膜层结构论文_林松盛,黄儒明,苏一凡,石倩,韦春贝

导读:本文包含了膜层结构论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:结构,磁控溅射,电弧,镁合金,硅烷,薄膜,铝合金。

膜层结构论文文献综述

林松盛,黄儒明,苏一凡,石倩,韦春贝[1](2019)在《CrN膜层结构对其性能的影响》一文中研究指出为制备厚且结合良好的硬质陶瓷膜层,采用真空阴极电弧离子镀技术,在6Cr13Mo钢表面分别沉积不同膜层结构的CrN膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析探讨了膜层结构与性能之间的关系.结果表明:单层结构CrN膜沿(111)择优生长;随膜层厚度的增加,颗粒等缺陷增多及晶粒长粗,致密度下降,结合力及磨损率下降;多层结构Cr-CrN膜沿(200)择优生长,随膜层厚度的增加,晶粒细小,致密性高,结合力及磨损率保持稳定;当厚度在20μm左右时,单层结构Cr-CrN膜硬度(Hv)为1899、结合力为13 N、磨损率为17.30×10~(-6) mm~3/m·N,而多层结构Cr-CrN膜硬度(Hv)为2000、结合力为100 N、磨损率为4.25×10~(-6) mm~3/m·N;多层结构Cr-CrN膜的性能明显优于单层结构CrN膜.(本文来源于《材料研究与应用》期刊2019年03期)

邢芷瑄,李慕勤[2](2019)在《镁合金微弧氧化载白藜芦醇复合膜层组织结构与耐蚀性》一文中研究指出通过对AZ31镁合金进行微弧氧化,以硅烷/植酸偶联中药提取物白藜芦醇,研究不同白藜芦醇载药量对涂层表面组织结构及耐蚀性的影响。采用SEM、XRD、EDS研究了涂层表面形貌特征、相及元素组成,研究了白藜芦醇的浓度对结合力、电化学腐蚀极化曲线和模拟体液浸泡生物活性的影响。结果表明,随着白藜芦醇浓度的增加,涂层表面的孔洞减少且变小,涂层结合强度逐渐增大,涂层腐蚀电位升高,而腐蚀电流下降,模拟体液实验表明其表面有新物质-类骨磷灰石生成。当白藜芦醇浓度为8 g/L时,耐蚀性最佳,具有良好的生物相容性。(本文来源于《中国体视学与图像分析》期刊2019年02期)

周东淇,董杰,金哲山,杨晓东,周立[3](2019)在《新型CFC结构对PECVD膜层clean性能提升的研究》一文中研究指出随着PECVD设备逐渐老化,上部电极(Diffuser)挂Particle的能力变差,腔室进行Clean时四角的Clean能力降低,Clean时间加长,为保证产品品质,需增加腔室的Clean时间,因此增加了NF3用量和成本,严重的还会导致个别腔室出现四角膜层聚集,影响产品良率和品质。新型CFC(Corner Flow Cleaning)装置,其原理是通过气流引导,让更多的NF3气体流向四角,有效增强四角Clean能力,达到降低Clean时间和确保品质的目的。(本文来源于《电子世界》期刊2019年09期)

张青菊[4](2019)在《基于配方试验研究电解液对微弧氧化膜层微观结构和性能的影响》一文中研究指出本文选用A356铝合金作为基体材料,电解液组成为Na_2SiO_3、NaOH和KF,在两种电压条件下,采用配方均匀实验设计,合理地选择少量的试验点,研究电解液组分搭配与膜层制备和膜层性能之间的内在规律。首先,分析膜层制备过程中微弧氧化反应可行性和微弧氧化膜层成膜性与电解液组成之间的关系,得出电解液组成对膜层制备有非常显着影响,过高或过低的电导率和pH值都会降低微弧氧化反应可行性和膜层成膜性,并且电解液中NaOH浓度对电解液电导率和pH值的影响远远超过Na_2SiO_3和KF。通过对各方案的直观分析,得出不同电压条件下电解液的合理范围,在400 V电压条件下,溶液电导率、pH值和NaOH浓度的范围分别为:41.7~67.3 ms/cm、12.69~12.94、2.72~9.92 g/L;在480V电压条件下,溶液电导率、pH值和NaOH浓度的范围分别为:小于41.7 ms/cm、小于12.69、小于2.72 g/L。然后,通过回归分析探究400 V电压条件下电解液组成与膜层各性能之间的内在规律。电解液各组分对膜层性能的影响不同,NaOH对膜层厚度的影响最大,KF对膜层厚度的作用远小于NaOH,而Na_2SiO_3的影响最小。随溶液中NaOH浓度的提高,膜层的致密性下降。Na_2SiO_3浓度膜层耐Cl~-腐蚀能力的影响最大,KF次之,而NaOH最小。在400 V和480 V电压条件下,在不同的电解液方案中所制得的膜层都能显着的提高A356铝合金基体的耐蚀性,在400 V电压条件下,2#电解液所得膜层的腐蚀电流密度与基体相比降低了接近4个数量级。增加反应电压有利于提高膜层的厚度,不改变膜层的物相组成,但会对膜层的微观结构造成破坏,如果溶液中NaOH的浓度较高(>3g/L),提高电压则会对膜层的电化学耐蚀性造成不利的影响。同时考虑微弧氧化反应可行性,膜层成膜性、膜层厚度、微观结构和耐腐蚀性,400 V电压条件下,2#电解液方案为最优方案,其组成为:Na_2SiO_3:26.4 g/L、NaOH:9.92 g/L、KF:3.64 g/L,电导率和pH值分别为66.3 ms/cm和12.93;480V电压条件下,3#电解液方案为最优,其组成为Na_2SiO_3:22.44 g/L、NaOH:0.68 g/L、KF:16.88 g/L,所对应的pH值和电导率分别为35.6 ms/cm和12.53。(本文来源于《兰州理工大学》期刊2019-03-14)

常煜,赵国瑞,闫星辰,马文有,刘敏[5](2019)在《选区激光熔化成形Ti6Al4V合金微弧氧化生物活性膜层的制备、结构及性能》一文中研究指出目的提升选区激光熔化成形(SLM)Ti6Al4V合金的生物活性。方法研究了不同电压对微弧氧化技术(MAO)在SLMTi6Al4V表面制备含钙磷生物陶瓷涂层的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)、能量分散X射线光谱(EDS)和X射线衍射仪(XRD)等分析和研究了不同电压下微弧氧化涂层的显微结构、组织和成分等性能,并通过接触角测量和模拟体液浸泡实验及后续的红外光谱分析(FT-IR)等检验涂层的生物活性。结果经过微弧氧化处理,SLM Ti6Al4V表面含一定比例的钙磷且与基体结合良好的涂层,涂层的主要物相为锐钛矿,涂层厚度、钙/磷含量以及锐钛矿组织含量均随电压的升高而增加。300 V电压制备的膜层,表面均匀,钙、磷的原子数分数分别为7.04%、9.65%。涂层截面质量均一,厚度适宜,为3.19μm,且随着涂层增厚,基体元素Ti含量下降,Ca、P和O元素的含量增加。300V电压制备的膜层润湿性相比SLM Ti6Al4V基体的更好,膜层在SBF溶液中浸泡35天后,钙、磷比由0.73增加到1.2,并有羟基磷灰石生成。结论 SLM Ti6Al4V通过微弧氧化技术制备生物活性膜层的最优电压为300 V,经过微弧氧化后的钛合金表面生物活性得到提升。(本文来源于《表面技术》期刊2019年02期)

李建新,周白杨,陈志坚[6](2019)在《Ag掺杂ZnSb基热电薄膜的膜层结构和热电性能》一文中研究指出ZnSb基热电材料是中温区热电性能较好的一种材料,为进一步提升其性能,采用磁控溅射(射频+直流)的方法制备掺杂型ZnSb基热电薄膜;通过改变溅射功率控制Ag元素的掺杂量,通过真空退火来实现掺杂元素的均匀化和膜层的结晶,真空退火温度选用300℃,退火时间为1 h。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效应测试仪、薄膜Seebeck系数测量系统对薄膜特性进行测试;研究Ag掺杂对ZnSb基热电薄膜膜层结构和热电性能的影响。结果表明:随着Ag掺杂量的增加,薄膜的膜层结构显着改善,掺杂后薄膜中出现Ag_3Sb和Zn_4Sb_3两种新相;掺杂后薄膜的热电性能相比未掺杂薄膜的提升较大,掺杂对薄膜的Seebeck系数也产生了较大的影响。当Ag掺杂量(摩尔分数)为2.88%时,样品获得最大的功率因子,在573K温度下功率因子为1.979 mW/(m·K~2)。(本文来源于《中国有色金属学报》期刊2019年02期)

宋贵宏,刘鑫,李德元,陈立佳[7](2018)在《弧流对Ti—Si—C膜层结构与性能的影响》一文中研究指出电弧离子镀沉积膜层具有放电温度高、离化率高和沉积速率快等特点,可以在较低温度下促进Si—C成键,是获得含Si—C键膜层的一种经济实惠的方法。本文使用Ti—Si合金靶,在Ar和C2H2气体环境下,在铝合金衬底上制备了Ti—Si—C膜层,并分析和研究了不同弧流下沉积膜层的相组成、磨损和腐蚀性能。结果显示,不同弧流下沉积的膜层是由B1型Ti C相、立方结构的Si C相和金属Ti相组成的复合结构;大弧流由于放电温度高,有利于膜层中Si—C键的形成.弧流增加,靶材蒸发速率加快,沉积膜层的厚度增加,同时,由于靶材附近单位时间内气化和离化的Si和Ti数量增加,沉积膜层中Si和Ti含量和增加而C含量降低.弧流增加,膜层中碳化物总含量减少,造成膜层摩擦系数逐渐增加而耐磨性降低,但膜层的耐腐蚀性能增加.适当弧流下的沉积膜层可获得优异的磨损和腐蚀综合性能.(本文来源于《材料科学与工艺》期刊2018年06期)

方雷,马运柱,刘文胜,刘阳,刘超[8](2018)在《氧化时间对铝合金微弧氧化膜层结构及耐腐蚀性能的影响》一文中研究指出在硅酸盐体系(Na_2SiO_3+KOH)电解液中,采用微弧氧化技术在5052铝合金表面原位生成微弧氧化膜层。并利用SEM、EDS和XRD等仪器设备,分析微弧氧化膜层形貌、元素分布和相组成,着重分析氧化时间对膜层厚度、表面孔隙率和最大孔洞直径及膜层耐腐蚀性的影响。结果表明:微弧氧化膜层表面有典型的"火山堆积"形貌生成,且膜层厚度、表面孔隙率和最大孔洞直径随氧化时间的增加而增大;膜层主要元素为O和Al,相组成为γ-Al_2O_3和α-Al_2O_3,且主要为γ-Al_2O_3;微弧氧化处理可显着提高试样的耐腐蚀性能,腐蚀电流密度至少下降2个数量级,电化学阻抗模值|Z|至少增加2个数量级,随氧化时间从10 min延长到50 min试样的耐腐蚀性能先提升后降低,氧化时间为20 min的试样耐腐蚀性能最好。(本文来源于《粉末冶金材料科学与工程》期刊2018年05期)

王晓波,全风美,朱生发,丁晶晶,史鹏[9](2018)在《镁合金表面磁控溅射-微弧氧化制备Al_2O_3膜层的组织结构及性能》一文中研究指出采用磁控溅射-微弧氧化的方法在镁合金表面制备了Al_2O_3膜层,随后采用X射线衍射分析(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱分析(EDX)等方法对微弧氧化膜层的相结构、截面形貌及膜层中的元素分布进行了分析,采用摩擦磨损和电化学腐蚀方法对膜层的耐磨耐腐蚀特性进行了测试。结果表明,通过先进行磁控溅射后进行微弧氧化的方式可以在镁合金表面获得Al_2O_3微弧氧化膜层。通过改变反应终止电压可控制微弧氧化膜层的厚度。当反应终止电压不高于510 V,膜层主要由铝和Al_2O_3组成。而当微弧氧化反应终止电压超过600 V后,铝膜层完全参与反应转变为微弧氧化膜层,膜层主要由Al_2O_3和MgO组成。Al_2O_3微弧氧化膜层的形成有助于提高镁合金表面的耐磨耐腐蚀性能。(本文来源于《材料热处理学报》期刊2018年09期)

杨景辉,马兰英,包文霞,朱晓农,张楠[10](2018)在《利用多光子电离显微术研究铜铟镓硒薄膜太阳电池的微纳米膜层结构》一文中研究指出基于超短脉冲激光多光子电离显微成像原理,利用平均功率50μW、脉冲重复频率1kHz的50fs激光脉冲,对铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池进行深度扫描,比较分析了单纯钠钙玻璃衬底、镀钼钠钙玻璃和铜铟镓硒/钼膜层/钠钙玻璃叁种不同结构样品飞秒激光电离辐射信号的差别。实验发现,对应于不同膜层材料的飞秒激光诱导的电离辐射信号强度明显不同,在钠钙玻璃中电离辐射信号的强度约为空气本底的20倍,在Mo背电极层信号强度约为钠钙玻璃衬底的50倍,而CIGS层则出现与其带隙相对应的吸收谷,谷的强度与空气背景相同,利用多光子电离显微术对太阳电池进行逐点扫描可以对CIGS和Mo背电极层的成膜质量、吸收带隙和微纳结构进行精细研究。分析表明,超短脉冲多光子电离显微术对不同物质边界处的变化非常敏感,在具有多层结构的复杂器件的微观特性检测方面具有独特的优势。(本文来源于《光电子·激光》期刊2018年09期)

膜层结构论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

通过对AZ31镁合金进行微弧氧化,以硅烷/植酸偶联中药提取物白藜芦醇,研究不同白藜芦醇载药量对涂层表面组织结构及耐蚀性的影响。采用SEM、XRD、EDS研究了涂层表面形貌特征、相及元素组成,研究了白藜芦醇的浓度对结合力、电化学腐蚀极化曲线和模拟体液浸泡生物活性的影响。结果表明,随着白藜芦醇浓度的增加,涂层表面的孔洞减少且变小,涂层结合强度逐渐增大,涂层腐蚀电位升高,而腐蚀电流下降,模拟体液实验表明其表面有新物质-类骨磷灰石生成。当白藜芦醇浓度为8 g/L时,耐蚀性最佳,具有良好的生物相容性。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

膜层结构论文参考文献

[1].林松盛,黄儒明,苏一凡,石倩,韦春贝.CrN膜层结构对其性能的影响[J].材料研究与应用.2019

[2].邢芷瑄,李慕勤.镁合金微弧氧化载白藜芦醇复合膜层组织结构与耐蚀性[J].中国体视学与图像分析.2019

[3].周东淇,董杰,金哲山,杨晓东,周立.新型CFC结构对PECVD膜层clean性能提升的研究[J].电子世界.2019

[4].张青菊.基于配方试验研究电解液对微弧氧化膜层微观结构和性能的影响[D].兰州理工大学.2019

[5].常煜,赵国瑞,闫星辰,马文有,刘敏.选区激光熔化成形Ti6Al4V合金微弧氧化生物活性膜层的制备、结构及性能[J].表面技术.2019

[6].李建新,周白杨,陈志坚.Ag掺杂ZnSb基热电薄膜的膜层结构和热电性能[J].中国有色金属学报.2019

[7].宋贵宏,刘鑫,李德元,陈立佳.弧流对Ti—Si—C膜层结构与性能的影响[J].材料科学与工艺.2018

[8].方雷,马运柱,刘文胜,刘阳,刘超.氧化时间对铝合金微弧氧化膜层结构及耐腐蚀性能的影响[J].粉末冶金材料科学与工程.2018

[9].王晓波,全风美,朱生发,丁晶晶,史鹏.镁合金表面磁控溅射-微弧氧化制备Al_2O_3膜层的组织结构及性能[J].材料热处理学报.2018

[10].杨景辉,马兰英,包文霞,朱晓农,张楠.利用多光子电离显微术研究铜铟镓硒薄膜太阳电池的微纳米膜层结构[J].光电子·激光.2018

论文知识图

液晶相的例子两种不同晶粒分布构型的纳米多层膜内...(a)完成器件单元隔离和欧姆电极制备...不同测试温度下,(Ti/Al/Ni/Au)/AlGa...分子筛的SEM图不同频率下所得的微弧氧化膜层的SEM形...

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