导读:本文包含了室温沉积论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:AZO薄膜,直流射频耦合,表面形貌,电学性能
室温沉积论文文献综述
仲召进,曹欣,高强,韩娜,崔介东[1]（2019）在《射频溅射功率对室温沉积AZO薄膜性能的影响》一文中研究指出本文采用直流射频耦合磁控溅射技术,在玻璃基底上室温沉积AZO薄膜,将射频电源功率从0W增加到到200W。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外分光光度计、霍尔效应测试系统重点研究了AZO薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性能和电学性能。研究结果表明,直流射频耦合磁控溅射可以在室温下制备性能优异的AZO薄膜,且射频溅射功率对AZO薄膜光电性能有显着的影响,随着射频功率的提高,AZO薄膜致密性增加,粒子逐渐变大,薄膜表面形貌和生长形态发生一定变化。在射频功率为200W时,室温制备的AZO薄膜电阻率达到最低5.39×10~(-4)Ω·cm,薄膜平均可见光透过率达到82.6%。(本文来源于《真空》期刊2019年01期）
梁立容,魏爱香,莫忠[2]（2018）在《室温脉冲激光沉积法合成Bi_(3.95)Er_(0.05)Ti_3O_(12)薄膜及其介电性能研究》一文中研究指出采用脉冲激光沉积法,室温条件下在透明导电玻璃衬底上制备了Bi_(3.95)Er_(0.05)Ti_3O_(12)(BErT)薄膜。研究结果表明,低沉积氧气压下制备的BErT薄膜表面致密,平整无裂缝,且呈非晶结构;当沉积氧气压为3Pa时,BErT薄膜厚度约为180nm,表现出优秀的介电性能,即当测试频率为1kHz时,室温介电常数为52,介电损耗为0.025。同时,BErT薄膜的介电性能随频率、电压和温度的变化比较稳定,在可见光区间具有较高的透过率。(本文来源于《中国激光》期刊2018年09期）
李欣,李振亮,段宝玉,李一鸣,徐玉磊[3]（2018）在《挤压-室温轧制对尺寸不对称喷射沉积含Gd镁合金组织及织构影响》一文中研究指出采用喷射沉积技术制备Mg-8Zn-2Ca-2Gd-1Zr-1Nd合金沉积坯,对其进行挤压预变形后再进行室温轧制变形(ε=5%,10%,15%)。利用蔡司金相显微镜(OM),扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分析挤压—轧制变形对镁合金显微组织及微观织构演变的影响。结果表明:尺寸不对称喷射沉积镁合金挤压坯在室温轧制变形时,随压下率(ε=5%,10%,15%)增加,硬度值升高且存在硬度值分布不均匀现象,团聚第二相粒子逐渐呈弥散分布,其中尺寸小于1μm的第二相粒子弥散分布于基体上,而部分富稀土元素第二相碎化后偏聚在基体晶粒晶界处,大量弥散分布于基体和晶界处的第二相粒子阻止位错滑移是镁合金轧制后硬度提高的重要原因。尺寸不对称喷射沉积镁合金在挤压-轧制变形过程中,当ε=10%时,(0002)基面织构强度降低、非基面织构形成且极密度增强,实现了形变织构随机化。晶粒细化、挤压坯初始织构遗传性、尺寸不对称变形叁者综合作用是实现形变织构随机化的主要原因。(本文来源于《稀有金属》期刊2018年10期）
章志铖,郭嘉成,徐文彬,聂乐文,弓磊超[4]（2017）在《室温离子液体中电沉积高耐蚀性Ni-Mn薄膜》一文中研究指出目的提高AZ91D镁合金的耐腐蚀性能。方法通过电沉积方法在氯化胆碱-尿素离子液体中于镁合金表面电沉积Ni-Mn合金膜层。经过均一化前处理,在镁合金表面电沉积铜层,以提高后续Ni-Mn合金膜层与基体的结合力。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)研究了Mn元素对膜层微观形貌、成分和相结构的影响,并通过电化学方法评价了镀层的电化学腐蚀行为。结果引入Mn元素后,膜层表面微观形貌从锥状演变为肿瘤状,且Ni-Mn合金膜层的Mn含量取决于电流密度,其含量随着电流密度的增加而增加。与纯Ni膜相比,引入少量Mn元素可以提高其耐腐蚀性能,然而引入过多的Mn元素,膜层的耐腐蚀性能将弱于纯Ni膜。结论当电沉积Ni-Mn膜层含有3.078%(原子数分数)Mn时,具有最佳的耐腐蚀性能,其自腐蚀电流密度Jcorr=0.301μA/cm2,自腐蚀电位Ecorr=-0.157 V(vs.SCE)。(本文来源于《表面技术》期刊2017年03期）
阚洪敏,祝跚珊,冯筱珺,张宁,王晓阳[5]（2017）在《室温电沉积制备铝镁合金的研究进展》一文中研究指出铝镁合金因其优异的耐蚀性、装饰性、抗氧化性和可加工性成为理想的构件防护材料;除此之外,由于其质量轻,理论储氢量高,铝镁合金作为储氢材料具有广泛应用前景。为使铝镁合金得到良好的应用,需要制备超细结构纯净合金,电沉积是制备高纯合金的有效方法之一。室温电沉积是在室温条件下,通过控制沉积参数实现对合金微观组织结构和成分的控制,制备高纯超细合金。综述了室温电沉积制备铝镁合金的体系和电流密度、沉积方式、镁离子引入方式及实验环境和条件等对铝镁合金组成、形貌和晶体结构等的影响,重点介绍了室温电沉积铝镁合金的影响因素及铝镁合金在装饰、防腐蚀和储氢等方面的应用,提出了室温电沉积制备高纯铝镁合金存在的问题及未来的发展趋势。(本文来源于《中国材料进展》期刊2017年01期）
惠迎雪,王钊,贺爱峰,徐均琪[6]（2016）在《室温下反应磁控溅射沉积氧化钛薄膜光学性能和力学性能研究》一文中研究指出目的通过对比不同溅射功率和氧气分压下氧化钛薄膜性能的变化规律,分析其力学性能和光学性能的关系。方法在室温条件下,采用直流反应磁控溅射技术在K9玻璃基底上沉积TiO_2薄膜,通过紫外可见红外分光光度计和椭偏仪对薄膜的光学特性进行分析,通过微纳米压痕技术对薄膜的力学性能进行表征。结果在给定工艺参数范围内,薄膜的光学折射率与纳米硬度和弹性模量正相关,随着溅射靶功率的增大,所制备薄膜的折射率、纳米硬度和弹性模量随之增大,而薄膜的光学带隙则随着溅射功率的增大而下降。同时,O_2流量对薄膜的光学性能和力学性能的影响更明显,在较低O_2流量条件下(Q(Ar)/Q(O_2)=10/1),所制备薄膜的折射率减小而光学带隙变大,随着O_2流量进一步减少(Q(Ar)/Q(O2)=20/1),薄膜的折射率增大而光学带隙减小,但薄膜的纳米硬度和弹性模量随O_2流量的减少而下降。结论磁控溅射沉积TiO_2薄膜的折射率与其光学带隙反向相关,而仅在适量氧气条件下所制备的薄膜的力学性能与光学特性有相关性。(本文来源于《表面技术》期刊2016年11期）
吴斯泰,沈鸿烈,李金泽,姚函妤,沈小亮[7]（2016）在《退火温度对室温沉积的ITO薄膜与p-Si接触性能的影响》一文中研究指出室温下用射频磁控溅射法在玻璃和p型单晶硅衬底上沉积ITO薄膜,并对其进行不同温度的退火处理。采用XRD衍射仪测试薄膜结晶性,用紫外-可见分光光度计和霍尔效应测试试样光电性能,用吉时利2400表测试ITO/p-Si接触的I-V曲线,用线性传输线模型测试比接触电阻。研究结果表明:室温下沉积的ITO薄膜与p-Si形成欧姆接触,但比接触电阻较大。退火处理可以进一步优化接触性能,200℃退火后试样保持欧姆接触且比接触电阻下降为8.8×10~(-3)Ω·cm~2。随着退火温度进一步升高到300℃,比接触电阻达到最低值2.8×10~(-3)Ω·cm~2,但接触性能变为非线性。(本文来源于《半导体光电》期刊2016年05期）
刘成员[8]（2016）在《酰胺基室温熔盐中金属电沉积》一文中研究指出本论文采用了两种室温熔盐,第一种为尿素-乙酰胺(或丁酰胺)-LiBr室温熔盐,可作为金属银或铝电沉积的介质;第二种为AlCl3-丁酰胺室温熔盐,可作为活性金属铝电沉积的介质。采用循环伏安法、计时电流、恒电位法等电化学方法研究了金属银和铝的电化学行为;采用拉曼光谱研究了两种室温熔盐的熔盐结构。在尿素-乙酰胺-LiBr(36.6mole%-52.8mole%-10.6mole%)体系中,Ag(I)在钨工作电极上还原为金属银的反应过程为不可逆过程。银在钨电极上的电结晶过程受过电位和温度的影响:随着过电位的增大或温度的升高,其电结晶成核由受扩散和电荷转移双控制的过程逐渐转变为完全由扩散控制的瞬时成核过程。银沉积层具有较高的拉曼光谱增强效应,增强因子可达105～106。室温时AlCl3/丁酰胺摩尔比在0.8～1.7范围内能形成均匀、流动性较好的液体;添加尿素和LiBr后,AlCl3/(尿素+丁酰胺)摩尔比在1.3～1.7范围内才能形成均匀、流动性较好的液体。拉曼光谱研究结果表明:熔体中存在AlCl4-和Al2Cl7-两种含铝络合离子,其各自含量与AlCl3/丁酰胺摩尔比有关。A12Cl7-只存在于摩尔比大于1.0的AlCl3-丁酰胺体系中,当摩尔比增大到1.7时,只存在A12Cl7。添加卤化锂LiX(X=F、Cl、Br)能促进AlCl4-的生成,降低Al2Cl7-的含量。在两种AlCl3-丁酰胺体系中,Al2Cl7-是发生Al(Ⅲ)离子还原为金属铝的电活性离子,即4Al2Cl7-+3e-→Al+7AlC14。AlCl3/丁酰胺摩尔比的增大,Al2Cl;含量增加,Al(Ⅲ)的起始还原电位向正方向偏移,有利于金属铝的电析出。XRD和SEM-EDS检测结果表明,获得的铝镀层纯度较高。添加卤化锂有助于获得致密的晶粒细小的铝镀层,促进铝的择优结晶取向从(111)向(200)转变,其中LiCl影响最显着。(本文来源于《东北大学》期刊2016-06-01）
李敏[9]（2016）在《酰胺基室温熔盐中金属电沉积的研究》一文中研究指出室温熔盐是一种新型的介质,具有低的熔点、可接受的电导率且对金属氯化物的溶解度高,在较低的温度下便可电沉积得到金属及合金。本论文基于离子液体室温熔盐成本高、对金属化合物溶解度低以及共晶体系关于活性金属的研究比较缺乏现状,开发出了两种新型室温熔盐,第一种为尿素-乙酰胺-LiBr室温熔盐,可作为惰性和活性金属电沉积的介质;第二种为AlCl_3/酰胺室温熔盐,可作为活性金属铝电沉积的介质。采用循环伏安、计时电流等电化学方法,系统研究了上述室温熔盐中钴、镍和铝的电还原及成核机理;同时,采用热分析、固定电导池常数、阿基米德、线性扫描伏安及循环伏安等方法研究了与熔盐结构密切相关的物理化学性质。尿素-乙酰胺-LiBr、尿素-乙酰胺-LiCl、尿素-乙酰胺-LiF(36.6mole%尿素-52.8mole%乙酰胺-10.6mole%LiX(X=F、Cl、Br))体系的液相线温度分别为40.5℃、45.7℃、65.5℃。在313～373K温度范围内,测量了尿素-乙酰胺-LiBr(36.6mole%-52.8mole%-10.6mole%)及不同摩尔比的AlCl_3/酰胺体系的电导率和密度值。使用回归方程拟合获得了电导率及密度与温度的关系式。AlCl_3/乙酰胺体系的电导率及密度都随AlCl_3与乙酰胺摩尔比的升高而增大。在313～353K温度范围内,测量了与上述成分组成完全相同的尿素-乙酰胺-LiBr体系的粘度值,并拟合获得了粘度与温度的关系式。353K时尿素-氯化胆碱(66.7mole%-33.3mole%)及尿素-乙酰胺-LiBr、尿素-乙酰胺-LiCl、尿素-乙酰胺-LiF、尿素-丙酰胺-LiBr(36.6mole%尿素-52.8mole%酰胺-10.6mole%LiX(X=F、Cl、Br))体系的电化学窗口 分别为 2.5V、2.2V、2.5V、2.6V、2.2V。上述体系具有相同的阴极极限,均对应着析氢反应R-CO-NH_2+e~-→1/2H_2+R-CO-NH-(R=NH_2,CH3),而阳极极限则由阴离子的氧化电位决定,随Br~-、Cl~-、F~-氧化电位依次变正而递增。333K时AlCl_3/酰胺及尿素-酰胺-LiX(X=F、Cl、Br)-AlCl_3(16.9mole%尿素-24.4mole%酰胺-4.9mole%LiX(X=F、Cl、Br)-53.8mole%AlCl_3)体系具有相同的阴极极限,均对应反应4 Al2Cl7 +3e-→Al+7AlCl4。其中AlCl_3/酰胺及尿素-酰胺-LiX(X=F、Cl)-AlCl_3体系的电化学窗口为2.5V,阳极极限由Cl_2析出电位所决定;而尿素-酰胺-LiBr-AlCl_3体系的电化学窗口为1.9V,阳极极限则由Br_2析出电位所决定。在尿素-氯化胆碱(66.7mole%-33.3mole%)及尿素-乙酰胺-LiBr(36.6mole%-52.8mole%-10.6mole%)体系中,Co(Ⅱ)在钨电极上的还原反应分别为CoCl_(2-x)~x+2e~-→Co+xCl~-、[CoCl_2·xBr]~(x-)+2e~-→Co+xBr-+2Cl~-。上述体系中钴在钨电极上的成核过程分别与连续成核、瞬时成核规律相符合;依据Cottrell方程,计算出上述两种体系中Co(Ⅱ)的扩散系数分别为1.1×10-6cm2/s、2.2×10-6cm2/s,与通过连续成核、瞬时成核相应公式计算出的扩散系数结果相吻合。依据连续成核及瞬时成核方式适用公式,分别计算出不同过电位下Co(Ⅱ)的饱和晶核数密度及晶核数密度,且二者都随过电位的增加而增大。在尿素-氯化胆碱(66.7mole%-33.3mole%)及尿素-乙酸胺-LiBr(36.6mole%-52.8mole%-10.6mole%)体系中,Ni(Ⅱ)在钨电极上的还原反应分别为NiCl_(2-x)~x+2e~-→Ni+xCl~-、[NiCl_2·xBr]~(x-)+2e~-→Ni+xBr~-+2Cl~-。尿素-氯化胆碱体系中镍在钨电极上的电结晶过程既不符合瞬时成核规律也不符合连续成核规律,而是介于二者之间;而尿素-乙酰胺-LiBr体系中镍在钨电极上的成核过程与连续成核规律相符合;依据Cottrell方程,计算出尿素-乙酰胺-LiBr体系中Ni(Ⅱ)的扩散系数为1.6×10~(-6)cm~2/s,与通过连续成核相应公式计算出的扩散系数结果相吻合,并使用连续成核适用公式计算出不同过电位下Ni(Ⅱ)的饱和晶核数密度,且其随过电位的增加而增大。室温时AlCl_3与酰胺只在1.0～1.5摩尔比范围内形成均匀、透明、黄色或棕色且流动性较好的液体。在AlCl_3/酰胺及尿素-乙酰胺-LiBr-AlCl_3体系中,只有当AlCl_3与胺基化合物摩尔比范围为1.1～1.5时,Al(Ⅲ)才能被还原出来,且随着摩尔比的增大Al(Ⅲ)的起始还原电位向正方向偏移,说明铝更容易被电沉积出来。上述体系中Al(Ⅲ)在钨电极上的还原反应为:4Al_2Cl_7+3e~-→Al+7AlCl_4~-。尿素-乙酰胺-LiBr-AlCl_3(16.9mole%-24.4mole%-4.9mole%-53.8mole%)体系中铝在钨电极上的成核过程与瞬时成核规律相符合。拉曼光谱研究结果表明,AlCl_3与乙酰胺摩尔比为1.0的AlCl_3/乙酰胺体系中只存在AlCl4结构的络合物;而AlCl_3与乙酰胺摩尔比范围为1.1～1.5的AlCl_3/乙酰胺体系中同时存在AlCl_4-和Al_2Cl_7-两种结构的络合物,且随着摩尔比的增大熔盐体系中AlCl_4结构的络合物相对含量减少而Al2Cl7结构的络合物相对含量则会增多。XRD和EDS检测结果表明,AlCl_3/酰胺熔盐体系中可获得附着性较好、致密、外表为银白色的高纯铝镀层;而AlCl_3/尿素、尿素-乙酰胺-AlCl_3及尿素-乙酰胺-LiBr-AlCl_3体系中获得附着性差、疏松、外表为黑色且含杂质的铝镀层。值得一提的是,本论文中用到的尿素-乙酰胺-LiBr及AlCl_3/酰胺体系并非唯一,可通过改变熔盐体系的组分衍生出多种新型室温熔盐;同时,本论文中用到的酰胺基室温熔盐可作为多种惰性和活性金属电沉积的介质而非仅局限于本论文所研究的钴、镍及铝;展望部分对此做了详细说明。(本文来源于《东北大学》期刊2016-01-01）
M.Rostom,Ali,Andrew,P.Abbott,Karl,S.Ryder[10]（2015）在《采用AlCl_3-EMIC-MgCl_2室温离子液体电沉积制备铝-镁合金（英文）》一文中研究指出采用恒电流和恒电位技术,以及路易斯酸氯化铝(III)-1-乙基-3-甲基咪唑氯化物离子液体中添加氯化镁(II),室温下在铂和铜阴极表面电沉积制备了铝-镁合金.合金层中镁的含量随离子液体中氯化镁浓度和所施加的阴极电流密度的增加而增加.采用X-射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和能量散射X-射线谱(EDAX)技术,研究了不同电沉积实验条件得到的电沉积层的晶体结构及表面形貌.增加沉积电流密度,可以制备出致密、光亮和结合力良好的电沉积层.铝-镁合金电沉积的阴极电流效率可达99%.应用电化学石英晶体微天平(EQCM)技术研究了电沉积合金的组成.根据重声阻抗分析得到的质量-电荷(m-Q)曲线斜率计算了金属共沉积层的化学成分.(本文来源于《电化学》期刊2015年02期）
室温沉积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用脉冲激光沉积法,室温条件下在透明导电玻璃衬底上制备了Bi_(3.95)Er_(0.05)Ti_3O_(12)(BErT)薄膜。研究结果表明,低沉积氧气压下制备的BErT薄膜表面致密,平整无裂缝,且呈非晶结构;当沉积氧气压为3Pa时,BErT薄膜厚度约为180nm,表现出优秀的介电性能,即当测试频率为1kHz时,室温介电常数为52,介电损耗为0.025。同时,BErT薄膜的介电性能随频率、电压和温度的变化比较稳定,在可见光区间具有较高的透过率。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
室温沉积论文参考文献
[1].仲召进,曹欣,高强,韩娜,崔介东.射频溅射功率对室温沉积AZO薄膜性能的影响[J].真空.2019
[2].梁立容,魏爱香,莫忠.室温脉冲激光沉积法合成Bi_(3.95)Er_(0.05)Ti_3O_(12)薄膜及其介电性能研究[J].中国激光.2018
[3].李欣,李振亮,段宝玉,李一鸣,徐玉磊.挤压-室温轧制对尺寸不对称喷射沉积含Gd镁合金组织及织构影响[J].稀有金属.2018
[4].章志铖,郭嘉成,徐文彬,聂乐文,弓磊超.室温离子液体中电沉积高耐蚀性Ni-Mn薄膜[J].表面技术.2017
[5].阚洪敏,祝跚珊,冯筱珺,张宁,王晓阳.室温电沉积制备铝镁合金的研究进展[J].中国材料进展.2017
[6].惠迎雪,王钊,贺爱峰,徐均琪.室温下反应磁控溅射沉积氧化钛薄膜光学性能和力学性能研究[J].表面技术.2016
[7].吴斯泰,沈鸿烈,李金泽,姚函妤,沈小亮.退火温度对室温沉积的ITO薄膜与p-Si接触性能的影响[J].半导体光电.2016
[8].刘成员.酰胺基室温熔盐中金属电沉积[D].东北大学.2016
[9].李敏.酰胺基室温熔盐中金属电沉积的研究[D].东北大学.2016
[10].M.Rostom,Ali,Andrew,P.Abbott,Karl,S.Ryder.采用AlCl_3-EMIC-MgCl_2室温离子液体电沉积制备铝-镁合金（英文）[J].电化学.2015