导读:本文包含了复合介质膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:介质,偏压,磁控溅射,应力,残余,脉冲,误差。
复合介质膜论文文献综述
何美荣[1]（2007）在《脉冲磁控溅射制备MgZrO复合介质膜的结构与性能》一文中研究指出交流等离子显示器(AC PDP)具有主动发光、屏幕大、体积薄、重量轻、易于实现全彩色化显示等优点,是大屏幕高清晰度壁挂电视的首选产品。但也存在价格高,功耗大以及发光效率低等一系列问题,这就需要从结构设计、材料与制备工艺等方面加以改进。由于介质保护膜直接和放电气体接触,其材料种类、结构和性能的优劣对于降低AC PDP的成本和功耗、提高AC PDP的放电效率、改进AC PDP的放电性能起着决定性的作用。由于还没有发现比MgO薄膜性能更优异的介质保护膜,对MgO介质保护膜进行复合改性成为目前国内外主要研究方向。此外由于脉冲磁控溅射制备的介质保护膜具有优异的综合性能,成为研究热点,因而本文系统研究脉冲磁控溅射法沉积MgO复合薄膜结构与性能。本论文采用脉冲磁控溅射沉积MgZrO薄膜,研究Zr含量、基板负偏压和非平衡磁控溅射对复合介质保护膜的化学组成、结晶取向、表面形貌、残余应力和透射率的影响规律,对实验结果进行了较为系统的分析和讨论,获得了具有重要参考价值的研究结果。实验发现,Zr含量、基板负偏压和非平衡磁控溅射对MgZrO薄膜的结构和性能有显着影响。当Zr含量为2.03at.%、基体偏压为-150V时薄膜具有最强的(200)结晶取向、最小的晶粒尺寸以及最低的表面粗糙度,薄膜孔隙率低,薄膜还具有高的残余压应力和高可见光透射率;与平衡磁控溅射相比采用非平衡磁控溅射沉积的复合介质保护膜具有更高的氧含量,薄膜表面更光滑、组成颗粒更细小,透射率显着提高。本论文所得研究结果,对AC PDP介质保护膜的选材、制备工艺参数的优化具有实用价值和指导意义。(本文来源于《西安理工大学》期刊2007-03-01）
周明军,卢崇考[2]（2001）在《PI/CAB复合介质膜湿敏元件敏感特性研究》一文中研究指出本文提出一种新型电容式复合介质膜湿敏元件 ,它的介质膜是将线性输出、温度特性取向不同的两类感湿介质膜 ( PI,CAB)互补复合而成 .对比试验表明 ,复合介质膜湿敏元件具有优异的线性输出 ,并对温度系数、重复性和长期稳定性也有明显改善(本文来源于《传感技术学报》期刊2001年01期）
复合介质膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文提出一种新型电容式复合介质膜湿敏元件 ,它的介质膜是将线性输出、温度特性取向不同的两类感湿介质膜 ( PI,CAB)互补复合而成 .对比试验表明 ,复合介质膜湿敏元件具有优异的线性输出 ,并对温度系数、重复性和长期稳定性也有明显改善
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
复合介质膜论文参考文献
[1].何美荣.脉冲磁控溅射制备MgZrO复合介质膜的结构与性能[D].西安理工大学.2007
[2].周明军,卢崇考.PI/CAB复合介质膜湿敏元件敏感特性研究[J].传感技术学报.2001
论文知识图
