论文摘要
液相法以成本低、制备工艺简单等特点成为制备非晶碳膜的热点。然而适合工业化生产的制备工艺参数尚不明确。以Si单晶为基底,通过液相沉积法在Si表面制备非晶碳膜,并研究了沉积电压与其摩擦学性能之间的关系。研究结果表明,在1 800V下所制备的非晶碳膜表面光滑平整、硬度最高。此时非晶碳膜的干摩擦系数最小,耐磨性最强,具有良好的摩擦学性能。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 罗清威,焦菲,邹祥宇,王玉梅
关键词: 非晶碳膜,液相法,摩擦学性能,沉积电压
来源: 功能材料 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 陕西理工大学材料科学与工程学院
基金: 国家自然科学基金资助项目(51504147),汉中市科技攻关资助项目(2013hzzx-53),陕西理工大学人才引进资助项目(SLGQD13(2)-16)
分类号: TB383.2
页码: 1174-1177
总页数: 4
文件大小: 928K
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