论文摘要
高纯的SiHCl3与H2在还原炉内1100℃左右高温下发生化学气相沉积反应,在硅芯上沉积而生成多晶硅,还原炉是多晶硅生产中电耗最高的设备,本文通过利用高温热水对还原炉的夹套、底盘及尾气进行冷却,加热后的热水进行闪蒸,年产6000 t的多晶硅规模,通过热量回收能产生0.3 MPa（g）的低压蒸汽44.77 t/h。达到节能降耗的目的,从而降低多晶硅生产的成本,以提高行业的竞争能力。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 吴燕平
关键词: 多晶硅,还原炉,节能能耗,余热回收利用
来源: 山东化工 2019年21期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 中国石化集团南京工程有限公司
分类号: TQ127.2;TQ054
DOI: 10.19319/j.cnki.issn.1008-021x.2019.21.041
页码: 104-106
总页数: 3
文件大小: 587K
下载量: 29
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