导读:本文包含了软射线波带片论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:原子层沉积(ALD),聚焦离子束(FIB),X射线波带片,显微成像系统
软射线波带片论文文献综述
姚广宇,李艳丽,孔祥东,韩立[1]（2019）在《聚焦离子束切割法制备多层膜X射线波带片》一文中研究指出X射线波带片是X射线显微成像系统中用于聚焦及成像的核心元件,提高波带片性能参数,更利于X射线显微成像技术的广泛应用。选择可精确控制厚度的原子层沉积(ALD)法结合聚焦离子束(FIB)切割法制备出大高宽比X射线波带片结构,即用原子层沉积法在光滑的钨丝表面交替沉积Al2O3/HfO2多层膜,其总层数为360,最外层膜宽度为10 nm。聚焦离子束的加速电压设定为30 kV,先利用束流为1 000 pA的离子束流将Al2O3/HfO2多层膜切割成设计厚度的薄片,再利用束流为350 pA的离子束流对切割的截面进行抛光,最后得到厚度为50μm、最外层膜宽度为10 nm的大高宽比X射线波带片结构。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2019年04期）
王胜涛[2]（2018）在《超大高宽比X射线波带片的研制》一文中研究指出X射线显微成像技术能够对样品的内部结构实现高分辨率的无损伤观测,有着高分辨率、高穿透性、丰富的衬度机制以及友好的成像环境等特点。此技术在微电子、生命科学、材料科学等领域有着广泛的应用前景。波带片是X射线显微成像技术中实现聚焦和成像的关键元件。波带片环带的几何参数直接影响了成像的分辨率,而当X射线能量较大时,需要足够的波带片厚度(或称为高度),才能获得高衍射效率,因此要求X射线波带片具有大的高宽比。大高宽比X射线波带片的传统制作工艺复杂,价格昂贵。本文的工作,采用原子层沉积和聚焦离子束切割技术相结合的方法,探索了大高宽比X射线波带片的批量制备方法,主要研究结果如下:(1)计算了金波带片高度、X射线能量、衍射效率之间的关系。计算了四种材料组合(HfO2/Al2O3、HfO2/SiO2、Ir/Al2O3、Au/air)的波带片,在不同 X 射线能量下(5keV、8kev、10keV、15keV、20keV、24keV)的衍射效率,结合材料的成膜特点及工艺匹配来分析,进行波带片迭层材料的选择和结构设计工作。(2)探究了原子层沉积技术制备氧化铝和氧化铪薄膜的工艺条件,考察了沉积温度100℃-30℃时,在氧化铝和氧化铪薄膜的生长速率,表征了氧化铪和氧化铝薄膜的原子比和表面粗糙度。(3)在硅片和钨丝衬底上表征了实验工艺对20 nm和10 nm氧化铪和氧化铝等厚迭层的控制能力。利用原子层沉积技术,在电化学抛光法制备的直径为30μm的钨丝上沉积氧化铝和氧化铪薄膜迭层。经聚焦离子束切割,最终完成高度为10μm(高度不受限)、最外环宽度为10 nm、高宽比为1000的波带片制作。初步实现了超大高宽比X射线波带片的制备。为后期相关工作者提供了一定研究基础和参考价值。(本文来源于《北京交通大学》期刊2018-06-01）
李海亮,史丽娜,牛洁斌,王冠亚,谢常青[3]（2017）在《大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试》一文中研究指出为得到同步辐射光源硬X射线波段(>2keV)需要的高宽比高分辨率波带片,本文利用高加速电压(100kV)电子束光刻配合Si3N4镂空薄膜直写来减少背散射的方法,对硬X射线波带片制作技术进行了蒙特卡洛模拟和电子束光刻实验。模拟结果显示:Si_3N_4镂空薄膜衬底可以有效降低电子在抗蚀剂中传播时的背散射,进而改善高密度大高宽比容易引起的结构倒塌和粘连问题。通过调整电子束的曝光剂量,在500nm厚的镂空Si_3N_4薄膜衬底上制备出最外环宽度为150nm、金吸收体的厚度为1.6μm,高宽比大于10的硬X射线波带片。同时,引入随机支撑点结构,实现了波带片结构自支撑,提高了大高宽比波带片的稳定性。将利用该工艺制作的波带片在北京同步辐射装置X射线成像4W1A束线8keV能量下进行了聚焦测试,得到清晰的聚焦结果。(本文来源于《光学精密工程》期刊2017年11期）
马杰,曹磊峰,谢常青,吴璇,李海亮[4]（2009）在《带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作》一文中研究指出对利用X射线光刻制作大高宽比硬X射线波带片的设计和制作工艺进行了研究。采用电子束光刻制作X射线光刻掩模,并利用X射线光刻制作最终的硬X射线波带片。采用对光刻胶结构加入支撑点的方法,大大提高了X射线光刻制作硬X射线波带片的高宽比。对所加入支撑点的布置策略进行了优化,使得支撑点所占的面积比例减小。所制作的波带片最外环宽度为200nm,厚度为2.8μm,具有优良的结构质量,预期可用于10keV到25keV波段,并具有优于250nm的成像分辨率。(本文来源于《光电工程》期刊2009年10期）
肖凯,刘颖,付绍军[5]（2005）在《振幅矢量迭加法分析X射线波带片加工误差对效率的影响》一文中研究指出使用振幅矢量迭加法,通过迭加X射线波带片每一对环带对焦点的贡献,计算和分析了随机环带位置误差、宽度误差、扩散和粗糙度对波带片的效率的影响。用Strehl比来量化和衡量与理想波带片有偏差的波带片的性能,对两个波带片实例分别用Strehl极限确定了能容许的4种误差的最大值。计算了Ni软X射线波带片的随机环带位置误差及宽度误差对主焦点效率的影响;计算了SiO2/Ni硬X射线溅射切片波带片的两种材料的相互扩散和粗糙度对衍射效率的影响。结果表明:4种误差越大,主焦点效率越小,对Ni软X射线波带片,随机环带位置误差均方根和宽度误差均方根小于最外环宽度的20%左右时,对SiO2/Ni硬X射线溅射切片波带片,扩散区宽度和粗糙度均方根分别小于最外环宽度的90%和60%左右时,得到的Strehl比在Strehl极限之上。(本文来源于《光学精密工程》期刊2005年06期）
康士秀[6]（2000）在《电子束和X射线双曝光制作大高宽比高分辨率的X射线波带片》一文中研究指出介绍了利用电子束和 X射线束双曝光技术制作大高宽比高分辨率的 X射线聚焦或色散元件的新方法 (波长范围为 1～ 5 nm )。所制做的厚度为 10μm的 Au波带片具有 30个波带 ,最外环的宽度为 0 .5μm。实验表明 :对 8ke V的X射线来说 ,波带片的衬度大于 10 ,分辨率为 0 .5 5μm,焦距为 2 1.3cm。(本文来源于《光学技术》期刊2000年06期）
徐向东,洪义麟,付绍军,张允武[7]（1999）在《X射线波带片的制作及其应用》一文中研究指出波带片的低衍射效率限制其在可见光波段的使用，可是在Ｘ射线波段，波带片是唯一达到衍射极限的光学元件，因而引起人们的极大兴趣。本文介绍了当前国际上Ｘ射线波带片的主要制作方法及其应用，同时回顾了用于Ｘ射线聚焦、成像的光学元件——Ｘ射线菲涅耳波带片及近几年才出现的布拉格－菲涅耳波带片的历史背景、基本概念和主要类型。(本文来源于《光学技术》期刊1999年02期）
徐向东,洪义麟,付绍军,张允武[8]（1998）在《X射线波带片》一文中研究指出综述了用于Ｘ射线聚焦、成像的光学元件———Ｘ射线菲涅耳波带片及近几年才出现的布拉格－菲涅耳波带片的历史背景、基本概念、基本特征和主要类型．同时介绍了当前国际上Ｘ射线波带片的主要制作方法及最新进展．(本文来源于《物理》期刊1998年05期）
软射线波带片论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
X射线显微成像技术能够对样品的内部结构实现高分辨率的无损伤观测,有着高分辨率、高穿透性、丰富的衬度机制以及友好的成像环境等特点。此技术在微电子、生命科学、材料科学等领域有着广泛的应用前景。波带片是X射线显微成像技术中实现聚焦和成像的关键元件。波带片环带的几何参数直接影响了成像的分辨率,而当X射线能量较大时,需要足够的波带片厚度(或称为高度),才能获得高衍射效率,因此要求X射线波带片具有大的高宽比。大高宽比X射线波带片的传统制作工艺复杂,价格昂贵。本文的工作,采用原子层沉积和聚焦离子束切割技术相结合的方法,探索了大高宽比X射线波带片的批量制备方法,主要研究结果如下:(1)计算了金波带片高度、X射线能量、衍射效率之间的关系。计算了四种材料组合(HfO2/Al2O3、HfO2/SiO2、Ir/Al2O3、Au/air)的波带片,在不同 X 射线能量下(5keV、8kev、10keV、15keV、20keV、24keV)的衍射效率,结合材料的成膜特点及工艺匹配来分析,进行波带片迭层材料的选择和结构设计工作。(2)探究了原子层沉积技术制备氧化铝和氧化铪薄膜的工艺条件,考察了沉积温度100℃-30℃时,在氧化铝和氧化铪薄膜的生长速率,表征了氧化铪和氧化铝薄膜的原子比和表面粗糙度。(3)在硅片和钨丝衬底上表征了实验工艺对20 nm和10 nm氧化铪和氧化铝等厚迭层的控制能力。利用原子层沉积技术,在电化学抛光法制备的直径为30μm的钨丝上沉积氧化铝和氧化铪薄膜迭层。经聚焦离子束切割,最终完成高度为10μm(高度不受限)、最外环宽度为10 nm、高宽比为1000的波带片制作。初步实现了超大高宽比X射线波带片的制备。为后期相关工作者提供了一定研究基础和参考价值。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
软射线波带片论文参考文献
[1].姚广宇,李艳丽,孔祥东,韩立.聚焦离子束切割法制备多层膜X射线波带片[J].微纳电子技术.2019
[2].王胜涛.超大高宽比X射线波带片的研制[D].北京交通大学.2018
[3].李海亮,史丽娜,牛洁斌,王冠亚,谢常青.大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试[J].光学精密工程.2017
[4].马杰,曹磊峰,谢常青,吴璇,李海亮.带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作[J].光电工程.2009
[5].肖凯,刘颖,付绍军.振幅矢量迭加法分析X射线波带片加工误差对效率的影响[J].光学精密工程.2005
[6].康士秀.电子束和X射线双曝光制作大高宽比高分辨率的X射线波带片[J].光学技术.2000
[7].徐向东,洪义麟,付绍军,张允武.X射线波带片的制作及其应用[J].光学技术.1999
[8].徐向东,洪义麟,付绍军,张允武.X射线波带片[J].物理.1998
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