高纯四氟化硅的制备技术研究进展

论文摘要

四氟化硅是一种有机硅化合物合成材料,被广泛应用于半导体行业,其需求量日益扩大,对其纯度要求也越来越苛刻。本文介绍了四氟化硅常用制备方法及其优缺点,列举了四氟化硅的纯化方法。在实际生产过程中,企业需根据自身实际生产情况选择合理的生产路线,结合制备工艺中杂质种类,选择合适纯化方法,获得高纯四氟化硅产品。

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类型: 期刊论文

作者: 缪光武,张金柯,白占旗,何双材,曾群,胡欣,刘武灿

关键词: 四氟化硅,制备,纯化,电子气体

来源: 浙江化工 2019年11期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 浙江省化工研究院有限公司

分类号: TQ127.2

页码: 1-5

总页数: 5

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标签：四氟化硅论文;  制备论文;  纯化论文;  电子气体论文;