AlN陶瓷Mo-Mn法金属化的机理研究

AlN陶瓷Mo-Mn法金属化的机理研究

论文摘要

本文先将氮化铝陶瓷氧化,然后在氧化层上采用Mo-Mn法对氮化铝陶瓷进行金属化,通过对氮化铝陶瓷、氧化层、金属化层的显微结构、成分变化、元素的分布情况来探讨金属化的烧结过程,分析氮化铝陶瓷的Mo-Mn法金属化机理。实验结果表明使用Mo-Mn法可以实现牢固的金属化,其强度达到62 MPa;其机理是氮化铝陶瓷表面的氧化层中的Al2O3在金属化过程中Al2O3溶解到金属化层中形成玻璃相,同时金属化层中的氧化物向氧化层中迁移扩散,实现氮化铝陶瓷氧化层-金属化层的结合。

论文目录

  • 1 实验
  •   1.1 实验方法
  •   1.2 测试
  • 2 结果与分析
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 陈欣,杨洁,黄刚,李天涛,向军,陈弹蛋,刘平

    关键词: 氮化铝陶瓷,金属化层,氧化

    来源: 真空电子技术 2019年01期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 中国工程物理研究院流体物理研究所

    基金: 四川省科技计划资助项目(2018GZ0150)

    分类号: TQ174.1

    DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.01.13

    页码: 60-64+77

    总页数: 6

    文件大小: 419K

    下载量: 170

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