导读:本文包含了硅微加工技术论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:加工,激光,技术,光纤,光子,疏水,器件。
硅微加工技术论文文献综述
葛良辰,马剑军,曹宇鹏,葛桂兰,花国然[1]（2019）在《激光微加工在微织构技术中的应用及研究进展》一文中研究指出阐述了激光微加工在微织构技术中的应用及其研究进展,针对常见的微凹坑织构、微沟槽织构及特殊织构进行探讨,并分析了织构参数对润滑减磨效果的影响。重点阐述了微凹坑织构中凹坑直径、深度、面积占有率及其协同作用对织构效果的影响,具体分析了最优面积占有率的选取问题;重点阐述了微沟槽织构在截面构型、深度及沟槽方向等方面对微织构效果的影响,横向对比了多参数协同作用;重点阐述了两种特殊织构的特点及其优劣。在此基础上,进一步指出了微织构技术的研究方向以及激光器、计算机辅助技术等的发展对微织构技术的推动作用,探讨了激光冲击强化技术与微织构技术结合的可能,展望了激光技术介入特殊织构的发展方向。(本文来源于《激光与红外》期刊2019年08期）
高天学,张福安,李丽欣,赵兴娜,王志斌[2]（2019）在《边缘检测技术在光纤微加工系统中的应用研究》一文中研究指出针对光纤成像的特殊性,提出了一种利用边缘检测算法来提取ROI区域作为对焦窗口的方法,该方法成功地消除了光纤图像中心亮带对清晰度评价值的影响,可准确判断光纤目标清晰的位置,结合显微视觉测量技术,将其应用于光纤侧面抛磨和拉锥系统中,经过亚像素边缘检测及尺寸计算后,对光纤参数的测量精度高于0.5μm,可提高光纤微加工系统的性能。(本文来源于《电子器件》期刊2019年03期）
汪超炜[3]（2019）在《多材料飞秒激光微加工技术及其应用研究》一文中研究指出对于一种先进的微纳加工技术,能否适应多种材料的制备能力是衡量该技术的最关键指标之一。本文利用飞秒激光加工技术材料适应性广的独特优势,进一步探索其在多种新型材料上的微纳制备工艺研究,实现了各种功能性微器件的制备,并对其相关应用进行了深入研究。具体内容如下:(1)针对半导体材料钙钛矿单晶(CH3NH3PbI3),由于其硬脆,怕潮的特性,本文提出利用飞秒激光烧蚀技术实现表面微加工。系统地研究了包括激光功率密度,曝光时间等工艺参数与加工分辨率的关系;通过控制激光的重复频率,实现了彩色钙钛矿表面的制备;通过测试表征和理论分析,探究了激光改性对钙钛矿材料荧光特性的影响。(2)针对透明固体材料铌酸锂(LiNbO3),本文提出利用飞秒激光在其内部制备出叁维非线性光子晶体,克服了传统微制备工艺难以实现内部叁维微加工的难题。首先,通过制备一维光栅结构并进行衍射强度处理,初步测定了激光加工对铌酸锂晶体折射率的改变量。接着,设计并加工出了二维非线性光子晶体,共聚焦扫描结构验证了加工区域的二次非线性系数发生了改变,而基波入射后的二次谐波出射图像,进一步地证明了加工结构“参与”了二次谐波准相位匹配过程。通过改变基波的入射方向,观察到了非线性Talbot效应。最后,通过优化工艺参数,制备出了四方型叁维非线性光子晶体,并实验验证了其准相位匹配倍频过程。本文还对非线性光子晶体生成非线性结构光的工作进行了初步探究。(3)针对光敏聚合材料(SZ 2080),提出利用结构光代替传统单点光源,从而提高叁维结构的制备效率和灵活性。利用空间光调制器(LCos-SLM)生成了飞秒马修光束;基于德拜衍射定理,从仿真和实验两方面研究了在紧聚焦情况下,加工光路中的4f系统以及马修光束的特征参数对聚焦光场的影响;利用拉伸扫描策略结合动态全息,实现了叁维微笼结构的高效加工。相比于传统的单点扫描策略,加工时间减少了2个数量级。在此基础上,研究了叁维微笼结构在操纵粒子领域的应用:利用微笼结构实现了对SiO2粒子的有效捕获和分选;利用微笼结构作为叁维支架成功实现了对酵母菌细胞的捕获以及培养。相关成果对研究细胞在叁维环境下的行为特征有重要的应用价值。(4)针对光敏玻璃(Foturan光敏玻璃),本文利用化学刻蚀辅助飞秒激光加工技术,完成了玻璃内部多层管道的加工,同时结合光聚合材料(SU-8光刻胶),在微管道内集成了叁维微结构,最终实现了对2种材料的组合加工。在制备叁维多层微管道时,定量优化了激光能量,保证处于不同深度的加工区域改性一致。提出“补偿层”扫描策略,确保不同深度的微管道可以同时完成化学刻蚀,提高叁维多层结构的均一性。在利用光聚合材料进行后续微结构集成时,由于封闭环境与表面环境的区别,定量优化了前烘时间、加工能量与显影时间叁个工艺参数。由于可以使用具有生物兼容性的光聚合材料替代SU-8,因此相关工作为下一步制备叁维多功能复合微流控芯片奠定了基础。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2019-05-04）
李霞[4]（2019）在《一种酸浸石英加工泥渣制备硅微粉的综合清洁技术研究》一文中研究指出本文设计和研究一种酸浸提纯石英加工泥渣、浸出液制备副产品、洗涤水能循环使用的综合清洁生产工艺和技术。研究结果表明,以硫酸或盐酸为浸提剂提纯石英加工泥渣,获得的最佳工艺条件:固液比(1:1)、硫酸质量分数15.0%或盐酸质量分数22.0%、搅拌反应5.0 h,制备的硅微粉的白度分别为78.0%、80.0%,二氧化硅纯度分别达91.06%、91.62%,除铁率分别为81.00%、85.50%、除铝率分别达52.63%、57.04%;获得的最佳洗涤工艺条件:以不同洗涤水用量洗涤酸浸母液,随着洗涤水用量的增多,洗涤次数减少,当洗涤水达到一定用量后次数稳定,结合洗涤条件对pH、Fe~(3+)、Al~(3+)的影响,每洗涤20.0 g硫酸浸提母液,以10.0 mL为最佳洗涤水用量,洗涤六次到达洗涤终点,共耗水240.0 mL,洗涤叁次后Fe~(3+)、Al~(3+)均已洗涤除净,累计洗出叁氧化二铁109.5 mg,叁氧化二铝91.5 mg,每洗涤20.0 g盐酸浸提母液,最佳洗涤水用量为6.0 mL,洗涤六次pH接近中性,共耗水144.0 mL,在第四次洗涤未检测到Fe~(3+),叁次洗涤共洗出98.1 mg叁氧化二铁,洗涤两次即完成Al~(3+)洗涤过程,洗出68.8 mg叁氧化二铝。制备的硅微粉颗粒大多呈粒状、多棱角结构,酸浸提纯后失去塑性,可作为填料应用在陶瓷、玻璃等领域;硫酸浸提母液回用制备石膏,品位高于二级天然石膏,可用作建材、建筑等领域;盐酸浸提母液和洗涤液用作制备净水剂,制备的净水剂符合国标中技术要求。设计中水循环使用,硫酸体系水回收利用率达86.9%,盐酸体系达90.0%以上。本文通过综合清洁生产设计,石英加工泥渣达到了100.0%的利用率,酸废液再利用,实现了“零”排放的清洁生产,变废为宝,成本低廉,为石英加工行业解决泥渣问题提供了一条新的可用途径和方法,有较好的环境效益和应用前景。(本文来源于《西南科技大学》期刊2019-05-01）
邹新宇,黄宜军,丛彦茹,何永玲,潘宇晨[5]（2019）在《基于AFM微加工技术制造微结构模板中纳米级高分子聚合物的自组装》一文中研究指出介绍一种利用非对称聚合的叁嵌段共聚物(SEBS(Styrene-Ethylene-Butylene-Styrene(SEBS))苯乙烯-乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物)自组装特性制造大规模整齐排列纳米阵列的分层方法,该方法混合了自下而上/自上而下两种策略。通过AFM(原子力显微镜)获得的硅基上各式各样的微观结构被用来作为球形和高长径比圆柱形聚合物排列的模板。通过原子力显微镜微加工技术的引入,实现了多畴有序阵列的定向排列,并利用硅基的形貌来控制叁嵌段共聚物的自组装过程。这种"图外延"的方法可以被应用在软硬混合的情况下,即凝聚态物质系统。此外,自上而下和自下而上方法的混合运用,是一种新颖的实现分子自组装和普遍采用的形态学约束相并行的有效办法,同时也是实现二者并行的基础及沟通桥梁。(本文来源于《机械强度》期刊2019年01期）
王国政,袁云龙,杨超,凌海容,王蓟[6]（2018）在《硅微通道板微加工技术研究》一文中研究指出微通道板(MCP)是二维通道电子倍增器,广泛用于电子、离子、紫外辐射和X-射线的探测与成像。提出一种硅微通道板(Si-MCP)制备工艺,分别采用干法刻蚀和电化学腐蚀微加工技术制备了硅微通道阵列(SMA)。重点研究了硅感应耦合等离子体刻蚀和光电化学腐蚀的特性,结果表明:硅光电化学腐蚀技术易于制备高长径比微通道,微通道侧壁更光滑、可制备倾斜通道、更适合制备Si-MCP.制备出通道周期为6μm、长径比大于50的SMA结构。采用厚层氧化实现了Si-MCP基体绝缘,采用原子层沉积工艺制备了连续倍增极,制作出Si-MCP样品。测试结果表明,采用半导体微加工技术制备的Si-MCP电子增益特性具有可行性。(本文来源于《兵工学报》期刊2018年09期）
付成芳,赵波,杨玉东,居勇峰,何晓凤[7]（2018）在《面向太赫兹真空电子器件应用的基于微加工技术的矩形环-杆结构慢波特性研究》一文中研究指出提出了一种基于微加工技术的行波管矩形环-杆慢波结构的简便等效电路分析方法,采用准-TEM近似方法得出了其色散方程和耦合阻抗表达式,并数值计算了复色散方程和耦合阻抗。理论计算结果和3D电磁仿真软件HFSS的结果吻合得很好。数值计算结果表明:结合介质基底后,慢波结构的色散变弱,相速降低,带宽变宽,耦合阻抗却在降低。最后,通过和对应的矩形螺旋线慢波结构进行了比较,得出了该慢波结构高增益和高功率的特性。作为一种平面结构,矩形环-杆慢波结构可以结合微加工技术并应用到毫米波甚至THz波段的紧凑行波管领域。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2018年08期）
上官春梅[8]（2018）在《基于光纤端面微加工的Fabry-Perot传感器件及关键技术研究》一文中研究指出光纤Fabry–Perot(F-P)传感器在军事、医学、工业以及农业上的应用前景,引起了研究者的广泛关注。目前,光纤F-P传感器件的制备及其在测量精度和测量范围以及温度干扰等方面存在的问题,限制了光纤F-P传感器的应用。论文针对基于光纤端面微加工的F-P传感器及其关键技术展开了以下研究:1、针对光纤F-P腔双光束干涉理论及其传感机理进行研究,对光纤F-P结构尺寸进行仿真分析,建立传感器温度及应变传感模型,为光纤F-P传感器的结构设计和制造以及优化提供了理论基础。2、针对化学腐蚀方法制备光纤F-P结构关键技术展开研究。采用40%浓度的HF溶液对纤芯掺锗光纤进行腐蚀,将其与端面切平的光纤相对熔接制备F-P结构;通过研究腐蚀时间、浓度及电弧放电等关键技术对传感器光谱特性进行优化,实现对比度大于35dB的光纤F-P传感器研制。3、针对化学腐蚀制备的光纤F-P结构传感特性进行测试及分析。设计并搭建温度、应变及位移测试系统,分别对其传感特性进行测试,实验结果表明该传感器对温度不敏感,应变及位移灵敏度分别为3.78 pm/??和0.01nm/μm。4、提出基于光纤F-P结构的双参量测试方法,并对其传感特性进行研究。设计光纤F-P分别级联Sagnac结构,并搭建温度及应变传感测试系统,灵敏度分别为0.71nm/°C和1.30 pm/με;实验中设计并搭建基于光纤F-P级联Mach-Zehnder结构的温度及应变传感测试系统,灵敏度分别为0.054 nm/°C和2.73 pm/??,并建立温度及应变灵敏度矩阵,实现双参量同时测量。5、提出采用飞秒激光直写光纤端面结合电弧放电加工技术制备光纤F-P结构的方法,对飞秒激光光纤加工机理、调制深度、纤芯对准及放电功率等关键技术进行研究,实现光纤F-P传感器的制备,光谱对比度大于10dB,传感器应变灵敏度为2.82pm/μ?。(本文来源于《北京信息科技大学》期刊2018-05-25）
张安学[9]（2018）在《基于叁维金属微加工技术的毫米波器件设计与集成》一文中研究指出体积小型化、重量轻型化、功能模块化、系统集成化是未来飞行器载荷能力实现质的飞跃的有效途径。本报告介绍一种叁维金属毫米波器件设计与集成技术,该技术使得毫米波部件和传输线可基于微型同轴传输线结构进行设计与制备,进而降低器件间的电磁耦合干扰,提高毫米波系统的集成度,实现其微型化、轻量化和低成本。(本文来源于《2018年全国微波毫米波会议论文集(上册)》期刊2018-05-06）
占彦龙,李文,李宏,胡良云[10]（2018）在《激光微加工技术制备浸润性可控聚四氟乙烯超疏水表面》一文中研究指出使用CO_2激光器对聚四氟乙烯(PTFE)表面进行微加工,通过设计需要加工的图案,对加工间距、功率和加工次数等参数的控制,能获得浸润性可控的超疏水表面。扫描电子显微镜和接触角测量用于表征表面形貌结构和润湿性。研究了激光不同加工间距、不同加工功率及不同加工次数对表面浸润性和表面形貌的影响。结果表明,制备的超疏水表面各向异性程度随着条纹间距的增大而增大,使用不同的功率加工5次可实现相同的各向同性结构,相同条件下加工4次可以实现各向异性向各向同性的转变。CO_2激光微加工技术可用于大规模加工制备超疏水表面,进而用于微流控器件、定向集水及减阻、实验室芯片系统等领域。(本文来源于《高分子材料科学与工程》期刊2018年04期）
硅微加工技术论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对光纤成像的特殊性,提出了一种利用边缘检测算法来提取ROI区域作为对焦窗口的方法,该方法成功地消除了光纤图像中心亮带对清晰度评价值的影响,可准确判断光纤目标清晰的位置,结合显微视觉测量技术,将其应用于光纤侧面抛磨和拉锥系统中,经过亚像素边缘检测及尺寸计算后,对光纤参数的测量精度高于0.5μm,可提高光纤微加工系统的性能。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
硅微加工技术论文参考文献
[1].葛良辰,马剑军,曹宇鹏,葛桂兰,花国然.激光微加工在微织构技术中的应用及研究进展[J].激光与红外.2019
[2].高天学,张福安,李丽欣,赵兴娜,王志斌.边缘检测技术在光纤微加工系统中的应用研究[J].电子器件.2019
[3].汪超炜.多材料飞秒激光微加工技术及其应用研究[D].中国科学技术大学.2019
[4].李霞.一种酸浸石英加工泥渣制备硅微粉的综合清洁技术研究[D].西南科技大学.2019
[5].邹新宇,黄宜军,丛彦茹,何永玲,潘宇晨.基于AFM微加工技术制造微结构模板中纳米级高分子聚合物的自组装[J].机械强度.2019
[6].王国政,袁云龙,杨超,凌海容,王蓟.硅微通道板微加工技术研究[J].兵工学报.2018
[7].付成芳,赵波,杨玉东,居勇峰,何晓凤.面向太赫兹真空电子器件应用的基于微加工技术的矩形环-杆结构慢波特性研究[J].真空科学与技术学报.2018
[8].上官春梅.基于光纤端面微加工的Fabry-Perot传感器件及关键技术研究[D].北京信息科技大学.2018
[9].张安学.基于叁维金属微加工技术的毫米波器件设计与集成[C].2018年全国微波毫米波会议论文集(上册).2018
[10].占彦龙,李文,李宏,胡良云.激光微加工技术制备浸润性可控聚四氟乙烯超疏水表面[J].高分子材料科学与工程.2018
论文知识图
