沉积时间对Sn-Mg共掺ZnO薄膜光电性能的影响

论文摘要

采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上,在衬底温度为440℃,喷嘴到衬底距离为4 cm,掺杂原子（Zn∶Mg∶Sn）比例为97.6∶2∶0.4,载气流量为0.8 L/min的固定条件下,制备了不同薄膜沉积时间（5 min、7 min、9 min、11 min）的Sn-Mg共掺的ZnO薄膜。并用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、光致发光谱（PL）、紫外可见分光光度计（UV-VIS）、薄膜测厚仪（SCG-10）和伏安特性曲线（I-V）对薄膜的结构、表面形貌、发光性能、透过率、膜厚和电学性能进行了一系列表征。当沉积时间为7 min时,XRD表明,薄膜的（101）峰强度最大,择优取向明显。SEM图显示薄膜表面致密光滑,颗粒均匀,尺寸最大且形貌最佳。PL谱在372 nm处的发射峰强度最大,峰形最尖锐,所有薄膜的透过率在可见光区域都超过了80%,表现出了很好的光透过性能。从薄膜的I-V特性曲线可计算出此时的电阻最小,导电性能最佳。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王玉新,崔潇文,臧谷丹,赵帅,李真,王磊,丛彩馨

关键词: 超声喷雾热解法,共掺,薄膜,沉积时间,光电特性

来源: 光电子·激光 2019年02期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 辽宁师范大学物理与电子技术学院

基金: 辽宁省教育厅科学研究一般项目“基于低成本溶液生长n-ZnO纳米棒,p-聚芴复合结构的有机无机异质结白光LED研究”(L2015292)资助项目

分类号: TQ132.41;TB383.2

DOI: 10.16136/j.joel.2019.02.0225

页码: 123-128

总页数: 6

文件大小: 1309K

下载量: 54

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