刻蚀下料翻转机构的改进与优化设计

论文摘要

现有下料翻转机构造成的碎片和返工片较多,影响设备稳定性。通过分析翻转机构,优化了翻转杆结构,确定了翻转杆的精确尺寸。优化后的翻转机构相对于未优化前,硅片返工率有了大幅度的降低,节约了企业成本,提高了设备产能以及设备稳定性,为后续设备的运用提供了良好的借鉴。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 折飞,薛珺天

关键词: 翻转机构,翻转杆,优化,返工率

来源: 山西电子技术 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 机械工业

单位: 中国电子科技集团公司第二研究所

分类号: TH112;TH122

页码: 19-20+27

总页数: 3

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标签：翻转机构论文;  翻转杆论文;  优化论文;  返工率论文;