导读:本文包含了等离子体增强论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:等离子体,超声速,奥氏体,表面,光催化,射流,谐振。
等离子体增强论文文献综述
宋秋明,贾浩,张礼博,刘松[1]（2019）在《低温等离子体增强化学气相沉积工艺生长SiNx薄膜的内应力研究》一文中研究指出SiNx薄膜是一种具有优良光学性能,高介电常数,高电绝缘性,高稳定性以及良好的水氧阻隔性等优点的材料,广泛应用于微电子工艺中。SiNx薄膜制备工艺包括化学气相沉积,磁控溅射等,其中等离子体增强化学气相沉积(PECVD)应用比较广泛。但是常规的PECVD工艺生长温度需要300-400摄氏度左右,温度较高,不适合于一些需要低温生长环境的应用场景。例如应用于有机电致发光二极管(OLED)中的薄膜封装技术,SiNx可以作为性能优异的水氧阻隔层,可以大幅降低水氧透过率,大幅延长OLED中有机电致发光材料的寿命。但是柔性OLED中,有机材料的生长温度要求较低(<100摄氏度),因此研究低温下条件下SiNx薄膜的生长工艺很有必要。同时,柔性OLED器件通常需要可弯折特性,而弯折可能会造成刚性的无机陶瓷材料膜层产生微裂纹或者破碎,从而失去水氧阻隔性能。SiNx膜层产生裂纹主要因为膜层中由弯折产生的附加应力与膜层内应力共同作用下的结果。本文研究SiNx低温PECVD生长工艺,通过改变生长过程中的SiH4/NH3比例可以获得膜层内应力从张应力向压应力梯度变化的SiNx薄膜,分析了薄膜内应力以及光学性质与生长参数之间的关系,可以获得可应用于柔性OLED薄膜封装的SiNx低温低内应力PECVD生长工艺。图1为SiNx膜层内应力以及折射率与NH3气体流速关系曲线。所有SiNx薄膜都使用一台电感耦合等离子体增强化学气相沉积仪(Sentech SI 500D)进行制备,基底为8寸硅片,生长温度85摄氏度,厚度为530nm;使用一台椭偏仪(J.A.Woollam)测量得到膜层厚度和光学常数;使用一台薄膜应力测量仪(FSM)测量镀膜前后的基片弯折程度从而获得膜层内应力数据。(本文来源于《第叁届粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2019年广东省真空学会学术年会论文集》期刊2019-11-28）
孟凡,胡劲华,王辉,邹戈胤,崔建功[2]（2019）在《等离子体谐振腔对二硫化钼的荧光增强效应》一文中研究指出二硫化钼(MoS_2)作为一种层状过渡金属硫族化合物,是未来光子学与光电子学领域的重要组成材料.本文设计实现了MoS_2与谐振腔耦合系统,将蝴蝶结型等离子体谐振腔的谐振模式与单层MoS_2光致发光(PL)谱相耦合,得到该条件下最佳PL强度增强效果.通过理论模型与实验数据的分析,利用珀塞尔效应对自发辐射速率进行控制,得到了峰值为9.5倍、带宽为100 nm的宽带增强谱.同时,增强的PL强度随激发光和探测光的偏振角度满足余弦函数规律的依赖特性,证明了谐振模式来自谐振腔中的电场偶极子.该研究提供了在单层MoS_2与等离子体谐振腔耦合结构中研究光与物质相互作用增强的可行性,为今后基于MoS_2光子学器件的发射与探测效率提升开辟出一条新途径.(本文来源于《物理学报》期刊2019年23期）
刘钰,徐抒平,徐蔚青[3]（2019）在《双层金属结构长程表面等离子体场增强拉曼散射》一文中研究指出本文构筑了一种新的双层金属结构的长程表面等离子体共振结构,此结构为五层结构即K9棱镜/银膜/氟化镁膜/银膜/水。该结构和传统的SPR结构相比较[1],具有更强的消逝场强度,更长的电场穿透深度,以及更窄的SPR曲线半峰宽。本文利用该5层结构测量了角度相关的表面增强拉曼光谱信号,如图1所示。实验结果显示,在该结构的共振角下,消逝场激发的SERS信号强度是传统SPR结构下SERS信号强度的10倍以上;此外实验结果也表明在该结构下电场的穿透深度远远大于传统SPR结构下电场的穿透深度,SPR曲线的半峰宽也更窄。该结构有利于SPR检测灵敏度的提升以及SERS检测灵敏度的提高。(本文来源于《第二十届全国光散射学术会议（CNCLS 20）论文摘要集》期刊2019-11-03）
蒋军,梅长彤,潘明珠,连海兰,陆飞[4]（2019）在《低温等离子体预处理对玻璃纤维增强木塑复合材料力学性能的影响》一文中研究指出探讨了低温等离子体预处理对玻璃纤维增强木塑复合材料力学性能的影响。结果表明:1)低温等离子体处理可有效改善玻璃纤维和木塑复合材料之间的界面相容性。较优预处理参数为:氧气氛围,处理功率100 W,处理时间90 s。2)玻璃纤维经等离子预处理可有效提高木塑复合材料的力学性能,但处理功率为200 W,处理时间180 s时,可能对纤维结构造成破坏,导致复合材料的力学性能降低。3)微观形貌特征显示,处理组复合材料中的应力得到有效传递,纤维破坏形式以断裂为主;纤维及聚合物基体表面存在不同程度的刻蚀,从而增加了比表面积,有利于两者之间的界面相互作用。4)等离子体处理主要通过改变基材表面化学组成及刻蚀作用,两者协同可提高聚合物基体与玻璃纤维之间的界面结合能力。(本文来源于《林产工业》期刊2019年10期）
樊启鹏,胡玉莲,刘博文,田旭,江德荣[5]（2019）在《等离子体增强原子层沉积技术制备碳化钴薄膜》一文中研究指出报道了一种新型PE-ALD工艺用于沉积碳化钴薄膜。以脒基钴为前驱体,在氢等离子体作用下,成功制备了碳化钴薄膜。薄膜厚度与沉积循环关系显示薄膜生长为理想的逐层生长行为,100℃下薄膜生长速率为0.066 nm/cycle。利用XRD和TEM对所沉积的薄膜进行表征,结果表明薄膜是多晶的六方晶系Co_3C晶体结构。XPS的结果表明沉积的碳化钴膜具有高纯度。在深宽比高达20:1的硅基底沟槽中研究碳化钴薄膜的保型性,显示该PE-ALD工艺可以沉积厚度均匀、光滑且高度保形的碳化钴薄膜,这有利于在高深宽比的3D结构中的涂覆并且在负载催化剂领域具有潜在应用。(本文来源于《真空》期刊2019年05期）
滕越,周艳文,郭媛媛,张鑫,张泽[6]（2019）在《热丝增强等离子体辅助渗氮中氮在不锈钢中的扩散与析出机制》一文中研究指出目的研究不同放电电流密度下,渗氮层组织及摩擦学性能随时间的演变规律,以及氮在不锈钢中的扩散与析出机制。方法采用热丝增强等离子体辅助渗氮方法,对奥氏体不锈钢表面进行改性。采用XRD及XPS研究渗氮层相组成及结构;采用SEM观察渗氮层的横截面形貌,并利用能谱分析氮含量及其随深度的分布情况;分别使用纳米压痕仪、磨损仪及台阶仪研究渗氮层的摩擦学性能。结果当电流密度为0.81 mA/cm2时,短时间(1～2h)渗氮后,不锈钢表面形成单一过饱和固溶体相;渗氮时间增加到4h后,转变为更稳定的Fe4N相,渗氮层厚度达14.2μm,表面硬度达17.81 GPa。当电流密度增加到1.25 mA/cm2时,N与金属原子间结合能增加,渗氮1 h开始析出Cr N和Fe4N相,4 h后表面硬度和模量分别达22.88 GPa和314.2 GPa,磨损量仅为基体的0.53%。结论氮原子在奥氏体中的扩散系数随电流密度成正比增加。当渗氮时间(或热丝电流)增加,渗氮层厚度与维氏硬度明显增加,其增加趋势正比于时间的1/2次幂,结构由单一固溶体相γN转变为固溶体与少量氮化物析出相CrN和Fe4N,渗氮层的摩擦学性能明显提高。(本文来源于《表面技术》期刊2019年09期）
王鹏,沈赤兵[7]（2019）在《等离子体合成射流对超声速混合层的混合增强》一文中研究指出采用实验加仿真方法研究了等离子体合成射流对超声速混合层的影响.使用基于纳米粒子的平面激光散射技术(nanoparticle-based planar laser scattering,NPLS)、粒子图像测速技术(particle image velocimetry,PIV)以及纹影手段获取了单次脉冲对混合层的影响.采用二维数值仿真对布置在不同位置的高频激励器的混合效果以及激励器的性能进行了研究.通过对比有扰动和无扰动的NPLS、PIV以及纹影实验结果,发现等离子体合成射流对超声速混合层有明显的扰动,射流喷出时会产生较强的斜激波.对数值仿真结果的分析表明,等离子体合成射流可以有效地增强混合层的厚度.对比激励器布置在不同位置工况下的混合层厚度,可以看出在激励器隔板末端对混合层的扰动效果最好,混合层对在隔板末端的激励器扰动响应也是最快的.对等离子体合成射流激励器的性能分析表明,在隔板末端的激励器输出的能量最多.通过分析等离子体合成射流的作用过程,可以看出激励器在隔板上下表面布置的作用形式是通过作用来流进而影响混合层,在隔板尾端布置的等离子体合成射流激励器直接作用在混合层上,实现混合增强.(本文来源于《物理学报》期刊2019年17期）
李跃军,曹铁平,赵艳辉,孙大伟,王霞[8]（2019）在《Bi@Bi_2Sn_2O_7/TiO_2等离子体复合纤维的制备及增强的光催化产氢活性》一文中研究指出以电纺TiO_2纳米纤维为基质,采用一步水热法合成了Bi@Bi_2Sn_2O_7/TiO_2等离子体复合纤维光催化剂。利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)、紫外-可见漫反射(UV-Vis DRS)和光致发光光谱(PL)等分析测试手段对样品的物相、形貌和光电性能等进行表征。以叁乙醇胺为电子给体,研究了Bi@Bi_2Sn_2O_7/TiO_2复合纤维光催化裂解水制氢的反应过程。结果表明:在水热过程中,Bi_2Sn_2O_7构筑在TiO_2纳米纤维表面形成p-n结的同时,部分Bi3+被葡萄糖还原成金属Bi沉积在Bi_2Sn_2O_7上。金属Bi的等离子体共振效应与p-n结的协同作用,有效提高了样品的光催化活性,产氢速率达到7.26 mmol·h~(-1)·g~(-1)。(本文来源于《无机化学学报》期刊2019年08期）
方明,谭小丽[9]（2019）在《金属表面等离子体增强半导体纳米材料光催化机理研究进展》一文中研究指出表面等离子体增强光催化纳米技术近年来引起了人们的极大关注,许多研究者开展了相关研究,在物理、化学、材料等多个领域均取得了重要进展。文章综述了近年来以贵金属为代表的等离子体共振纳米颗粒对半导体材料的光催化增强机理等的研究,包括肖特基势垒、热电子注入、能量共振传递等方面的一些最新进展。针对Ag、Au以及Bi等金属的增强光催化机制进行了分析与归纳,总结了在金属/半导体界面由于等离子体共振引起的材料性能增强的一般规律。此外,还对含贵金属的多元半导体系统的一些最新进展进行了介绍。总的来说,金属增强光催化领域研究已成为当前材料研究与设计领域的一个热点,在有机物氧化/还原、重金属还原、光催化分解水制氢以及CO2光催化等多个关系人类社会发展的重要领域均有重要的作用。(本文来源于《南通大学学报(自然科学版)》期刊2019年02期）
黄璐琦[10]（2019）在《等离子体增强电化学抛光奥氏体不锈钢表面状态的研究》一文中研究指出针对目前常见的抛光工艺:机械抛光、化学抛光与电解抛光,存在适用性差、可处理材料原始表面受限、难以处理复杂异形结构件、抛光效率慢、抛光精度低、抛光质量缺陷多、工艺流程繁琐、溶液不环保等问题,本文以等离子体增强电化学抛光技术为基础,316L奥氏体不锈钢为实验对象,研究了电解液浓度、电压、频率和脉宽四个因素对等离子体增强增强电化学抛光速率的影响规律,确定了其抛光的最佳工艺参数。其次,通过对材料表面粗糙度变化动力曲线、样品表面形貌、元素、物相结构、金相、残余应力、硬度及耐蚀性进行表征,对比分析了机械抛光、电解抛光和等离子体增强电化学抛光对材料表面状态的影响。最后,在上述实验和检测结果的基础上对等离子体增强电化学抛光机理进行了探讨分析。研究表明:适当提高电解液的浓度(<3%)有利于增强溶液导电性,气泡产生与溃灭的速率加快,使得抛光速率变快;电压的提高(>300V)会导致阳极工件与电解液接触次数增多,溶液温度下降,气泡来不及发育就溃灭,使得抛光速率变慢;而适宜的频率(2.5kHz)与脉宽(150 μs)会获得最适切的气泡形成与溃灭速率,从而使得抛光速率达到最大。通过对材料抛光后的表面状态的研究发现,等离子体增强电化学抛光可抛光处理材料始末粗糙度的幅度较大,即可处理起始粗糙度较大的试样并能将其降低至极小的精度。抛光速率快,在抛光前期可达△Ra≈100nm/min。抛光后的材料表面质量高,没有划痕、亚缝隙裂纹及腐蚀坑洞等缺陷,表面元素没有发生明显的变化,也没有新的物相生成,同时晶粒得到了一定程度的长大。能去除材料在机械研磨过程中所形成的形变硬化层,使其表面硬度略有下降,而残余应力得到较大的改善。由于粗糙度的下降与表面Cr元素的析出,使得材料表面耐蚀性得到提高。等离子体增强电化学抛光机制是指将工件置于电解液中,通过在极间施加较高的电压(>300V),在阳极工件表面形成泡浆隔离层,因高电压强电场的作用发生气桥击穿而形成大量的氧等离子体,这些高密度的氧等离子体会与阳极金属离子发生反应生成氧化疏化层。而高浓度的水蒸气和氧气泡在溃灭时会产生一个切向空化力,工件表面的氧化疏化层(本文来源于《西安理工大学》期刊2019-06-30）
等离子体增强论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
二硫化钼(MoS_2)作为一种层状过渡金属硫族化合物,是未来光子学与光电子学领域的重要组成材料.本文设计实现了MoS_2与谐振腔耦合系统,将蝴蝶结型等离子体谐振腔的谐振模式与单层MoS_2光致发光(PL)谱相耦合,得到该条件下最佳PL强度增强效果.通过理论模型与实验数据的分析,利用珀塞尔效应对自发辐射速率进行控制,得到了峰值为9.5倍、带宽为100 nm的宽带增强谱.同时,增强的PL强度随激发光和探测光的偏振角度满足余弦函数规律的依赖特性,证明了谐振模式来自谐振腔中的电场偶极子.该研究提供了在单层MoS_2与等离子体谐振腔耦合结构中研究光与物质相互作用增强的可行性,为今后基于MoS_2光子学器件的发射与探测效率提升开辟出一条新途径.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
等离子体增强论文参考文献
[1].宋秋明,贾浩,张礼博,刘松.低温等离子体增强化学气相沉积工艺生长SiNx薄膜的内应力研究[C].第叁届粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2019年广东省真空学会学术年会论文集.2019
[2].孟凡,胡劲华,王辉,邹戈胤,崔建功.等离子体谐振腔对二硫化钼的荧光增强效应[J].物理学报.2019
[3].刘钰,徐抒平,徐蔚青.双层金属结构长程表面等离子体场增强拉曼散射[C].第二十届全国光散射学术会议（CNCLS20）论文摘要集.2019
[4].蒋军,梅长彤,潘明珠,连海兰,陆飞.低温等离子体预处理对玻璃纤维增强木塑复合材料力学性能的影响[J].林产工业.2019
[5].樊启鹏,胡玉莲,刘博文,田旭,江德荣.等离子体增强原子层沉积技术制备碳化钴薄膜[J].真空.2019
[6].滕越,周艳文,郭媛媛,张鑫,张泽.热丝增强等离子体辅助渗氮中氮在不锈钢中的扩散与析出机制[J].表面技术.2019
[7].王鹏,沈赤兵.等离子体合成射流对超声速混合层的混合增强[J].物理学报.2019
[8].李跃军,曹铁平,赵艳辉,孙大伟,王霞.Bi@Bi_2Sn_2O_7/TiO_2等离子体复合纤维的制备及增强的光催化产氢活性[J].无机化学学报.2019
[9].方明,谭小丽.金属表面等离子体增强半导体纳米材料光催化机理研究进展[J].南通大学学报(自然科学版).2019
[10].黄璐琦.等离子体增强电化学抛光奥氏体不锈钢表面状态的研究[D].西安理工大学.2019
论文知识图
