光致动器论文_栗大超

导读:本文包含了光致动器论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:工致,畸变,高分子,元件,效应,论文,MEMS。

光致动器论文文献综述

栗大超^[1]（2003）在《硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究》一文中研究指出论文在调研和分析硅微机械扭转镜光致动器及MEMS 动态测试技术研究现状的基础上,从器件的光机电特性理论分析、结构设计与建模仿真、柔性硅微机械工艺加工技术和叁维微运动精密测量技术等方面系统地开展了新型硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究,主要完成了以下五个方面的工作:1.系统地调研和分析了硅微机械扭转镜光致动器及MEMS 动态测试技术研究的重要意义、应用领域、研究现状和发展趋势。2、讨论和分析了硅微机械扭转镜光致动器的动力学特性、机械冲击响应特性、微镜的动态变形特性和自重特性等力学理论问题;讨论和分析了基于侧壁驱动与底座驱动的扇形非线性电场静电致动方式与基于垂直扭转梳齿结构的场致转动静电致动方式等硅微机械扭转镜光致动器静电驱动系统的致动机理等电学理论问题;讨论和分析了硅微机械扭转镜光致动器的光耦合插入损耗特性、微镜镜面的光学散射特性以及用于牺牲层释放的腐蚀孔的光学衍射特性等光学理论问题,首次获得了七种因素共同作用下硅微机械扭转镜光致动器光耦合插入损耗的统一的数学表达式。在对硅微机械扭转镜光致动器的光机电特性系统地理论研究的基础上提出了硅微机械扭转镜光致动器的结构设计准则。3、提出了单轴双梁厚度差分结构、单轴双柔性折迭梁结构、单轴双梁垂直扭转梳齿结构、双轴四梁差动复合微镜结构以及以上四种基本结构组合后的衍生结构等五种工艺加工技术兼容的新型的硅微机械扭转镜光致动器,对器件关键结构薄厚度、高耐疲劳扭转梁进行了局部加强的变形补偿设计,建立了器件的叁维实体模型以及两维降阶模型,对提出的新结构硅微机械扭转镜光致动器进行了系统的静力学、动力学、静电场、力电耦合和流体固体耦合的建模仿真与优化设计,同时设计并分析了叁种可实现单芯片集成的弹性光纤定位夹紧结构。4、提出了组合体硅微加工技术与表面硅微加工技术、兼容同一套光刻版图、可分别基于SOI 晶片和普通Si 晶片、适应于制造提出的各种新结构单晶硅和多晶硅硅微机械扭转镜光致动器的叁套柔性加工工艺流程,开展了一系列重要工艺步骤的单项工艺试验,对工艺流程与工艺参数进行了优化,针对加工过程中出现的具有普遍意义的典型工艺问题进行了讨论和分析,并提出了解决方法。5、创新性地将模糊图像合成技术、频闪图像匹配技术、频闪Mirau 显微干涉技术与显微激光多普勒测振技术有机结合,建立起了一套周期运动测量与瞬态运动测量相结合、单点运动测量与全视场运动测量相结合、满足不同MEMS 器件各种动态测试要求的集成的MEMS 叁维六自由度微运动精密测量系统。在此基础上,针对硅微机械扭转镜光致动器,测量分析了微镜镜面的表面粗糙度以及微镜扭转运动过程中的动态特性。(本文来源于《天津大学》期刊2003-09-01）

杨妹清^[2]（1995）在《光致动器的现状与展望》一文中研究指出关于光响应性高分子,直到80年代中期才逐渐展开了真正的研究.所谓的光响应性高分子,是指对于光的刺激分子量发生变化的高分子的总称.有关光响应性高分子的研究实例有很多,这里仅介绍其中的一例.其方法是利用了含有高分子主链系的光感应性基的结构变化(反——顺式光异构).对于偶氮苯基,在反式体中,碳间距离为9.0(?),在顺式中,碳间距离为5.5(?),非常短.据报道,若高分子主链系中含有这种感应基,那么,经光照射,构成分子的单基物单位长度产生可逆变化,最大可减少60%左右,若很好地利用高分子的这种特性,实现致动器将成为可能.(本文来源于《光机电信息》期刊1995年04期）

光致动器论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

关于光响应性高分子,直到80年代中期才逐渐展开了真正的研究.所谓的光响应性高分子,是指对于光的刺激分子量发生变化的高分子的总称.有关光响应性高分子的研究实例有很多,这里仅介绍其中的一例.其方法是利用了含有高分子主链系的光感应性基的结构变化(反——顺式光异构).对于偶氮苯基,在反式体中,碳间距离为9.0(?),在顺式中,碳间距离为5.5(?),非常短.据报道,若高分子主链系中含有这种感应基,那么,经光照射,构成分子的单基物单位长度产生可逆变化,最大可减少60%左右,若很好地利用高分子的这种特性,实现致动器将成为可能.

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。