论文摘要
以镓-镁掺杂的氧化锌（ZnO）陶瓷靶作为溅射源,采用磁控溅射技术在玻璃基片上沉积镓-镁共掺杂ZnO（ZnO:Ga-Mg）薄膜样品.通过X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）的测试表征,研究了压强对ZnO:Ga-Mg样品结构性质和薄膜内应力的影响.结果表明,所有薄膜样品均为六角纤锌矿晶体结构并具有（002）择优取向生长特性,压强对其结晶性能和内应力具有明显的影响.当压强为3.5 Pa时,ZnO:Ga-Mg薄膜样品具有最强的（002）衍射峰、最大的平均晶粒尺寸、最小的张应力和最好的晶体质量.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 钟志有,朱雅
关键词: 磁控溅射,掺杂氧化锌,压强,内应力
来源: 中南民族大学学报(自然科学版) 2019年01期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备
单位: 中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室
基金: 湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418),中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(CZP17002)
分类号: TQ132.41;TB383.2
页码: 107-111
总页数: 5
文件大小: 792K
下载量: 76
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