基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测

论文摘要

为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像,并合成多光谱疵病图像,然后采用优化后的OTSU(Otsu Image Segmentation Algorithm)分别对单光谱与多光谱疵病图像进行分析。基于该方法搭建了光学元件表面疵病检测装置,获得了白光照明条件下光学元件表面疵病的图像。实验结果表明,与原始白光图像相比,合成多光谱图像的疵病检出数量提升了1.85倍,疵病检出面积最大增加了6.0倍,检测效率得到明显提高。根据光学元件表面疵病的特性选取不同波长组合来生成单光谱与多光谱图像,可更加高效精确地检测出传统检测技术不易检出的疵病信息。

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类型: 期刊论文

作者: 杨言若,步扬,徐静浩,王少卿,王向朝,李杰

关键词: 测量,疵病检测,光谱估计,多光谱技术,疵病数量,疵病面积

来源: 中国激光 2019年09期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑,信息科技

专业: 仪器仪表工业,计算机软件及计算机应用

单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,中国科学院大学材料与光电研究中心,中国工程物理研究院激光聚变研究中心

基金: 国家自然科学基金(61405210),国家科技重大专项(2009ZX02205-001,2016ZX02201-001),广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(KFJJ2016-03)

分类号: TP391.41;TH74

页码: 161-169

总页数: 9

文件大小: 2835K

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标签：测量论文;  疵病检测论文;  光谱估计论文;  多光谱技术论文;  疵病数量论文;  疵病面积论文;