热处理制度对硅酸锆薄膜结构及显微形貌的影响

论文摘要

以乙酸锆为锆源,正硅酸乙酯（TEOS）为硅源,乙酰丙酮（Hacac）和氟化锂（LiF）分别为螯合剂和矿化剂,通过溶胶-凝胶法制备了硅酸锆薄膜。采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）系统研究了热处理温度、保温时间和升温速度对于硅酸锆薄膜的合成和形貌的影响。实验结果表明:500℃之前样品热失重较大,约为40.57%,因此慢升温速度(0.5-1.0℃·min-1)有利于有机物的排出,可以避免薄膜表面开裂;由于硅酸锆薄膜具有二维传质的特性,纯相硅酸锆薄膜的热处理温度需达到900℃;随着保温时间的延长（0.5-3h）,薄膜的结晶度不断提高;AFM测试结果说明制备的硅酸锆薄膜表面光滑平整。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈婷,任玉磊,査剑锐,江伟辉,江莞,谢志翔

关键词: 薄膜,溶胶凝胶法,硅酸锆,热处理

来源: 陶瓷学报 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 景德镇陶瓷大学,国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心

基金: 国家自然科学基金(51402135,51432004,51774096),江西省杰出青年人才资助计划(20171BCB23071),江西省自然科学基金(20181BAB216009,20171BAB216008),江西省教育厅基金(GJJ180708,GJJ180707)

分类号: TQ134.12;TQ174.75

DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2019.06.020

页码: 826-832

总页数: 7

文件大小: 1390K

下载量: 55

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