论文摘要
针对现有共焦显微镜中定焦速度慢和定焦精度差的问题,提出了基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法。充分利用轴向扫描器件的响应时间通过单步驱动获取数据,大幅提高采集速度,提高系统信噪比;通过拟合区间优化和分开拟合的数据处理方法来快速、准确获取定焦目标位置,进而实现激光共焦显微镜轴向定焦效率的提升。理论分析与实验结果表明:与现有定焦方法相比,方法在粗定焦阶段使定焦速度提升5.64倍,在准确定焦阶段使定焦速度提升3.08倍,其有效提升了现有共焦显微镜的轴向定焦速度和精度。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 於维华,王允,邱丽荣,吴寒旭,赵维谦
关键词: 光学测量,共焦,快速定焦,单步驱动
来源: 光学技术 2019年05期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 物理学,仪器仪表工业,无线电电子学
单位: 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
基金: 国家自然基金杰出青年基金(51825501),国家重点研发计划课题(2017YFA0701203)
分类号: TN24;TH742
DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.05.005
页码: 535-540
总页数: 6
文件大小: 794K
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