导读:本文包含了金属有机化学气相淀积论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:气相,有机化合物,有机化学,化学,金属,氮化,薄膜。
金属有机化学气相淀积论文文献综述
邢海英,范广涵,杨学林,张国义[1]（2010）在《金属有机化学气相淀积技术制备GaMnN薄膜材料光学性质研究》一文中研究指出研究由MOCVD技术制备的GaMnN外延薄膜光吸收谱.实验发现Mn掺杂后较未掺杂GaN吸收系数在近紫外区增加,在吸收谱低能区1.44eV附近观察到吸收峰,吸收系数随Mn浓度的增加而增大.实验结果与基于密度泛函理论的第一性原理计算结果一致,结合理论计算分析认为1.44eV附近的吸收峰源于Mn3+离子e态与t2态间的带内跃迁5T2→5E.(本文来源于《物理学报》期刊2010年01期）
江素华,唐凌,王家楫[2]（2004）在《聚焦离子束诱发金属有机化学气相淀积碳-铂薄膜》一文中研究指出通过一系列实验 ,对聚焦离子束诱发 MOCVD的成膜机理进行了研究 ,给出了淀积速率同离子束流等参数之间关系的理论模型 .发现随着离子束流的增大 ,薄膜淀积速率增大 ,但并非完全线性增加 ,薄膜中的 C/ Pt比例也随之变化 ,薄膜电阻率则随之降低 ,最后趋向恒定 .研究结果对实际工作中的工艺参数选取和薄膜电学性质的改进都有一定价值(本文来源于《半导体学报》期刊2004年11期）
彭定坤,黄磊,孟广耀[3]（2000）在《金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能》一文中研究指出以金属钯和镍的乙酰丙酮螯合物为混合源，采用金属有机化合物化学气相淀积法在多孔氧化铝陶瓷衬底上生长Pd-Ni合金膜.X射线光电子能谱测定表明膜的组成十分接近混合源内的Pd，Ni物质的量比.应用扫描电镜和原子力显微镜观察膜层形貌，发现多孔衬底对膜层形貌影响极(本文来源于《郑州轻工业学院学报》期刊2000年04期）
彭定坤,黄磊,孟广耀[4]（2000）在《金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能》一文中研究指出以金属钯和镍的乙酰丙酮螯合物为混合源,采用金属有机化合物化学气相淀积法在多孔氧化铝陶瓷衬底上生长Pd-Ni合金膜.X射线光电子能谱测定表明膜的组成十分接近混合源内的Pd,Ni物质的量比.应用扫描电镜和原子力显微镜观察膜层形貌,发现多孔衬底对膜层形貌影响极大,从而影响对氢气的敏感性能.在大孔α-Al2O3(孔径为0.2 μm)衬底上生长的Pd-Ni淀积膜呈现多孔不连续形貌,由此制作的氢敏感元件具有很高的氢灵敏性,显着高于电子束蒸发制备的Pa膜的氢灵敏度.相反,在微孔γ-Al2O3衬底(孔径为4 nm)上生长的Pd-Ni薄膜表面均匀,具有金属镜面光泽,但是对氢的灵敏度则比在α-Al2O3衬底上的Pd-Ni薄膜要小得多.(本文来源于《第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集》期刊2000-12-01）
周玉刚,李卫平,沈波,陈鹏,陈志忠[5]（2000）在《光加热低压金属有机化学气相淀积生长AlGaN》一文中研究指出采用光加热低压金属有机化学气相淀积方法成功地制备出高质量的、组分均匀的AlGaN外延层。结果表明 ,铝和镓的并入效率基本相等 ,这有别于其他研究报道。此外 ,建立了铝相对镓的并入效率与气相预反应之间的关系模型 ,它表明 ,光加热对预反应有较大的影响。结合GaN的生长可以看出 ,光加热有利于抑制预反应 ,从而有利于提高样品质量和铝组分的均匀性。(本文来源于《高技术通讯》期刊2000年08期）
黎风[6]（1992）在《第一届全国分子束外延(MBE)和第二届全国金属有机化学气相淀和(MOCV)学术讨论会同时在安图县召开》一文中研究指出由中国电子学会主持的第一届MBE学术会议和由中国有色金属学会主持的第二届MOCVD学术会议于1991年8月21日～24日在吉林省长白山麓安图县召开.会议由中国科学院长春物理研究所与半导体研究所共同承办.来自全国13个省市30多个科研单位、高等院校及厂家的代表近200人参加会议;此外,美国CAJON公司及其新加坡分公司、国际上着名的MBE设备生产厂之一,法国的Riber公司都派员参加会议,并在会上分别作了有关产品的性能介绍.(本文来源于《光学学报》期刊1992年07期）
周定为,韩杰,陈敏恒[7]（1990）在《金属有机化合物化学气相淀积含钛硬质涂层的过程研究》一文中研究指出在垂直冷壁CVD反应器中进行了文题的探索性研究。以二乙胺基钛(Ti(NEt_2)_4)为源,在不锈钢或硬质合金基体上完成了氮化钛(TiN)和碳氮化钛(Ti(C,N))硬质薄膜低温下的淀积。发现(TiN)和(Ti(C,N))分别在773K和973K下形成;在操作范围内整个反应器流场由自由对流控制;反应过程由表面过程控制;反应活化能为235 kJ/mol;二乙胺基钛反应级数为1级。进行了热力学计算,提出了反应历程假设。结果表明:用二乙胺基钛进行MOCVD淀积含钛硬质薄膜可以降低温度,以扩大基体的选用范围,为获得硬质薄膜提供了一条新的途径。(本文来源于《华东化工学院学报》期刊1990年04期）
周定为,韩杰,袁渭康[8]（1990）在《金属有机化合物化学气相淀积含钛硬质涂层的性能研究》一文中研究指出在用文题淀积方法制备出氮化钛、碳氮化钛和碳氮氧化钛硬质涂层的基础上,用表面分析手段分别进行了成分、结构分析、形貌观察和硬度测定。结果表明:以二乙胺基钛为原料可分别在773K和973K淀积氮化钛和碳氮化钛涂层;用钛酸异丙酯和钛酸丁酯可分别在973K和1073K获得碳氮氧化钛涂层。所得的涂层表面光洁度高、与基体附着性好、硬度满足实用要求。相比于普通化学气相淀积方法,本法在制备硬质涂层上有两大优点:(1)淀积温度降低,扩大了基体的选用范围;(2)固溶体涂层的获得扩大了涂层的适用范围。(本文来源于《华东化工学院学报》期刊1990年04期）
金属有机化学气相淀积论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
通过一系列实验 ,对聚焦离子束诱发 MOCVD的成膜机理进行了研究 ,给出了淀积速率同离子束流等参数之间关系的理论模型 .发现随着离子束流的增大 ,薄膜淀积速率增大 ,但并非完全线性增加 ,薄膜中的 C/ Pt比例也随之变化 ,薄膜电阻率则随之降低 ,最后趋向恒定 .研究结果对实际工作中的工艺参数选取和薄膜电学性质的改进都有一定价值
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
金属有机化学气相淀积论文参考文献
[1].邢海英,范广涵,杨学林,张国义.金属有机化学气相淀积技术制备GaMnN薄膜材料光学性质研究[J].物理学报.2010
[2].江素华,唐凌,王家楫.聚焦离子束诱发金属有机化学气相淀积碳-铂薄膜[J].半导体学报.2004
[3].彭定坤,黄磊,孟广耀.金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能[J].郑州轻工业学院学报.2000
[4].彭定坤,黄磊,孟广耀.金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能[C].第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集.2000
[5].周玉刚,李卫平,沈波,陈鹏,陈志忠.光加热低压金属有机化学气相淀积生长AlGaN[J].高技术通讯.2000
[6].黎风.第一届全国分子束外延(MBE)和第二届全国金属有机化学气相淀和(MOCV)学术讨论会同时在安图县召开[J].光学学报.1992
[7].周定为,韩杰,陈敏恒.金属有机化合物化学气相淀积含钛硬质涂层的过程研究[J].华东化工学院学报.1990
[8].周定为,韩杰,袁渭康.金属有机化合物化学气相淀积含钛硬质涂层的性能研究[J].华东化工学院学报.1990
论文知识图
