全军,金哲,盖同祥.氮气分压对氮化硼薄膜场发射特性的影响[J].液晶与显示.2004
论文知识图
