论文摘要
红外激光与微水束耦合划切技术是激光划切应用的前沿领域,在硅晶圆、宝石、陶瓷等材料高精度切割方面具有优势,有效地减小了材料的热损伤和熔渣残留。红外激光束与微水束的耦合对准是研究的关键技术。为保证微水束光纤与激光光束耦合的效果,本文设计了高精度三维耦合对准调整结构,结构主要由准直聚焦光路系统、微孔CCD观测系统、二维微位移平台、耦合装置组成;研究了汇聚激光焦平面与微水束起始端(喷口元件)共面调整的关键工艺和激光光束与喷口元件对准的关键工艺;提出了借助屏幕十字线实现两次对准的工艺方法。经试验验证,微水束耦合激光长度稳定,质量良好,可实现对硅基衬底晶圆等材料的高效无损、高精密划切。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 蒋兴桥,马岩,荣宇,李东旭
关键词: 激光,微水束,耦合,对准
来源: 激光与红外 2019年06期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学,无线电电子学
单位: 沈阳仪表科学研究院有限公司
基金: 辽宁省科技创新重大专项(No.201411004)资助
分类号: TN249
页码: 680-685
总页数: 6
文件大小: 1416K
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