电子行业用高纯钨制备技术

电子行业用高纯钨制备技术

论文摘要

由于钨及其合金的高熔点和室温脆性,传统凝固成型及冷加工方案难以适用,高纯钨产品基本上代表了高纯金属制造技术的尖端水平。尽管我国是钨资源大国,但目前国内仅有少数企业能够生产集成电路用高纯钨靶材等产品,本文介绍了高纯钨产品制造相关的技术和国内专利情况,对了解这一领域提供参考。

论文目录

  • 高纯钨金属原料生产工艺
  •   (一) 湿化学法
  •   (二) 物理法
  • 高纯钨及合金产品制备工艺
  • 国内高纯钨及相关制品专利情况
  • 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 申璐,邓启煌

    来源: 中国科技信息 2019年14期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺

    单位: 国家开发银行宁波市分行,长江师范学院材料学院

    分类号: TG146.411

    页码: 53-54

    总页数: 2

    文件大小: 929K

    下载量: 158

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