纳米金刚石薄膜的制备与应用综述

纳米金刚石薄膜的制备与应用综述

论文摘要

本文根据前人的研究,从制备方法,制备过程中的影响因素及应用等方面对纳米金刚石薄膜的相关特性做了总结。

论文目录

  • 1 纳米金刚石薄膜 (纳米金刚石) 的制备
  •   1.1 主要制备方法
  •     1.1.1 HFCVD法
  •     1.1.2 MPCVD法
  •     1.1.3 直流电弧等离子体CVD法
  •   1.2 制备过程中的影响因素
  •     1.2.1 生长时间对纳米金刚石薄膜微结构的影响
  •     1.2.2 掺氮对纳米金刚石的影响
  •     1.2.3 掺硼对纳米金刚石的影响
  • 2 纳米金刚石薄膜的应用
  •   2.1 机械领域的应用
  •   2.2 光学领域的应用
  •   2.3 声学领域的应用
  •   2.4 电学领域的应用
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 李育凌

    关键词: 纳米金刚石薄膜,制备,应用

    来源: 科技风 2019年05期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

    单位: 北京师范大学

    分类号: TQ127.11;TB383.2

    DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.201905148

    页码: 168

    总页数: 1

    文件大小: 91K

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