论文摘要
利用Poly Sim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出硅棒桥接附近气体流速较小、气体温度及硅棒表面温度过高是该区域沉积不均匀的主要原因。和实际生产结果对比表明,模拟计算数据的误差不超过5%。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李有斌,张胜涛,何银凤,梁世民,韩金豆,付昊,赵丽丽
关键词: 电子级多晶硅,化学气相沉积,数值模拟,气体循环
来源: 人工晶体学报 2019年01期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司,哈尔滨工业大学化学与化工学院
分类号: TQ127.2
DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.01.024
页码: 144-148
总页数: 5
文件大小: 888K
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