估计系统点扩展函数以降低相位测量轮廓术误差

估计系统点扩展函数以降低相位测量轮廓术误差

论文摘要

针对相位测量轮廓术中由光学成像设备的点扩展函数引起的卷积效应,提出了一种估计点扩展函数卷积模型参数的方法。该方法利用卷积效应对相位测量轮廓术中光强调制度参数的影响,通过计算基频与更高空间频率之间的光强调制比率,实现了对点扩展函数参数的估计,利用估计的参数建立卷积模型对误差区域进行相位校正,从而提高三维重建精度。仿真及实验结果均验证了所提方法的有效性,与校正前相比,相位的均方根误差减小了30.55%。

论文目录

  • 1 引 言
  • 2 基本原理与误差分析
  •   2.1 相位测量轮廓术
  •   2.2 卷积模型及误差分析
  • 3 基于光强调制比的高对比度反射率区域相位校正法
  • 4 实验结果及分析
  •   4.1 仿真分析
  •   4.2 实验分析
  • 5 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 田懿,包国琦,刘凯

    关键词: 测量,相位测量轮廓术,点扩展函数,卷积效应,相位误差,相位校正

    来源: 中国激光 2019年05期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,信息科技

    专业: 物理学,计算机软件及计算机应用

    单位: 四川大学电气信息学院,广东省公安厅

    基金: 国家自然科学基金(NSFC61473198),四川省科技厅重点研发项目(2018GZ0198),成都市科技局重点研发支撑计划(2018-YFYF-00029-GX),四川大学自贡市校地科技合作重点研发项目(2018CDZG-12)

    分类号: TP391.41;O439

    页码: 373-379

    总页数: 7

    文件大小: 857K

    下载量: 107

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