论文摘要
基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微气相色谱柱(μGCC)芯片,芯片的微沟道内设计有排列整齐的椭圆微柱阵列。与现有半填充μGCC相比,新型μGCC的微沟道具有更大的表面积和更均匀的流速场分布,对芯片分离度和柱效的提高起着至关重要的作用。设计的芯片成功分离了重烃类混合气体组分和苯系物,理论塔板数最高可达到9 246 plates/m。
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类型: 期刊论文
作者: 田博文,冯飞,赵斌,罗凡,杨雪蕾,李昕欣
关键词: 微机电系统,半填充微气相色谱柱,椭圆微柱,分离度,柱效
来源: 传感器与微系统 2019年06期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑
专业: 化学
单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院大学
基金: 国家自然科学基金资助项目(91323304,60876081,61172151),上海市科委项目(14DZ1105102),国家高技术研究发展“863”计划资助项目(2009AA04Z317)
分类号: O657.71
DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)06-0005-04
页码: 5-8
总页数: 4
文件大小: 1154K
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标签：微机电系统论文; 半填充微气相色谱柱论文; 椭圆微柱论文; 分离度论文; 柱效论文;