基于MEMS的矩形微同轴技术研究现状

论文摘要

矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RF MEMS)的一个重要发展方向。矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势。从结构、性能等方面对矩形微同轴进行了简要分析。回顾了矩形微同轴技术在其发展的不同阶段出现的体硅刻蚀技术、EFABTM和PolyStrataTM技术,并对矩形微同轴的结构、加工工艺及射频性能等方面进行了简要分析。介绍了矩形微同轴技术在不同RF MEMS中的应用,并对获得的特性进行了讨论。矩形微同轴技术应用于高度集成的RF MEMS是发展的必然趋势,必将对传统射频电路的设计、制备及系统集成产生巨大影响。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 史光华,徐达,王建,王真,常青松,周彪,张延青,白锐

关键词: 微电子机械系统,矩形微同轴技术,体硅刻蚀

来源: 微纳电子技术 2019年04期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 机械工业

单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所

分类号: TH-39

DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.04.009

页码: 303-313

总页数: 11

文件大小: 7671K

下载量: 226

相关论文文献

标签：微电子机械系统论文;  矩形微同轴技术论文;  体硅刻蚀论文;