论文摘要
采用溶胶-凝胶法制备了CuO掺杂TiO2纳米材料并用于丙酮气敏传感器制备,通过XRD和SEM对样品的物相结构和表面微观形貌进行表征,利用EDS对样品的元素种类与平面分布进行了分析,研究了CuO掺杂量、工作温度、光激发等对元件气敏性能的影响。结果表明,CuO-TiO2对丙酮表现出良好的选择性,掺杂6.6%（质量分数）CuO的CuO-TiO2,经500℃退火后,在75℃下,对体积分数为1000×10-6丙酮的灵敏度达到106.71,响应时间和恢复时间均为2 s;同时研究还显示光激发可以有效提高元件的气敏性能,紫外光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下增幅95%,而可见光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下仍能增幅50%。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 郑洁,潘国峰,韩楠,肖悦,王如
关键词: 氧化铜,二氧化钛,丙酮,工作温度,光激发,气敏性能
来源: 电子元件与材料 2019年03期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,自动化技术
单位: 河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室
基金: 国家重大科技专项项目(2016ZX02301003-004-007),天津市自然科学基金(17JCTPJC54500)
分类号: TP212;TB34
DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.03.004
页码: 21-27+33
总页数: 8
文件大小: 5374K
下载量: 218
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