论文摘要
基于Ai C和Wyant J C的奇偶函数法,提出了4步旋转绝对检测方法,减少了旋转次数,将第二次测量的旋转角度选为90°。实验基于HOOL L9600A-HS3干涉仪,采用4步旋转绝对检测方法,将3个平面两两互检计算出3个平面的绝对面形。其中平面C的表面面形起伏高度均方根（RMS）值和峰谷（PV）值分别为3. 460 nm和35. 227 nm,经闭环自检后的测量结果分别为3. 783 nm和34. 305 nm以及3. 669 nm和34. 252 nm,数据基本一致,表明测量数据能够实现闭环自检。使用该方法对中国计量科学研究院的标准平面镜进行测量,平面的RMS值和峰谷PV值分别为2. 400 nm和19. 600 nm,与该院的测量结果 2. 000 nm和16. 000 nm对比,两者的测量偏差在nm量级,充分证明了实验的有效性及高重复性;此外实验还分析了温度对测量结果的影响。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张凌华,韩森,吴泉英,唐寿鸿,李雪园,王全召
关键词: 计量学,面形测量,步旋转绝对检测法,闭环自检,重复性
来源: 计量学报 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 工业通用技术及设备
单位: 苏州科技大学,上海理工大学
基金: 国家重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0101900)
分类号: TB96
页码: 208-212
总页数: 5
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标签：计量学论文; 面形测量论文; 步旋转绝对检测法论文; 闭环自检论文; 重复性论文;