13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究

论文摘要

通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低频放电中,输入功率的增加对等离子体参数产生了不同的影响,高频放电中主要提升了电子密度,低频放电中则主要提升了电子温度.固定气压为10 Pa,分别由高频和低频驱动时,电子密度的径向分布均为"凸型".而电子温度的分布差异比较明显,高频驱动时,电子温度在腔室中心较为平坦,在边缘略有上升;低频驱动时,电子温度随径向距离的增加而逐渐下降.为了进一步分析造成这种差异的原因,在相同放电条件下采集了氩等离子体的发射光谱图,利用分支比法计算了亚稳态粒子的数密度,发现电子温度的径向分布始终与亚稳态粒子的径向分布相反.继续升高气压到100 Pa,发现不论高频还是低频放电,电子密度的径向分布均从"凸型"转变为"马鞍形",较低气压时电子密度的均匀性有了一定的提升,但低频的均匀性更好.

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张改玲,滑跃,郝泽宇,任春生

关键词: 感性耦合等离子体,双探针,发射光谱,等离子体参数

来源: 物理学报 2019年10期

年度: 2019

分类: 基础科学

专业: 物理学

单位: 大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室

基金: 国家自然科学基金(批准号:11475038)资助的课题~~

分类号: O53

页码: 186-195

总页数: 10

文件大小: 1427K

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