论文摘要
金属铱具有高熔点及低氧渗透率,是理想的氧气扩散屏障材料,为重要的高温抗氧化防护涂层材料之一,在航空航天领域具有广阔的应用前景。综述了目前较常采用的几种铱涂层制备技术的特点,在对比现有铱涂层制备方法的基础上,提出了原子层沉积/化学气相沉积复合制备技术。分析了该复合制备技术在铱涂层制备方面的优势,并指出发展原子层沉积/化学气相沉积复合制备技术尚需解决的几个关键问题。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 成功,熊玉卿,周晖,张凯峰,高恒蛟
关键词: 涂层,原子层沉积,化学气相沉积,复合制备
来源: 固体火箭技术 2019年04期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 航空航天科学与工程
单位: 兰州空间技术物理研究所,真空技术与物理真空实验室
基金: 解放军总装备部预研项目
分类号: V259
页码: 499-505+512
总页数: 8
文件大小: 204K
下载量: 168