导读:本文包含了光致抗蚀剂论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:丙烯酸酯,共聚物,甲基,光刻,甲基丙烯酸,聚氨酯,马来。
光致抗蚀剂论文文献综述
王俊峰[1]（2017）在《LDI光致抗蚀剂的进展》一文中研究指出文章介绍了激光直接成像(LDI)光致抗蚀剂的现状以及不同类型光致抗蚀剂在PCB加工制造中的异同点。(本文来源于《印制电路信息》期刊2017年04期）
林立成,徐文佳,刘敬成,刘仁,穆启道[2]（2016）在《RAFT聚合法合成甲基丙烯酸酯共聚物及其在负性光致抗蚀剂中的应用》一文中研究指出以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和丙烯酸正丁酯(BA)为共聚单体,偶氮二异丁腈(AIBN)为引发剂,2-(十二烷基叁硫代碳酸酯基)-2-甲基丙酸(DMP)为链转移试剂,采用可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT)制备了甲基丙烯酸酯共聚物(PMBBH)。利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1 HNMR)和凝胶渗透色谱(GPC)对共聚物的结构进行了表征。以共聚物PMBBH为基体树脂制备了负性光致抗蚀剂,考察了PMBBH的分子量对光致抗蚀剂分辨率的影响。结果表明,以数均分子量为5.45×103g/mol,重均分子量为7.79×103 g/mol的PMBBH-2作为基体树脂时,该光致抗蚀剂得到的图像轮廓清晰,图形分辨率可达50μm。(本文来源于《影像科学与光化学》期刊2016年04期）
刘敬成,刘秋华,郑祥飞,刘仁,李治全[3]（2015）在《碱溶性聚氨酯改性甲基丙烯酸酯共聚物的制备及其在光致抗蚀剂中的应用》一文中研究指出首先以甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和异佛尔酮二异氰酸酯(I PDI)为反应单体,合成一种聚氨酯甲基丙烯酸酯大分子单体(PUA),然后与甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)、甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)通过自由基共聚制备一系列共聚物PMHB。利用傅里叶红外光谱(FTI R)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、热重分析(TGA)等表征了共聚物的结构与性能。制备的共聚物的重均分子量(Mw)在12867-20879g/mol之间;共聚物的热分解温度(T10%)达到220℃。以PMHB为基体树脂制备光致抗蚀剂,考察了光致抗蚀剂膜的铅笔硬度、附着力和分辨率,研究结果表明,光致抗蚀剂性能良好,分辨率达到40μm。(本文来源于《信息记录材料》期刊2015年05期）
李源纯,汪宇浩[4]（2015）在《一种重氮萘醌系光致抗蚀剂的制备与性质研究》一文中研究指出本实验采用2,3,4-叁羟基二苯甲酮作为接枝化母体,与2,1,4-重氮萘醌磺酰氯进行酯化,合成感光化合物,得到产物1.46g,测得熔点为143℃,并测定其红外光谱,之后再制得酚醛树脂-重氮萘醌磺酸酯正性抗蚀剂,然后进行成像实验,发现最佳曝光时间为90s,最小分辨率为10μm.(本文来源于《山东工业技术》期刊2015年18期）
周虎,李宁,蒋敏,罗小阳,唐甲林[5]（2015）在《光致抗蚀剂的制备及其性能研究》一文中研究指出以甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)、甲基丙烯酸(MAA)等为基本原料,以过氧化苯甲酰(BPO)为引发剂,分别选用无水乙醇、丁酮、乙酸乙酯为溶剂,采用溶液聚合法制备了成膜树脂;并以叁羟甲基丙烷叁丙烯酸酯(TMPTA)为交联剂,二苯甲酮(BP)为光引发剂,开发了光致抗蚀剂。研究结果表明,单体质量比MMA∶BA∶MAA为45∶40∶15时,反应生成了叁元共聚物,在引发剂用量为单体用量的1%~2%、反应温度控制在(80~85)℃的条件下,以无水乙醇作溶剂制备的成膜树脂最稳定,耐水性优于丁酮和乙酸乙酯作溶剂时制备的树脂。经紫外固化测试发现,固化时间控制在2 min左右比较合适,光引发剂用量在6%左右最适宜。该研究为光致抗蚀剂进一步的研究提供了思路,具有一定的借鉴意义。(本文来源于《印制电路信息》期刊2015年09期）
王筠,杨志广,杨欢欢,李铁生[6]（2015）在《单组分化学增幅型光致抗蚀剂LB膜的制备及光刻应用》一文中研究指出合成了光致产酸剂N-对甲苯磺酸酯马来酰亚胺(TsOMI),及其与十二烷基甲基丙烯酰胺(DDMA)、对叔丁氧基苯乙烯碳酸酯(t-BOCSt)聚合得到叁元共聚物。研究了该聚合物分子在气/液界面的成膜性,LB膜的光敏性和光刻性能。结果表明:该聚合物分子可在不同材质的基板上制备规整均匀的LB膜,在250nm紫外光照下,LB膜表现出化学增幅作用。以40层该聚合物LB膜为抗蚀层,经紫外曝光20min、显影10s后可得到分辨率为0.75μm(该掩膜所能达到的最大分辨率)的正型LB膜图形,进一步刻蚀得到分辨率为0.75μm的金膜图形。(本文来源于《化工新型材料》期刊2015年08期）
刘敬成,郑祥飞,林立成,穆启道,孙小侠[7]（2015）在《含N-苯基马来酰亚胺甲基丙烯酸酯共聚物的合成及其在负性光致抗蚀剂中的应用》一文中研究指出以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、N-苯基马来酰亚胺(N-PMI)、甲基丙烯酸环己基酯(CHMA)为反应单体,通过自由基共聚合成了一系列共聚物PMMNC,然后与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应制备了甲基丙烯酸酯共聚物G-PMMNC。利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1 HNMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、差示扫描量热(DSC)等表征了共聚物的结构与性能。随着N-PMI含量的升高,共聚物的分子量增大,玻璃化转变温度升高;以G-PMMNC为基体树脂制备了光致抗蚀剂,考察了光致抗蚀剂的耐酸性和分辨率,研究结果表明,该光致抗蚀剂的耐酸性良好,分辨率为40μm。(本文来源于《影像科学与光化学》期刊2015年03期）
王瑞[8]（2015）在《光致抗蚀剂用光产酸剂的发展趋势》一文中研究指出光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形。本文对光致抗蚀剂用光产酸剂进行初步介绍,分析了光致抗蚀剂用光产酸剂的最新研究进展,并对今后的发展做了相关的预测与展望。(本文来源于《化工管理》期刊2015年07期）
刘秋华,刘敬成,郑祥飞,穆启道,刘晓亚[9]（2015）在《碱溶性光敏聚氨酯丙烯酸酯的合成及其在光致抗蚀剂中的应用》一文中研究指出首先以异佛尔酮二异氰酸酯(IPDI)与2,2-二羟甲基丙酸(DMPA)反应得到聚氨酯预聚体(DMPA-PU),再分别用甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)、季戊四醇叁丙烯酸酯(PETA)为封端剂,合成了2种碱溶性光敏聚氨酯丙烯酸酯(DMPA-H-PUA和DMPA-P-PUA)。通过傅里叶红外光谱仪(FT-IR)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)对产物进行了表征,以实时红外光谱测定了两种低聚物的双键转化率,然后通过热重分析仪(TGA)表征了固化膜的热性能,最后以场发射扫描电镜(SEM)表征了基于2种低聚物制备的光致抗蚀剂的分辨率。结果表明:在酸值相同的情况下,PETA封端的PUA分子量、黏度均高于HEMA封端的PUA;两种低聚物的双键转化率均达到90%以上;二者固化膜热稳定性均良好;以DMPA-H-PUA和DMPA-P-PUA为基体树脂的光致抗蚀剂的分辨率分别达到25μm和40μm。(本文来源于《信息记录材料》期刊2015年01期）
郑祥飞,刘敬成,刘仁,刘晓亚[10]（2014）在《甲基丙烯酸树脂的合成及在负性光致抗蚀剂中的应用》一文中研究指出以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯(MAd MA)为单体,通过自由基聚合制备了不同MAd MA含量的共聚物PMMHM,再与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应制得光敏共聚物PMMHM-G。用傅里叶变换红外光谱、核磁共振氢谱、凝胶渗透色谱、差示扫描量热等表征了聚合物的结构与性能;以PMMHM-G为基体树脂配制了光致抗蚀剂,测试了抗蚀剂膜的硬度与附着力,并用扫描电子显微镜观测了光致抗蚀剂的分辨率。结果表明,随着MAd MA含量升高,共聚物的相对分子质量下降,玻璃化转变温度升高,树脂的耐碱性增强,光致抗蚀剂的硬度和附着力良好,分辨率达50μm。(本文来源于《高分子材料科学与工程》期刊2014年12期）
光致抗蚀剂论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和丙烯酸正丁酯(BA)为共聚单体,偶氮二异丁腈(AIBN)为引发剂,2-(十二烷基叁硫代碳酸酯基)-2-甲基丙酸(DMP)为链转移试剂,采用可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT)制备了甲基丙烯酸酯共聚物(PMBBH)。利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1 HNMR)和凝胶渗透色谱(GPC)对共聚物的结构进行了表征。以共聚物PMBBH为基体树脂制备了负性光致抗蚀剂,考察了PMBBH的分子量对光致抗蚀剂分辨率的影响。结果表明,以数均分子量为5.45×103g/mol,重均分子量为7.79×103 g/mol的PMBBH-2作为基体树脂时,该光致抗蚀剂得到的图像轮廓清晰,图形分辨率可达50μm。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光致抗蚀剂论文参考文献
[1].王俊峰.LDI光致抗蚀剂的进展[J].印制电路信息.2017
[2].林立成,徐文佳,刘敬成,刘仁,穆启道.RAFT聚合法合成甲基丙烯酸酯共聚物及其在负性光致抗蚀剂中的应用[J].影像科学与光化学.2016
[3].刘敬成,刘秋华,郑祥飞,刘仁,李治全.碱溶性聚氨酯改性甲基丙烯酸酯共聚物的制备及其在光致抗蚀剂中的应用[J].信息记录材料.2015
[4].李源纯,汪宇浩.一种重氮萘醌系光致抗蚀剂的制备与性质研究[J].山东工业技术.2015
[5].周虎,李宁,蒋敏,罗小阳,唐甲林.光致抗蚀剂的制备及其性能研究[J].印制电路信息.2015
[6].王筠,杨志广,杨欢欢,李铁生.单组分化学增幅型光致抗蚀剂LB膜的制备及光刻应用[J].化工新型材料.2015
[7].刘敬成,郑祥飞,林立成,穆启道,孙小侠.含N-苯基马来酰亚胺甲基丙烯酸酯共聚物的合成及其在负性光致抗蚀剂中的应用[J].影像科学与光化学.2015
[8].王瑞.光致抗蚀剂用光产酸剂的发展趋势[J].化工管理.2015
[9].刘秋华,刘敬成,郑祥飞,穆启道,刘晓亚.碱溶性光敏聚氨酯丙烯酸酯的合成及其在光致抗蚀剂中的应用[J].信息记录材料.2015
[10].郑祥飞,刘敬成,刘仁,刘晓亚.甲基丙烯酸树脂的合成及在负性光致抗蚀剂中的应用[J].高分子材料科学与工程.2014
论文知识图
