导读:本文包含了薄膜体声波谐振器论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:薄膜体声波谐振器(FBAR),滤波器,C波段,一维Mason模型
薄膜体声波谐振器论文文献综述
李丽,赵益良,李宏军[1]（2019）在《用于C波段的薄膜体声波谐振器滤波器》一文中研究指出研制了一种工作于C波段的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。首先利用FBAR的一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,然后采用实际制作的谐振器模型构成阶梯型结构FBAR滤波器,利用ADS软件对FBAR滤波器进行电路原理图以及版图设计优化。仿真结果表明,滤波器的中心频率为5.5 GHz,中心插损为1.79 dB,1 dB带宽为115 MHz,5.3 GHz处抑制为40.29 dBc,5.7 GHz处抑制为64.32 dBc。采用空气隙结构实现了C波段FBAR滤波器芯片,并采用陶瓷外壳进行气密封装。测试结果显示,滤波器的中心插损为2.19 dB,1 dB带宽为111 MHz,5.3 GHz处抑制为26.88 dBc,5.7 GHz处抑制为60.96 dBc。对测试结果与仿真结果的差异进行了分析。(本文来源于《半导体技术》期刊2019年12期）
陈熙,段力,翁昊天,付学成,杨志[2]（2019）在《氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性》一文中研究指出通过磁控溅射靶材的成分调控和一系列优化过的微电子机械系统(MEMS)工艺,成功研制了基于氧化锌(ZnO)压电薄膜的固体装配型薄膜体声波谐振器(FBAR)。通过使用性能优异的靶材,所得到的器件谐振性能良好。在同一种工艺条件下得到多个硅片的中心处FBAR的谐振频率为2.365～2.379 GHz,具有较好的重复性。并且,同一硅片不同位置的器件性能还具有优异的均匀性,S_(11)的平均相对误差很小。尤其谐振频率可以控制在2.359～2.410 GHz,相比之前的1.8～2.4 GHz,其均匀性有了明显的提升。同一硅片上9个FBAR谐振频率的平均相对误差能够低至0.256%。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2019年12期）
鄂羽佳,陆晓欣,王建东,朱嘉琦[3]（2019）在《固贴式薄膜体声波谐振器性能受压电材料的影响分析》一文中研究指出利用Math CAD软件对固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)器件建立数学模型进行仿真,分析了不同压电薄膜材料和厚度,不同电极材料和厚度对FBAR器件谐振特性的影响。采用射频磁控溅射方法制备氮化铝(AlN)薄膜,利用扫描探针显微镜中的压电力显微镜(PFM)模块对AlN薄膜的压电性能进行了测试。得到主要结论为:复合FBAR的谐振频率因为增加了电极厚度因素相比理想FBAR的谐振频率偏低;压电材料的机电耦合系数对器件带宽起决定性作用,器件的机电耦合系数正比于材料的机电耦合系数;AlN具有较高的压电系数,可以有效提升器件性能,增大带宽,适合作为压电薄膜材料;采用小尺寸压电薄膜和电极厚度有益于提高器件的频率。(本文来源于《真空与低温》期刊2019年05期）
高杨,张大鹏,刘婷婷[4]（2019）在《薄膜体声波谐振器应力负载效应摄动分析》一文中研究指出薄膜体声波谐振器(FBAR)力学传感器有很大的应用潜力,但其敏感机理——应力负载效应尚不能被准确描述。为准确描述应力负载效应,预测FBAR力学传感器的频率灵敏度,提出一种摄动与有限元联合求解方法,并利用该方法计算FBAR微加速度计的频率-加速度灵敏度。首先,在COMSOL有限元软件中计算FBAR微加速度计在加速度下其压电层AlN的平均偏置应力;接着,在COMSOL中计算单个FBAR的谐振频率与相应的振型;最后,将有限元的计算数据和AlN的材料常数代入摄动积分公式中,得到FBAR微加速度计的频率-加速度灵敏度约为–98.879 kHz/g,与文献报道的实验结果–100 kHz/g相吻合,验证方法的可行性。(本文来源于《中国测试》期刊2019年09期）
彭霄,田本朗,毛世平,杜波,蒋欣[5]（2019）在《LiNbO_3单晶薄膜体声波谐振器的研制》一文中研究指出该文介绍了一种采用智能截割(Smart Cut~(TM))技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO_3)薄膜体声波谐振器。采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO_3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart Cut~(TM)工艺方法制备了高性能Z切-LiNbO_3单晶薄膜作为谐振器的压电层,最终得到LiNbO_3薄膜体声波谐振器的谐振频率为3 847.5 MHz,反谐振频率为3 986.25 MHz,插入损耗为1.81 dB,谐振器有效机电耦合系数达到8.3%。(本文来源于《压电与声光》期刊2019年03期）
陈鹏光,王瑞,马琨,陈剑鸣[6]（2019）在《薄膜体声波谐振器的研究与仿真》一文中研究指出随着5G通信技术的发展,射频前端器件趋向于集成化、微型化,使得薄膜体声波谐振器(FBAR)技术成为通信领域的研究热点之一。该文对FBAR谐振单元选择不同阶数的梯形级联方式,通过射频仿真软件ADS建立MBVD等效电路模型,实验仿真其性能参数输出曲线,设计出频带区间在工信部规划的5G通信频段(4.8～5.0 GHz)标准内的高频窄带滤波器。实验仿真结果表明,所设计的FBAR频带在4.849～4.987 GHz,增加FBAR单元的级联阶数可以提高带外抑制,其插入损耗很小,满足5G通信系统对滤波器的性能参数要求。(本文来源于《压电与声光》期刊2019年03期）
吴永盛[7]（2019）在《用于微质量传感的薄膜体声波谐振器的研究》一文中研究指出与常见的质量传感器——石英晶体微天平(QCM)相比,以薄膜体声波谐振器(FBAR)为基础的微质量传感器因具有体积小、损耗低、灵敏度高、品质因数(Q)高、工作频率高、温度稳定性好、可与半导体工艺兼容等优势,显示出广阔的应用前景。本文围绕用于微质量传感的FBAR展开研究,设计了叁种不同的FBAR结构,通过对各膜层材料的选择、结构尺寸的仿真优化以及制备工艺的摸索,最终制备出满足用于ng级质量传感的FBAR结构,为后续生物传感器的研究奠定了基础。本文的研究工作可以概括为:1、分析了结构、压电薄膜、电极对FBAR器件性能的影响,设计了叁种用于微质量传感的FBAR结构,确定了各膜层所用材料。利用有限元软件对所设计的结构进行仿真优化,得到每种结构的特征频率、机电耦合系数(k_(eff))、Q值。最后对叁种结构的性能进行总结分析,选出最合适的结构进行制备。2、设计掩膜版,并利用MEMS工艺对用于微质量传感的FBAR进行制备。重点介绍了光刻工艺操作及注意事项,对FBAR的制备过程进行了详细介绍,制得了具有不同上电极的FBAR结构。3、利用网络分析仪对用于微质量传感的FBAR结构进行测试。上电极的形状、大小、厚度会对器件性能造成影响。测试结果显示,上电极形状为五边形,面积大小为60000μm~2,厚度为0.03μm时,FBAR的性能更佳;另外,利用网络分析仪测试了具有不同上电极负载的传感器,计算出传感器灵敏度的理论值为3.97×10~5 Hz.cm~2/ng。(本文来源于《中北大学》期刊2019-05-30）
申洪霞,欧文[8]（2019）在《一种薄膜体声波谐振器的设计与验证》一文中研究指出为简化薄膜体声波谐振器薄膜厚度的设计,提出一种薄膜体声波谐振器薄膜厚度的设计方法。仿真结构由诱导层和其上层的电极层-压电层-电极层的叁明治结构组成。在最优有效机电耦合系数下确定初始薄膜体声波谐振器的薄膜厚度;然后确定诱导层厚度及其相应的频偏值;使用频偏值补偿并联谐振频率,重新计算补偿后的薄膜体声波谐振器中电极层与压电层的最优厚度比值,并使用COMSOL Multiphysics进行仿真验证。当并联谐振频率为3.60GHz时,100nm的氮化铝的频偏值为0.20GHz。氮化铝的有效机电耦合系数最优为5.907%,进行频率补偿后,氮化铝的串联谐振频率和并联谐振频率分别为3.48GHz和3.60GHz,设计方法得到了验证。诱导层有效地优化了压电层C轴特性,减少了能量损耗。(本文来源于《西安电子科技大学学报》期刊2019年04期）
张大鹏,高杨,许夏茜[9]（2019）在《偏场下薄膜体声波谐振器频率偏移的摄动分析》一文中研究指出为准确预测测量力、热场的薄膜体声波谐振器(FBAR)传感器的灵敏度,采用迭加于有限偏场之上的小增量场理论描述,提出一种摄动与有限元联合求解方法。该方法利用COMSOL有限元软件计算FBAR传感器受外界载荷下其压电层AlN的平均偏置应力,进一步在COMSOL中计算FBAR的谐振频率与相应的振型,将有限元的计算数据代入摄动积分公式中,得到FBAR传感器的频率灵敏度。并以一个圆膜片FBAR为案例,介绍该方法用于计算圆膜片FBAR频率-集中力灵敏度的详细过程。采用摄动与有限元联合求解方法得到的频率灵敏度为41.3 MHz/N,与文献报道的实验结果 50 MHz/N接近,验证了方法的可行性。(本文来源于《中国测试》期刊2019年03期）
陈鹏光,王瑞,白玉慧,任家泰,陈剑鸣[10]（2019）在《薄膜体声波谐振器的有限元仿真》一文中研究指出随着5G通信技术的日益发展,对通信频段的要求越来越高。传统的射频滤波器受结构和性能的限制,不能满足高频通信的要求。薄膜体声波谐振器(FBAR)作为一种新型的MEMS器件,很好地适应了无线通信系统的更新换代,使FBAR技术成为通信领域的研究热点之一。本文以COMSOLMultiphysics软件为基础,对FBAR谐振元件进行有限元仿真,分析其压电耦合特性、模态特性、谐振特性等。设计的谐振单元,谐振频率在工信部规划的5G通信频段标准(3.4 GHz-3.6 GHz)以内。同时引入完美匹配层(PML)减少寄生共振,更符合实际工艺制备的FBAR的共振特性。实验仿真结果表明,谐振频段在3.510 GHz-3.564 GHz,满足5G通信系统对频段的要求。当谐振位移形式变量满足AlN压电材料的变形范围,计算FBAR的主要性能指标,建立了一种基于COMSOL Multiphysics软件对FBAR的物理结构建模及相关特性研究的实验方法。(本文来源于《软件》期刊2019年03期）
薄膜体声波谐振器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
通过磁控溅射靶材的成分调控和一系列优化过的微电子机械系统(MEMS)工艺,成功研制了基于氧化锌(ZnO)压电薄膜的固体装配型薄膜体声波谐振器(FBAR)。通过使用性能优异的靶材,所得到的器件谐振性能良好。在同一种工艺条件下得到多个硅片的中心处FBAR的谐振频率为2.365～2.379 GHz,具有较好的重复性。并且,同一硅片不同位置的器件性能还具有优异的均匀性,S_(11)的平均相对误差很小。尤其谐振频率可以控制在2.359～2.410 GHz,相比之前的1.8～2.4 GHz,其均匀性有了明显的提升。同一硅片上9个FBAR谐振频率的平均相对误差能够低至0.256%。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
薄膜体声波谐振器论文参考文献
[1].李丽,赵益良,李宏军.用于C波段的薄膜体声波谐振器滤波器[J].半导体技术.2019
[2].陈熙,段力,翁昊天,付学成,杨志.氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性[J].微纳电子技术.2019
[3].鄂羽佳,陆晓欣,王建东,朱嘉琦.固贴式薄膜体声波谐振器性能受压电材料的影响分析[J].真空与低温.2019
[4].高杨,张大鹏,刘婷婷.薄膜体声波谐振器应力负载效应摄动分析[J].中国测试.2019
[5].彭霄,田本朗,毛世平,杜波,蒋欣.LiNbO_3单晶薄膜体声波谐振器的研制[J].压电与声光.2019
[6].陈鹏光,王瑞,马琨,陈剑鸣.薄膜体声波谐振器的研究与仿真[J].压电与声光.2019
[7].吴永盛.用于微质量传感的薄膜体声波谐振器的研究[D].中北大学.2019
[8].申洪霞,欧文.一种薄膜体声波谐振器的设计与验证[J].西安电子科技大学学报.2019
[9].张大鹏,高杨,许夏茜.偏场下薄膜体声波谐振器频率偏移的摄动分析[J].中国测试.2019
[10].陈鹏光,王瑞,白玉慧,任家泰,陈剑鸣.薄膜体声波谐振器的有限元仿真[J].软件.2019
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