多弧离子镀的工艺参数对TiAlN膜层性能的影响

论文摘要

研究了直流偏压、脉冲偏压、占空比、弧电流和氮气流量对多弧离子镀制备TiAlN涂层结合力和硬度的影响。结果表明,影响TiAlN涂层结合力的因素按重要性排序依次为脉冲偏压、占空比、弧电流、氮气流量、直流偏压。影响TiAlN涂层显微硬度的因素按重要性排序依次为占空比、脉冲偏压、弧电流、氮气流量和直流偏压。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈扬枝,万玉林,吕月玲

关键词: 工艺参数,多弧离子镀,正交实验

来源: 热加工工艺 2019年12期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 华南理工大学机械与汽车工程学院,清华大学摩擦学国家重点实验室

基金: 国家自然科学基金资助项目(51575191),清华大学摩擦学国家重点基金项目(SKLTKF17BB04),中央高校项目(2017B0071,2018PY12)

分类号: TG174.4

DOI: 10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.12.024

页码: 103-107

总页数: 5

文件大小: 420K

下载量: 254

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标签：工艺参数论文;  多弧离子镀论文;  正交实验论文;