论文摘要
基于超声振动理论,针对当前阳极键合面临的键合温度较高、易产生残余应力对器件结构造成破坏等问题,在分析超声在机械加工中的应用后,创造性地将超声振动应用到MEMS封装中的阳极键合工艺中来,设计了一种键合强度高、试验温度低、结构简单、工作可靠的超声振动阳极键合试验台,为研制超声振动阳极键合机奠定了坚实基础,对于缩短阳极键合时间、降低阳极键合所需温度、提高MEMS器件的键合性能、满足实际生产需要具有重要意义。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 徐海乐,李忠芳
关键词: 超声振动,阳极键合,试验台
来源: 现代制造技术与装备 2019年12期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 山东铝业职业学院机械工程学院,山东铝业职业学院汽车工程学院
分类号: TH87
DOI: 10.16107/j.cnki.mmte.2019.1205
页码: 73-75
总页数: 3
文件大小: 1545K
下载量: 20
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