多维栅格标准样板的制备与表征（英文）

论文摘要

栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准,文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结构。为了实现不同精度、尺寸范围的校准需求,在同一基板上实现了多维、多参数的横向栅格标准样板的结构设计与集成。使用计量型纳米测量机(NMM)对微纳米栅格标准样板测量误差进行了分析与评价,以实现标准样板的溯源性表征。实验结果表明,栅格标准样板具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的栅格标准样板能作为一种理想的实物标准运用于纳米几何量量值溯源体系。

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类型: 期刊论文

作者: 雷李华,蔡潇雨,魏佳斯,孟凡娇,傅云霞,张馨尹,李源

关键词: 栅格标准样板,微纳米,快速循迹,量值溯源

来源: 红外与激光工程 2019年05期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,仪器仪表工业

单位: 上海市计量测试技术研究院

基金: 国家重大科学仪器开发专项(2014YQ090709),国家自然科学基金面上项目(51475335),国家航空科学基金(201856Y5001)

分类号: TB383.1;TH702

页码: 52-58

总页数: 7

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标签：栅格标准样板论文;  微纳米论文;  快速循迹论文;  量值溯源论文;