导读:本文包含了软光刻技术论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:光刻,二甲基,微带,噻吩,微结构,铸模,压印。
软光刻技术论文文献综述
李峰,李晓丹[1]（2019）在《一款基于软光刻技术的液态金属天线》一文中研究指出提出一种新型的频率可重构的微带贴片天线,以液态金属合金和高度可拉伸的弹性体分别作为辐射贴片和介质基板。液态金属使用的是由质量比为75%的镓和25%的铟组成的共晶镓铟合金(EGaIn),弹性体为聚二甲基硅氧烷(PDMS),通过实验测量了PDMS在3种配比下的拉伸量,当质量比为10:1时,PDMS的粘性较低,拉伸性较好。采用软光刻技术制备天线的PDMS模型,然后进行表面处理,使其能够更好地封装,最后将EGaIn包裹在PDMS中形成天线。在PDMS的拉伸极限内,通过对微带天线进行轴向拉伸,随着长度的增加,谐振频率逐渐降低,在4～6 GHz范围内实现了频率可重构。(本文来源于《电子技术应用》期刊2019年02期）
李凤,高益庆,许广涛,崔晓峰,况国文[2]（2014）在《PDMS在使用软光刻技术制作微透镜阵列的转印效果分析》一文中研究指出以微透镜阵列为例,分析了在软光刻技术中使用PDMS复制微结构的有效性。首先介绍了制作光刻胶微透镜阵列,使用软光刻技术通过两次转印制作PDMS凹微透镜阵列和凸SU-8微透镜阵列工艺流程;接着叙述了使用金相显微镜和白光干涉轮廓仪对微透镜阵列样品的表面轮廓进行测量的结果,并对样品不同尺寸、不同材料的微透镜阵列样品的测量值以及这些测量值与设计值之间差异进行了分析。分析结果表明,使用PDMS转印光刻胶上的微结构以及将PDMS薄膜作为模板把微结构转印到SU-8表面均是可行的、有效的。(本文来源于《南昌航空大学学报(自然科学版)》期刊2014年03期）
Jong,Seob,Choi,Kuk,Young,Cho,Jin-Heong,Yim,孟维华[3]（2010）在《喷墨印刷/软光刻技术结合气相聚合法制备聚3,4-乙撑二氧噻吩图像》一文中研究指出采用气相聚合,以咪唑衍生物为辅助料可以成功制备高导电透明的聚3,4-乙撑二氧噻吩(PEDOT)薄膜。带有1～2个烷基官能团的咪唑衍生物的加入可以显着提高PEDOT的电导率。为了研制一种易于实现的PEDOT成像法,本文采用了喷墨印刷或软光刻技术结合气相聚合法,并以带取代基的对甲苯磺酸铁为氧化剂,3,4-乙撑二氧噻吩为聚合单体来制备PEDOT图像。这种新型方法的实现将为制得本征导电高分子材料图像提供一个高效便捷的方法。(本文来源于《中国印刷与包装研究》期刊2010年04期）
和亚宁,刘斌,任鸿烽,王晓工[4]（2006）在《软光刻技术制备液晶显示用定向层》一文中研究指出以偶氮聚合物光致表面起伏光栅为模板,制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性印章,再以可溶性聚酰亚胺(PI)为“墨水”,在石英玻璃上压印出具有规则起伏结构的PI薄膜.由此制备的PI薄膜显示出很好的使液晶分子定向排列的效果.此方法成本低、效率高,是一种实用的液晶定向层薄膜制备方法.(本文来源于《高分子学报》期刊2006年07期）
陈默[5]（2004）在《微全分析系统中微传递成模软光刻技术研究》一文中研究指出微全分析系统是分析仪器发展的重要方向与前沿。它将试验样品的制备、生化反应和结果检测叁个步骤集成在单一器件上,能执行特定的分析功能。近年来,光印制技术、微加工技术、计算机辅助设计(CAD)的不断发展,使得加工微芯片上精细结构变得比较简单,同时加工费用又相对低廉,这使得微全分析系统的大规模的商业化成为可能。虽然微全分析系统具有种种优点,但要达到真正的实用化目的它还必须克服许多技术上的困难,最为具体的便是要提出系统的加工与集成的一整套现实可行的方法。作为一种新型的微图形复制技术,软光刻技术用弹性模替代传统光刻技术中使用的硬模来产生微形状和微结构。和传统的光刻技术相比,软光刻有许多技术方面的优势,主要有:能制造复杂的叁维结构,甚至能在不规则曲面上应用;能够应用于多种不同材料和化学表面之上;能突破光刻技术100nm的限制,实现更为精细的微加工等等。目前,软光刻技术已经广泛应用于光学、生物技术、微电子、传感器以及微全分析系统的加工诸领域,取得了一定的进展。本论文讨论的重点便是将软光刻技术引入到微全分析系统的加工之中。为此,本论文较为系统地介绍了软光刻技术的基本理论与关键技术,尤其是进行加工的基础材料聚二甲基硅氧烷(PDMS),深入地探讨了软光刻技术在微全分析系统中的应用情况和可行性,并给出了通用的技术方案。然后,结合本实验室长期以来致力研究的红细胞变形性的测量的微全分析系统,我们选取了软光刻技术中的微传递成模(μTM)技术对该系统的核心部分——硅微通道芯片进行了加工复制。通过研究,本论文建立了μTM技术的完整工艺,包括用PDMS复制硅微通道结构和使用μTM技术在玻璃基底上构造微通道两个大的步骤,以及具体加工过程中的注意事项;根据决定加工质量的主要因素,给出了获得高质量加工的温度和气压约束条件;最后,我们应用Coventorware软件对基于硅和基于聚合材料(PU)的微通道进行比较,得出了基于聚合物材料(PU)的微通道在流体方面的性能至少不差于硅基微通道的结论。(本文来源于《重庆大学》期刊2004-05-08）
刘伟庭,蔡强,郭希山,陈裕泉,王立人[6]（2002）在《用软光刻技术实现微细结构》一文中研究指出本文介绍了一种新的微结构制造技术———软光刻技术 ,它提供了一种方便、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法 .本文着重涉及了软光刻的几项关键技术 :弹性印模、再铸模等 ,阐述了模板的制备方法和原理 ,并应用这种模板实现微阀和微毛细管(本文来源于《传感技术学报》期刊2002年02期）
洪吉,刘伟庭,陈裕泉[7]（2001）在《软光刻技术》一文中研究指出本文介绍了国外新出现的微结构制造技术——软光刻技术 ,它提供了一种方便的、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法。讨论了软光刻的几个关键技术 :自组织形成的单层有机膜、弹性模、微印刷技术、再铸模、微传递成模、毛细管成模、溶剂辅助成模。并且阐述了软光刻技术在光刻技术难以实现的拓扑结构、材料以及分子尺寸领域上的应用(本文来源于《国外医学.生物医学工程分册》期刊2001年03期）
软光刻技术论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
以微透镜阵列为例,分析了在软光刻技术中使用PDMS复制微结构的有效性。首先介绍了制作光刻胶微透镜阵列,使用软光刻技术通过两次转印制作PDMS凹微透镜阵列和凸SU-8微透镜阵列工艺流程;接着叙述了使用金相显微镜和白光干涉轮廓仪对微透镜阵列样品的表面轮廓进行测量的结果,并对样品不同尺寸、不同材料的微透镜阵列样品的测量值以及这些测量值与设计值之间差异进行了分析。分析结果表明,使用PDMS转印光刻胶上的微结构以及将PDMS薄膜作为模板把微结构转印到SU-8表面均是可行的、有效的。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
软光刻技术论文参考文献
[1].李峰,李晓丹.一款基于软光刻技术的液态金属天线[J].电子技术应用.2019
[2].李凤,高益庆,许广涛,崔晓峰,况国文.PDMS在使用软光刻技术制作微透镜阵列的转印效果分析[J].南昌航空大学学报(自然科学版).2014
[3].Jong,Seob,Choi,Kuk,Young,Cho,Jin-Heong,Yim,孟维华.喷墨印刷/软光刻技术结合气相聚合法制备聚3,4-乙撑二氧噻吩图像[J].中国印刷与包装研究.2010
[4].和亚宁,刘斌,任鸿烽,王晓工.软光刻技术制备液晶显示用定向层[J].高分子学报.2006
[5].陈默.微全分析系统中微传递成模软光刻技术研究[D].重庆大学.2004
[6].刘伟庭,蔡强,郭希山,陈裕泉,王立人.用软光刻技术实现微细结构[J].传感技术学报.2002
[7].洪吉,刘伟庭,陈裕泉.软光刻技术[J].国外医学.生物医学工程分册.2001
论文知识图
