导读:本文包含了微结构气敏传感器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:氧化钨,传感器,纳米,微结构,结构,多孔,氧化铜。
微结构气敏传感器论文文献综述
冯志麟[1]（2018）在《硅基微结构气敏传感器的微热板设计及Si-NPA的有机蒸汽气敏性研究》一文中研究指出微型化热设备,如微加热器、温度传感器、流量传感器、气体和湿度传感器等,通常需要低导热系数的薄底物,以减少热损失,提高灵敏度和效率。由于气体传感器的工作性能要仰赖于采用的敏感材料的属性,而所有气敏材料,它们的气敏特性都与温度有着密切的关系。因此本文利用有限元分析软件ANSYS对加热板的温度分布进行了模拟,进而对其基底结构和电极结构进行了优化,来达到提升气体传感器的敏感性能和降低功耗的目的。本文在气敏薄膜的导电机理和传热学中的有限元理论的基础上,利用多孔硅的低导热性设计一种比SiO_2绝热层功耗更低的以多孔硅作为绝热层的新式微气体传感器微热板结构。通过仿真分析在加热电极上加载的热生成率为10~(10) W/m3的载荷,其余相同条件下,多孔硅作绝热层的加热板产生的温度比SiO_2绝热层产生的高11℃,因此当需要达到相同温度时,多孔硅作绝热层功耗更低。本文还对一种区域有序的且大小可控的基于硅纳米孔柱阵列的室温气体传感器进行了性能分析,它被作为室温有机蒸气传感器研究对于乙醇、丙酮的气敏性能。并用I-V曲线表示。I-V曲线表明,这些硅纳米孔柱阵列气体传感器对乙醇和丙酮有机蒸气敏感。开启阈值电压约为0.5 V,工作电压为3 V。在1%乙醇蒸气中,响应时间为5 s,恢复时间为15 s,此外,对硅纳米孔柱阵列气体传感器的稳定性进行评价。气体稳定结果可用于实际检测。这些优良的传感特性主要可以归因于,硅柱上气体分子的物理吸附以及空洞中气体蒸气的填充,造成硅纳米孔柱阵列整体介电常数的变化。(本文来源于《南京邮电大学》期刊2018-11-14）
王克行[2]（2017）在《氧化钨/氧化碲异质纳米结构气敏传感器研究》一文中研究指出当前,人们对生存环境安全问题日益关注,大气环境的治理与保护变得尤为重要。工业废气、汽车尾气等产生了大量的毒性NO、NO_2,这些氮氧化物气体可导致酸雨等自然灾害,同时可能诱发呼吸道疾病,严重污染了环境并对人身健康造成威胁,因此,对于氮氧化物气体的高灵敏度可靠快速检测具有迫切的现实意义。氧化钨材料是一种极具潜力的NO_X气敏传感材料。为了进一步提高氧化钨基气敏传感器的敏感特性,异质复合是一种有效的方法。本论文通过构造氧化钨/氧化碲异质结构,获得了对NO_2气体具有高灵敏度、快速响应与恢复的气敏传感器。通过两步法制备了氧化碲纳米颗粒修饰的氧化钨纳米棒结构。首先采用溶剂热方法合成氧化钨纳米棒,再利用四氯化碲的水解反应在氧化钨纳米棒表面修饰氧化碲纳米颗粒形成氧化钨/氧化碲表面异质纳米棒。利用SEM、XRD、TEM等技术对制备的纳米结构样品进行了微观表征,并进一步评价了其气敏特性。结果表明,氧化碲修饰后的气敏传感器较纯氧化钨纳米棒工作温度由200~oC降低至150~oC。同时对NO_2气体的灵敏度显着提高,150~oC时,氧化钨/氧化碲表面异质纳米棒气敏传感器表现为n型半导体的特性,对0.1-1ppm NO_2气体的灵敏度为纯氧化钨纳米棒的4倍左右,且具有良好的动态响应特性,以及对NO_2气体的良好选择性。阐述了氧化钨/氧化碲表面异质纳米棒的气敏机理,重点分析了氧化钨/氧化碲n-p异质结对电子输运及其对导电沟道的影响等。基于氧化钨、氧化碲双材料体系,利用气相法制备了垂直准定向氧化钨/氧化碲核壳异质纳米线阵列,SEM、XRD等微观表征显示制备的核壳阵列结构形貌均匀,该种异质有序阵列在气敏传感领域及其他相关领域可预期有广阔的研究前景。(本文来源于《天津大学》期刊2017-11-01）
姚明水,徐刚[3]（2016）在《MOX@MOFs核鞘结构气敏传感器:抗湿度干扰性能和高灵敏度》一文中研究指出目前,传感器越来越多地被应用到社会发展及人类生活的各个领域,如工业自动化、机器人技术、环境监测、医疗诊断、智能家居、可穿戴设备等。智能传感器作为21世纪最具影响力和发展前景高新技术,正引起国内外电子信息界的高度重视。金属氧化物(MOX)电阻型气敏传感器对于居室和工作场所的易燃易爆有毒危险气体的检测具有在线、快速检测且无需专业人员操作的优势~([1-4])。然而,由于MOX本身的广(本文来源于《中国化学会第七届全国结构化学学术会议论文摘要》期刊2016-11-16）
王自帅[4]（2016）在《溶剂热法制备形貌可控氧化钨纳米结构气敏传感器研究》一文中研究指出近年来,工业废气、汽车尾气、燃烧等产生的NO_x气体对人类的生存环境造成了破坏,并在很大程度上威胁着人们的健康生活。作为众多氮氧化物气敏材料中的一员,氧化钨(WO_3)因其性能高、价格低、功耗低等优点而展现出了其作为气敏材料的巨大应用潜力。为了进一步提升氧化钨纳米结构气敏传感器的气敏性能,科研工作者主要在形貌控制、贵金属掺杂、复合结构等方面进行了大量科学研究。而溶剂热法作为一种操作简单、成本较低的工艺方法,在氧化钨纳米结构的形貌可控合成方面具有非常重要的意义。本文通过改变溶剂热的反应条件可控合成了具有不同新颖形貌的WO_3纳米结构,主要考察了溶剂热的多个反应条件(反应液中的水量、反应温度、反应溶剂)对WO_3纳米结构的形貌和NO_2气敏性的影响。对所有经过热处理的样品进行了微观结构的表征,具体的测试方法包括:透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电子显微镜(SEM)等。此外,在NO_2浓度和工作温度变化的情况下分别测试了氧化钨纳米结构气敏材料的二氧化氮气体敏感特性、响应恢复特性以及气体选择性。最后,也对其生长和气敏的机理进行了深入的探索,取得的成果如下:溶剂热反应条件在很大程度上改变着氧化钨纳米结构的形貌,通过改变水的含量(0-23.1 vol.%)、反应温度(170-200oC)、反应溶剂(乙二醇、乙醇、正丙醇和异丙醇)合成了片状、棒(束)状、块状等纳米结构,且样品的最佳工作温度均很低,为50或100oC,同时也拥有优异的NO_2气敏性和气体选择性。随着反应液中水的含量增加,氧化钨纳米结构的形貌开始从纯的纳米片向纳米棒转变,当水量达到一定量(23.1 vol.%)时,形貌几乎全部转变为纳米棒。其在100oC对1ppm NO_2的灵敏度可以高达62.1,响应和恢复时间分别为80 s和196 s;溶剂热反应温度较低时,所制备的纳米结构的形貌为纳米颗粒状,随着反应温度逐渐升高,开始出现纳米片迭状结构,而当温度增加到200oC时,氧化钨纳米棒状结构成为主要结构,其最高灵敏度为51.2,对不同浓度(0.1-3 ppm)NO_2的响应时间为61-145 s,恢复时间为42-155 s;在反应溶剂为单一变量时,在不同反应溶剂中可控合成了纳米块、纳米片和纳米棒束等形貌的氧化钨纳米结构,且所有样品均有很高的灵敏度(28.1-82.9),快速的响应时间(27-83 s)和恢复时间为(95-212 s)。(本文来源于《天津大学》期刊2016-11-01）
王毅斐[5]（2016）在《硅纳米线/氧化钨纳米线复合结构气敏传感器研究》一文中研究指出大气污染是环境污染的一个重要方面,空气中的NO_2气体会对人体造成严重损害。因此,制备出能够在室温下工作,并且具有低能耗、高灵敏度的气敏传感器吸引了众多科研人员的注意力。时至今日,硅纳米线和氧化钨纳米线由于各自的特性被认为是最有发展潜力的半导体气敏材料。基于以上背景,本文构建了新型硅纳米线/氧化钨纳米线复合结构气敏传感器,并以此为基础进行了相关的实验和理论研究。实验采用金属辅助化学刻蚀和纳米球自组装相结合的方法在n型单晶硅片上制备出具有高度有序化阵列的硅纳米线。随后用磁控溅射法在硅纳米线表面淀积一层金属钨薄膜,通过对其进行管式炉热处理,制备了硅纳米线/氧化钨纳米线复合结构,并对制备过程中的实验参数和气敏性能进行了探索和测试。最后分别对硅纳米线和硅纳米线/氧化钨纳米线复合结构的气敏机理进行讨论。研究结果表明,在制备硅纳米线的过程中,H_2O_2浓度和刻蚀时间对硅纳米线的微观形貌均会产生一定影响,纳米线顶部的团聚效应随着H_2O_2浓度和刻蚀的增加而逐渐严重,进而影响到其比表面积和气体扩散通道,造成气敏性能下降。适宜的氧化速度是在硅纳米线上复合氧化钨纳米线的关键因素,反应温度或氧气流量过高时会造成金属钨氧化速率加快,纳米线来不及生长就被完全氧化,反应温度或氧气流量过低会造成金属钨氧化速度缓慢,生长出的纳米线形貌较差。硅纳米线/氧化钨纳米线复合结构界面会形成同型异质结,在NO_2气体中,异质结中耗尽层宽度的增长对其气敏性能的提升有着重要的作用。(本文来源于《天津大学》期刊2016-11-01）
刘相承[6]（2016）在《多孔硅基氧化铜复合结构气敏传感器研究》一文中研究指出随着经济快速发展,大气污染日益严重。关于气敏传感器的研究越来越多。金属氧化物半导体是非常好的气敏材料,具有很高的灵敏度,但是它的工作温度比较高。将金属氧化物进行低维化处理,形成纳米结构,对降低工作温度是十分有效的。多孔硅是另一种非常优秀的气敏材料,工作在常温下,但是灵敏度比较低。将金属氧化物和多孔硅复合起来形成新型结构十分有研究价值。本文中主要制备了两种复合结构:一是氧化铜/多孔硅复合结构,二是氧化铜/氧化钨/多孔硅叁级复合结构。本论文中采用了物理方法制备这两种复合结构,同时研究了不同的工艺参数对复合结构的形貌和气敏性能的影响。主要包括溅射时间、热处理温度、热处理压强、热处理氛围等因素。为了更好的表征复合结构,采用了多种微观表征手段,比如场扫描电子显微镜、透射电子显微镜等等。为了探测气体的气敏性能,采用了气敏测试系统。全面详细的测试了两种复合结构的灵敏度、响应/恢复时间、工作温度、选择性等气敏特性。通过最佳制备参数得到的氧化铜/多孔硅复合结构具有良好的气敏性能。工作温度为室温,对于1ppm的NO_2的灵敏度达到了7.8,响应/恢复时间为51s/547s。氧化铜/氧化钨/多孔硅结构在室温下对于1ppm的NO_2的灵敏度达到了3.9,均表现出良好的气敏性能。最后对气体的气敏机理也进行了研究,主要是两种不同的异质结:同型异质结和反型异质结在提高灵敏度方面的作用。(本文来源于《天津大学》期刊2016-11-01）
李权[7]（2016）在《还原氧化石墨烯微纳结构气敏传感器的制备与研究》一文中研究指出石墨烯由于其特殊的二维平面结构以及优异的特性,在气敏传感器领域有很大的应用前景。石墨烯具有超高载流子迁移率、大的比表面积、优异的机械性能、物理化学性质稳定以及在室温下可导电等优点,从而可以弥补传统半导体气敏材料的不足。本论文通过几种湿法化学技术制备了两种石墨烯气敏材料,并且研究了其对氨气的气敏特性。具体研究工作如下:(1)通过紫外光照Fenton反应刻蚀氧化石墨烯(GO),进一步经吡咯还原制备出多孔还原氧化石墨烯(rGO),气体测试结果表明,多孔rGO是一种优异的气敏材料,其对NH3气体分子具有优异的气敏特性,并且其具有良好的选择性以及重复稳定的特性。多孔rGO气敏传感器对浓度为1 ppm、20 ppm和50 ppm的氨气分别有8.5%、13.2%和14.5%的电阻变化响应,响应时间小于5 min,恢复时间约为3 min。多孔rGO气敏传感器对50 ppm NH3气体分子进行重复性测试,结果表明,多孔rGO气敏传感器对NH3有非常好的重复特性。同时,多孔rGO对NH3气体分子的响应值是其它高浓度干扰气体的3倍以上,说明rGO气敏传感器具有优异的选择性。(2)通过将GO沉积在聚氨酯泡沫上,并经吡咯还原得到rGO泡沫,其在室温下对NH3气体分子有非常良好的响应特性。当NH3气体分子浓度为50 ppm时,其电阻值的响应值为3.67%,响应时间小于8 min,恢复时间约为4 min。rGO泡沫对NH3气体分子的响应值是其它高浓度干扰气体分子的2倍以上,表明该r GO泡沫具有出色的选择性,同时,该泡沫拥有良好的重复性。本论文研究了基于石墨烯的两种气敏结构,由于该两种气敏结构制作简单、成本低、对氨气检测有着良好的灵敏性、重复性与选择性,因此,其有望为NH3气体传感器的气敏结构设计与制备提供新的思路。(本文来源于《苏州大学》期刊2016-05-01）
魏玉龙[8]（2015）在《水热法制备氧化钨纳米棒/多孔硅复合结构气敏传感器》一文中研究指出随着工业技术的持续发展,每天都有大量的有毒有害气体被排放到大气中,使得大气污染问题日趋严重,人类的健康安全以及环境保护受到严重威胁。NO_2就是一种存在于大气中的典型污染物,因此研发可以在低温条件下快速、可靠地检测NO_2气体的气敏传感器对人类健康和环境保护都具有非常重要的意义。截止到现在,科技人员们已发现了多种气敏材料,其中低维氧化钨纳米材料因其生产成本低廉、灵敏度较高等优点被看作是一种极具潜力的NO_2气敏材料;硅基多孔硅是一种新颖的敏感材料,可在室温响应,易与集成电路兼容。基于上述背景,本文提出以硅基多孔硅复合担载一维氧化钨纳米结构,结合二者的优点,以期获得高性能、低功耗的复合结构气敏传感器。采用水热合成法,在长有种子层的硅基多孔硅上原位生长氧化钨纳米棒,研究了种子液浓度、种子层热处理温度、反应液pH值等工艺参数对氧化钨纳米棒/硅基多孔硅复合结构的影响;利用FESEM、XRD、TEM等分析手段对复合结构进行微观表征。实验结果表明,通过调节工艺参数可以使氧化纳米棒几乎垂直生长于硅基多孔硅表面,同时在硅基多孔硅孔洞内也含有大量的氧化钨纳米棒。所得氧化钨纳米棒为六方相结构,具有大量的氧空位,其直径约为25-80 nm,长度约为600-700 nm;该复合结构气敏传感器在最佳工作温度(室温)下便对NO_2表现出很高的灵敏度、优异的选择性以及稳定的可重复性。由于水热法制备氧化钨纳米棒/硅基多孔硅复合结构的实验步骤较多、氧化钨纳米棒长径比较小,本文进一步提出以硫酸铵为导向剂,简化制备工艺,优化实验方案以制备氧化钨纳米线/多孔硅复合结构,最终达到提高氧化钨纳米线径长比的目的。实验结果表明在硅基多孔硅表面和孔洞内部都均匀生长了大量六方相结构的氧化钨纳米线,纳米线的直径约为30-40 nm,长度要大于2μm。本实验为进一步提高氧化钨纳米线/硅基多孔硅复合结构的气敏性能奠定了基础。(本文来源于《天津大学》期刊2015-12-01）
顾磊磊[9]（2011）在《ZnO纳米结构气敏传感器》一文中研究指出本文采用气相法和水热法生长了一维ZnO纳米材料,采用多种手段(SEM、XRD、TEM、Raman等)对它们的结构进行了表征,表明CVD法生长ZnO纳米线符合VLS机制,纳米线直径在100-200 nm之间,长度为十几微米；CVD法生长四针状ZnO纳米材料属于VS机制,所得纳米材料呈正四面体型,每条晶须长度为3-5μm,从根部到尖端,直径由200 nm逐渐变为50 nm；水热法合成的ZnO纳米棒阵列,纳米棒排列紧密,垂直于基片生长,单根纳米棒的直径50 nm左右,长度约为5μm。这叁种ZnO纳米结构都为六角纤锌矿结构,纯度极高且高度结晶。气相法和水热法生长的纳米线都具有择优取向,沿[0001]向择优生长。组装了单根ZnO纳米线场效应管(FET),测量了它的输出特性曲线和转移特性曲线,并估算了它的各项参数。该场效应管为n型,载流子浓度和迁移率分别为1.15×108cm-1,20.5 cm2/(VS)；阈值电压约为-16.7V；Vds=+1.5 V、+2 V和+2.5 V时的低频跨导gm分别为34.0 nS、46.6 nS和59.9 nS；此外,在Vgs<0时,该场效应管会出现饱和现象。制备了基于ZnO纳米线场效应管的气敏传感器。测试了它在室温下对O2的灵敏度。发现它灵敏度高(室温下对1000PPmO2灵敏度1.5,体材料和薄膜材料无响应)、响应迅速(室温下,500PPmO2,响应时间：10 s,恢复时间：50 s)；当O2浓度在1000 ppm以内时,灵敏度与O2浓度基本成线性；单根ZnO纳米线具有自加热效应,这对纳米线的气敏性能有影响,当O2浓度为100 ppm,工作电流较小时(I<2μA),灵敏度随工作电流增大而增大,工作电流继续增大(I>2μA),灵敏度达到饱和。将四针状ZnO纳米晶须与TiO2粉末共同退火生成了Ti掺杂四针状ZnO纳米结构。掺杂后,样品仍为正四面体型样品,形貌未发生明显变化。将样品压片,组装成叁明治结构的气敏器件,测试了其对乙醇的气敏性能。表明掺杂后,样品的气敏性能得到明显提高：最佳工作温度稍有降低(250℃降至240℃)；样品电阻变小；灵敏度比掺杂前高出一个数量级；响应和恢复时间变短。这是由于Ti4+扩散入ZnO晶格中部分取代Zn2+后,产生更多的自由电子,增加了氧吸附位,使得物理吸附的氧分子更容易得到电子生成氧负离子造成的。采用水热法在Au/Ni叉指电极上原位生长了ZnO纳米棒阵列。分别测试了该纳米阵列的湿敏性能(不同相对湿度下的电阻响应和电容响应)。当相对湿度从11%变至95%时,电阻和电容变化都在叁个数量级以上。相比之下,电阻响应具有更高的灵敏度,更小的响应和恢复时间,电容响应则具有更加良好的线性。采用溶胶凝胶法在ZnO纳米棒阵列表面涂覆了TiO2层,得到了ZnO/TiO2核壳结构纳米材料并分析了其结构,表明TiO2是涂覆在纳米棒表面,涂覆后表面变粗糙,平均直径增加了约20nm。测试了ZnO/TiO2核壳层结构纳米材料室温下对不同相对湿度的电容响应。较之纯ZnO纳米棒器件,灵敏度得到了显着提高(相对湿度11%变至95%时,灵敏度达五个数量级),响应和恢复时间缩短,重复性和迟滞特性良好。采用交流阻抗谱法分析了纯ZnO和ZnO/TiO2的湿敏机制。在不同相对湿度下,工作机制不同：低湿度时,材料靠电荷跳跃迁导电；高湿度时,靠质子在水膜中的扩散导电。TiO2层修饰后,该临界点由75%RH降至33%RH,而且ZnO/TiO2样品的交流阻抗谱在相对湿度为大于33%RH时只剩下一条斜率为1的直线而ZnO样品中在相对湿度为95%时也没有出现这种情况,说明TiO2修饰后,样品的吸水性大大提高。这主要是由于ZnO的大的比表面体和表面TiO2层的超亲水性造成的,同时水分子更容易在ZnO和TiO2界面及TiO2层的晶界中发生毛细凝结现象,这使ZnO/TiO2对水分子的吸附增大,提高灵敏度。(本文来源于《复旦大学》期刊2011-04-15）
高晓光,李建平,何秀丽,于中尧,王利[10]（2002）在《Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能》一文中研究指出微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统 (MEMS)加工技术 ,制备Si基膜片型微结构单元 ,并分析其热学性能。这种单元工作区温度为～ 30 0℃时 ,加热功率约75mW ;并且膜片工作区的热质量很小 ,温度可以于毫秒量级的时间内 ,在室温和4 50℃之间调制。利用这种微结构单元 ,可以在温度调制方式下 ,研究气敏薄膜的电学特性和敏感机理(本文来源于《微细加工技术》期刊2002年01期）
微结构气敏传感器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
当前,人们对生存环境安全问题日益关注,大气环境的治理与保护变得尤为重要。工业废气、汽车尾气等产生了大量的毒性NO、NO_2,这些氮氧化物气体可导致酸雨等自然灾害,同时可能诱发呼吸道疾病,严重污染了环境并对人身健康造成威胁,因此,对于氮氧化物气体的高灵敏度可靠快速检测具有迫切的现实意义。氧化钨材料是一种极具潜力的NO_X气敏传感材料。为了进一步提高氧化钨基气敏传感器的敏感特性,异质复合是一种有效的方法。本论文通过构造氧化钨/氧化碲异质结构,获得了对NO_2气体具有高灵敏度、快速响应与恢复的气敏传感器。通过两步法制备了氧化碲纳米颗粒修饰的氧化钨纳米棒结构。首先采用溶剂热方法合成氧化钨纳米棒,再利用四氯化碲的水解反应在氧化钨纳米棒表面修饰氧化碲纳米颗粒形成氧化钨/氧化碲表面异质纳米棒。利用SEM、XRD、TEM等技术对制备的纳米结构样品进行了微观表征,并进一步评价了其气敏特性。结果表明,氧化碲修饰后的气敏传感器较纯氧化钨纳米棒工作温度由200~oC降低至150~oC。同时对NO_2气体的灵敏度显着提高,150~oC时,氧化钨/氧化碲表面异质纳米棒气敏传感器表现为n型半导体的特性,对0.1-1ppm NO_2气体的灵敏度为纯氧化钨纳米棒的4倍左右,且具有良好的动态响应特性,以及对NO_2气体的良好选择性。阐述了氧化钨/氧化碲表面异质纳米棒的气敏机理,重点分析了氧化钨/氧化碲n-p异质结对电子输运及其对导电沟道的影响等。基于氧化钨、氧化碲双材料体系,利用气相法制备了垂直准定向氧化钨/氧化碲核壳异质纳米线阵列,SEM、XRD等微观表征显示制备的核壳阵列结构形貌均匀,该种异质有序阵列在气敏传感领域及其他相关领域可预期有广阔的研究前景。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微结构气敏传感器论文参考文献
[1].冯志麟.硅基微结构气敏传感器的微热板设计及Si-NPA的有机蒸汽气敏性研究[D].南京邮电大学.2018
[2].王克行.氧化钨/氧化碲异质纳米结构气敏传感器研究[D].天津大学.2017
[3].姚明水,徐刚.MOX@MOFs核鞘结构气敏传感器:抗湿度干扰性能和高灵敏度[C].中国化学会第七届全国结构化学学术会议论文摘要.2016
[4].王自帅.溶剂热法制备形貌可控氧化钨纳米结构气敏传感器研究[D].天津大学.2016
[5].王毅斐.硅纳米线/氧化钨纳米线复合结构气敏传感器研究[D].天津大学.2016
[6].刘相承.多孔硅基氧化铜复合结构气敏传感器研究[D].天津大学.2016
[7].李权.还原氧化石墨烯微纳结构气敏传感器的制备与研究[D].苏州大学.2016
[8].魏玉龙.水热法制备氧化钨纳米棒/多孔硅复合结构气敏传感器[D].天津大学.2015
[9].顾磊磊.ZnO纳米结构气敏传感器[D].复旦大学.2011
[10].高晓光,李建平,何秀丽,于中尧,王利.Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能[J].微细加工技术.2002
论文知识图
