Mg掺杂对溶胶-凝胶法生长MZO纳米薄膜性能的影响

论文摘要

通过溶胶-凝胶（sol-gel）法分别在石英及Si衬底上制备了含不同Mg原子数分数的氧化镁锌（MZO）纳米薄膜,并利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、高阻测量仪研究了Mg掺杂对MZO纳米薄膜的表面形貌、结构及电学性能等方面的影响。结果表明,随着Mg原子数分数的增加,MZO薄膜的晶粒数目增加,且排列致密和均匀,表现为ZnO的六方纤锌矿结构;当Mg原子数分数增加到一定程度时,薄膜XRD的半高宽（FWHM）增大,结晶质量降低,MZO薄膜中ZnO的含量减少,晶粒尺寸变小,其电阻率明显增加且方块电阻稳定性较好;通过紫外-可见光分光度计（UV-VIS）透射率曲线测试,发现MZO薄膜在紫外光区有明显的吸收特性,随着Mg含量的增加透射率曲线发生蓝移。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 贲旭博,端木庆铎

关键词: 氧化镁锌纳米薄膜,溶胶凝胶法,掺杂,形貌结构,薄膜性能

来源: 半导体技术 2019年02期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 长春理工大学理学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(61107027)

分类号: TQ132.41;TB383.2

DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.02.007

页码: 115-120

总页数: 6

文件大小: 1356K

下载量: 154

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